【技术实现步骤摘要】
一种用于等离子喷涂靶材作业的夹具
本技术涉及一种用于等离子喷涂靶材作业的夹具，属于机械设备
技术介绍
溅射靶材是生产多种功能薄膜的重要材料，在微电子、高清显示、装饰镀膜、low-e玻璃等领域有着非常重要的作用，是这些行业不可替代的核心材料。其通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统，在适当工艺条件下，溅射在基板上形成各种功能薄膜。等离子喷涂是靶材生产的一种非常重要的工艺。它是把粉末送入等离子火焰中，利用火焰的温度和速度，将粉末材料熔化或软化并沉积在旋转的背管上形成涂层，同时等离子喷枪沿着背管的径向往复行走，随着这一过程的进行，涂层逐渐增厚，最终达到尺寸要求得到靶材。为了防止涂层和背管温度过高发生变形和裂纹，需要在背管内部通入冷却水，以使其温度稳定在合适的范围。这个生产过程需要一种夹具才能把背管连接到上述旋转装置上，同时夹具上有进水和出水功能，能使背管得到均匀的冷却。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决靶材在等离子喷涂过程中需要冷却的问题，提供了一种结构简单，设计紧凑的用于等离子喷涂靶材作业的夹具，能够有效提高旋转靶材的成品率，降低生产成本。本技术采用如下技术方案：一种用于等离子喷涂靶材作业的夹具，包括左连接头、右连接头、连接套、阻挡螺母、背管、通水衬管，所述左连接头的一端插入至背管端部的内孔中，所述背管的另一端连接有右连接头，所述背管内套设有通水衬管，所述左连接头通过法兰连接在转床的主轴上，所述右连接头的中心锥度孔与转床的尾座顶住，所述背管能够随转床主轴转动，所述左...
【技术保护点】
1.一种用于等离子喷涂靶材作业的夹具，其特征在于：包括左连接头（1）、右连接头（2）、背管（3）和通水衬管（4），所述左连接头（1）的一端插入至背管（3）端部的内孔中，所述背管（3）的另一端连接有右连接头（2），所述背管（3）内套设有通水衬管（4），所述左连接头（1）通过法兰连接在转床的主轴（8）上，右连接头（2）的中心锥度孔被转床的尾座顶住，所述背管（3）能够随转床主轴转动，所述左连接头（1）上设置有左进水孔（9），所述左进水孔（9）与通水衬管（4）相连通，所述右连接头（2）上设置有右进水孔，所述右连接头（2）上设置有右出水孔，所述右出水孔与背管和通水衬管形成的空腔相连通，所述左连接头（1）上设置有左出水孔（10），所述左出水孔（10）与转床上的回水管道相连通。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于等离子喷涂靶材作业的夹具，其特征在于：包括左连接头（1）、右连接头（2）、背管（3）和通水衬管（4），所述左连接头（1）的一端插入至背管（3）端部的内孔中，所述背管（3）的另一端连接有右连接头（2），所述背管（3）内套设有通水衬管（4），所述左连接头（1）通过法兰连接在转床的主轴（8）上，右连接头（2）的中心锥度孔被转床的尾座顶住，所述背管（3）能够随转床主轴转动，所述左连接头（1）上设置有左进水孔（9），所述左进水孔（9）与通水衬管（4）相连通，所述右连接头（2）上设置有右进水孔，所述右连接头（2）上设置有右出水孔，所述右出水孔与背管和通水衬管形成的空腔相连通，所述左连接头（1）上设置有左出水孔（10），所述左出水孔（10）与转床上...
【专利技术属性】
技术研发人员：常金永，
申请(专利权)人：江阴恩特莱特镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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