【技术实现步骤摘要】
一种等离子喷涂靶材背管的恒温处理设备
本技术涉及旋转靶生产设备
，尤其是涉及一种等离子喷涂靶材背管的恒温处理设备。
技术介绍
不锈钢管常作为旋转靶材的靶材背管，靶材背管经过喷砂和打底等处理后，进入等离子喷涂，在生产初期，需要先对靶材背管进行预热，以增强喷涂层和靶材背管的粘合性，同时在不同的生产阶段，需要保持靶材背管温度的一致性，减少靶材背管因热胀冷缩，同时也能减少内部应力聚集。目前采用室温水循环对基础管进行冷却，由于室温水受到外界环境温度影响较大，温度不可控，冷却效果不理想，造成靶材背管过热膨胀而导致等离子喷涂的涂层开裂，靶材内部应力聚集，导致客户使用时靶材受热后开裂。同时现有的冷却设备仅能对在生产中的靶材背管进行冷却，在生产的不同阶段需要对靶材背管进行预热和保温等需求，对靶材背管的预热和保温需要通过其他设备实现该功能，生产设备功能单一，生产设备数量多，操作不方便。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供一种等离子喷涂靶材背管的恒温处理设备，实现多功能的温度控制，对靶材...
【技术保护点】
1.一种等离子喷涂靶材背管的恒温处理设备，其特征在于：包括用于盛装和回收循环热交换媒介的循环液容器(20)、用于通过靶材背管(10)的循环水管(40)和恒温控制模块(12)，循环水管(40)连通于循环液容器(20)，循环水管(40)和循环液容器(20)之间设置有循环泵(11)，循环液容器(20)内设置有温度探测器(21)和加热器(22)，温度探测器(21)和加热器(22)分别电连接恒温控制模块(12)。/n
【技术特征摘要】
1.一种等离子喷涂靶材背管的恒温处理设备，其特征在于：包括用于盛装和回收循环热交换媒介的循环液容器(20)、用于通过靶材背管(10)的循环水管(40)和恒温控制模块(12)，循环水管(40)连通于循环液容器(20)，循环水管(40)和循环液容器(20)之间设置有循环泵(11)，循环液容器(20)内设置有温度探测器(21)和加热器(22)，温度探测器(21)和加热器(22)分别电连接恒温控制模块(12)。
2.根据权利要求1所述的一种等离子喷涂靶材背管的恒温处理设备，其特征在于：所述加热器(22)设置有启动状态和停止状态，
当所述温度探测器(21)探测的温度达到或超过设定温度时，所述恒温控制模块(12)断开与加热器(22)的电连接，加热器(22)处于停止状态；
当所述温度探测器(21)探测的温度低于设定温度时，所述恒温控制模块(12)接通与加热器(22)的电连接，加热器(22)处于启动状态；
所述热交换媒介选用水、油或酒精。
3.根据权利要求2所述的一种等离子喷涂靶材背管的恒温处理设备，其特征在于：所述恒温处理设备设置有补液装置，补液装置包括用于向循环液容器(20)加入冷却液体的补液管(30)和液位传感器(31)，补液管(30)的外端设置有补液口(33)，补液口(33)伸入到循环液容器(20)内，补液管(30)内设置有液位开关(32)，液位开关(32)和液位传感器(31)分别电连接于所述恒温控制模块(12)，液位开关(32)信号连接液位传感器(31)，补液管(30)连通于所述循环液容器(20)，液位传感器(31)安装于循环液容器(20)的上部的内壁。
4.根据权利要求3所述的一种等离子喷涂靶材背管的恒温处理设备，其特征在于：所述循环液容器(20)上部设置有一开口，循环液容器(20)的上部的开口固定安装有风扇支架(15)，风扇支架(15)固定有散热风扇(13)，散热风扇(13)具有出风面，出风面朝向开口的上方，用于抽走循环液容器(20)内的热空气，散热风扇(13)位于循环液容器(20)的开口的中部，散热风扇(13)的四周与循环液容器(20)的内壁之间设置有进风通道，散热风扇(13)电连接所述恒温控制模...
【专利技术属性】
技术研发人员：敬正柏，
申请(专利权)人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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