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本实用新型公开了一种等离子喷涂靶材背管的恒温处理设备，包括用于盛装和回收循环热交换媒介的循环液容器、用于通过靶材背管的循环水管和恒温控制模块，循环水管连通于循环液容器，循环水管和循环液容器之间设置有循环泵，循环液容器内设置有温度探测器和加热...
该专利属于东莞市欧莱溅射靶材有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市欧莱溅射靶材有限公司授权不得商用。

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