超声波传感器制造技术

超声波传感器(1)具备：第一电极(2；201)，设置于具备振动元件(3)的超声波麦克风(1a)，该振动元件(3)具有机械振动与电信号之间的转换功能；第二电极(7)，设置于在与上述超声波麦克风的指向轴交叉的面内方向上与上述第一电极不同的位置；以及检测部(92)，设置为基于上述第一电极与上述第二电极之间的静电电容变化来检测有无针对该超声波传感器的附着物(S)。

ultrasonic sensor

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】超声波传感器相关申请的交叉引用本申请基于在2017年11月2日申请的日本专利申请号2017－212696号，并通过参照将其记载内容并入本文。
本公开涉及超声波传感器。
技术介绍
已知有通过超声波的收发来检测物体的超声波传感器。具体而言，这种超声波传感器通过压电元件等振动元件激发隔膜部来发送超声波。另外，这种超声波传感器通过将伴随着发送出的超声波的从物体的反射波的接收的隔膜部的振动转换为电信号，来检测物体。在这种超声波传感器中，存在若水、泥、雪等附着于隔膜部，则超声波的发送以及接收被阻碍，而物体的检测性能降低的课题。因此，以往提出有各种能够检测在超声波传感器附着有附着物的结构。例如，在日本特开昭60－15577号公报中，记载有由于超声波振动器的阻抗因附着物而变化，所以能够通过检测该变化来检测附着物的内容。专利文献1：日本特开昭60－15577号公报超声波传感器可广泛地应用于车辆的驾驶辅助，例如停车辅助等。另外，超声波传感器被期待应用于车辆的自动驾驶等。进一步，超声波传感器也被期待应用于车辆以外的用途。具体而本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超声波传感器，该超声波传感器(1)具备：/n第一电极(2；201)，设置于具备振动元件(3)的超声波麦克风(1a)，该振动元件(3)具有机械振动与电信号之间的转换功能；/n第二电极(7)，设置于在与上述超声波麦克风的指向轴交叉的面内方向上与上述第一电极不同的位置；以及/n检测部(92)，设置为基于上述第一电极与上述第二电极之间的静电电容变化，来检测有无针对该超声波传感器的附着物(S)。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171102 JP 2017-2126961.一种超声波传感器，该超声波传感器(1)具备：
第一电极(2；201)，设置于具备振动元件(3)的超声波麦克风(1a)，该振动元件(3)具有机械振动与电信号之间的转换功能；
第二电极(7)，设置于在与上述超声波麦克风的指向轴交叉的面内方向上与上述第一电极不同的位置；以及
检测部(92)，设置为基于上述第一电极与上述第二电极之间的静电电容变化，来检测有无针对该超声波传感器的附着物(S)。


2.根据权利要求1所述的超声波传感器，其中，
上述超声波麦克风具有隔膜部(22)和隔膜支承部(21)，该隔膜支承部(21)设置为支承上述隔膜部的外缘，
上述振动元件被固定地支承于上述隔膜部，
上述第一电极设置于上述隔膜部、或者上述隔膜支承部、或者上述振动元件。


3.根据权利要求2所述的超声波传感器，其中，
上述第一电极是由导体形成的上述隔膜部或者由导体形成的上述隔膜支承部，
上述第一电极与电极层电连接，该电极层构成上述振动元件并且被固定地支承于上述隔膜部。


4.根据权利要求2所述的超声波传感器，其中，
上述第一电极与电极层电绝缘并且被接地，该电极层构成上述振动元件并且被固定地支承于上述隔膜部。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的超声波传感器，其中，
构成为安装于上述超声波传感器的安装对象中的主体部件(B)。


6.根据权利要求5所述的超声波传感器，其中，
在安装于上述主体部件的安装状态下，上述第二电极设置为沿着上述主体部件配置。


7.根据权利要求5或6所述的超声波传感器，其中，
上述超声波麦克风具有：
元件支承部(2)，具备隔膜支承部(21)和隔膜部(22)，其中上述隔膜支承部(21)形成为在与上述指向轴平行的第一方向(D1)上具有轴向并在上述第一方向侧的端部开口的筒状，上述隔膜部(22)是设置为封闭上述隔膜支承部上的第二方向(D2)侧的端部的板状部，且具有上述第一方向侧的主面亦即内表面(23)...

【专利技术属性】
技术研发人员：小山优，青山哲也，野村卓也，野吕觉，
申请(专利权)人：株式会社电装，
类型：发明
国别省市：日本;JP