一种单旋转补偿器光谱型椭偏仪系统控制方法技术方案

本发明专利技术涉及一种单旋转补偿器光谱型椭偏仪系统控制方法，包括：步骤1、时钟电路同时输出驱动脉冲以及触发脉冲，驱动脉冲用于驱动电机，触发脉冲用于触发光谱仪，触发脉冲的周期与电机的转动周期相同；步骤2、采集校准时刻编码器输出脉冲与触发脉冲的时间偏差，获取校准时刻相位补偿器的初始方位角；步骤3、采集重启后编码器输出脉冲与触发脉冲的时间偏差，计算出重启后补偿器的初始方位角和校准时刻补偿器的初始方位角之间的偏差；步骤4、将重启后补偿器的初始方位角和校准时刻补偿器的初始方位角之间的偏差补偿到校准时刻补偿器的初始方位角中，即得到重启后补偿器的初始方位角。本发明专利技术提高了测量精度，降低了硬件要求，节约了设备成本。

A system control method of spectral ellipsometer with single rotary compensator

【技术实现步骤摘要】
一种单旋转补偿器光谱型椭偏仪系统控制方法
本专利技术涉及检测与测量领域，具体涉及一种单旋转补偿器光谱型椭偏仪系统控制方法。
技术介绍
光谱椭偏仪是一种光学薄膜检测设备，其利用样件介质表面对偏振光的偏振态改变，进行模型分析，得出样件薄膜厚度，消光系数，折射率等物理信息。光谱椭偏仪相对于传统电镜(SEM)，聚焦离子束(FIB)等测量手段，有着非接触，不破坏，集成可能性高，测试简单等多种优势。成为了半导体等行业薄膜在线检测的重要手段。光谱型椭偏仪，目前分为单旋转调制型和双旋转调制补偿型。单旋转型大致系统主要分为起偏臂和检偏臂。起偏臂为偏振光(圆偏振光)发出机构，内部主要光学元件有光源，光阑，准直透镜，偏振片，波片(旋转型相位补偿器)等。其中，波片通过夹具装夹在中空轴电机上，随电机按某一周期旋转。准直后的光束经过偏振片后，变成线偏振光(某一方向上的偏振光)，线偏振光经过旋转的波片后，偏振方向发生周期改变，偏振方向呈圆周方向周期变化，称为圆偏振光。圆偏光经过被测样件反射(透射)后，样件对不同波长，不同偏振方向的偏振光作用不同，导致本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单旋转补偿器光谱型椭偏仪系统控制方法，所述椭偏仪包括光源、起偏器、相位补偿器、检偏器、光谱仪，所述光源依次穿过所述起偏器、所述相位补偿器，经待测物反射/透射后依次进入所述检偏器、所述光谱仪，所述相位补偿器设置在中空轴电机上，所述电机驱动所述相位补偿器旋转，其特征在于，所述控制方法包括以下步骤：/n步骤1、时钟电路同时输出驱动脉冲以及触发脉冲，所述驱动脉冲用于驱动所述电机，所述触发脉冲用于触发所述光谱仪，所述触发脉冲的周期与所述电机的转动周期T相同；/n步骤2、对所述椭偏仪进行校准，采集校准时刻所述电机的编码器输出脉冲与所述触发脉冲的时间偏差t1，并获取校准时刻所述相位补偿器的初始方位角...

【技术特征摘要】
1.一种单旋转补偿器光谱型椭偏仪系统控制方法，所述椭偏仪包括光源、起偏器、相位补偿器、检偏器、光谱仪，所述光源依次穿过所述起偏器、所述相位补偿器，经待测物反射/透射后依次进入所述检偏器、所述光谱仪，所述相位补偿器设置在中空轴电机上，所述电机驱动所述相位补偿器旋转，其特征在于，所述控制方法包括以下步骤：
步骤1、时钟电路同时输出驱动脉冲以及触发脉冲，所述驱动脉冲用于驱动所述电机，所述触发脉冲用于触发所述光谱仪，所述触发脉冲的周期与所述电机的转动周期T相同；
步骤2、对所述椭偏仪进行校准，采集校准时刻所述电机的编码器输出脉冲与所述触发脉冲的时间偏差t1，并获取校准时刻所述相位补偿器的初始方位角Cs1；
步骤3、对所述椭偏仪进行重启，采集重启后所述电机的编码器输出脉冲与所述触发脉冲的时间偏差t2，通过重启后所述电机的编码器输出脉冲与所述触发脉冲的时间偏差t2、校准时刻所述电机的编码器输出脉冲与所述触发脉冲的时间偏差t1、所述电机转动周期T计算出重启后补偿器的初始方位角Cs2和校准时刻补偿器的初始方位角Cs1之间的偏差Δα；
步骤4、将重启后补偿器的初始方位角Cs2和校准时刻补偿器的初始方位角Cs1之间的偏差Δα补偿到校准时刻补偿器的初始方位角Cs1中，即得到重启后补偿器的初始...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭春付，蒲俊鹏，陈军，张传维，李伟奇，刘世元，
申请(专利权)人：武汉颐光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42