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本发明涉及一种单旋转补偿器光谱型椭偏仪系统控制方法，包括：步骤1、时钟电路同时输出驱动脉冲以及触发脉冲，驱动脉冲用于驱动电机，触发脉冲用于触发光谱仪，触发脉冲的周期与电机的转动周期相同；步骤2、采集校准时刻编码器输出脉冲与触发脉冲的时间偏差...
该专利属于武汉颐光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉颐光科技有限公司授权不得商用。

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