一种MEMS流量传感器芯片制造技术

本发明专利技术提供了一种MEMS流量传感器芯片，所述MEMS流量传感器芯片包括具有腔体的基底、设置在基底下方的腔体保护层、叠设于基底上方的电阻元件支承层、载置于电阻元件支承层的感温元件和测流元件、覆盖感温元件和所测流元件的电阻元件保护层以及设置在所述电阻元件保护层上方的芯片保护层。其中，所述测流元件对应设置在所述腔体的正上方；所述感温元件设置在所述基底上方的非腔体对应的位置。本发明专利技术的MEMS流量传感器芯片应用广泛，特别适用于小微流量的流体流速测量；具有电路结构简单，测量精度高、成本低的特点；提升了测量灵敏度和测量范围；并且使用寿命更长。

A MEMS flow sensor chip

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS流量传感器芯片
本专利技术是一种基于MEMS技术的流体流量传感器芯片，具体涉及微流量或者小流量流体的MEMS流量传感器芯片。
技术介绍
MEMS流量传感器芯片是以微电子技术(半导体制造技术)为基础，并结合微加工和精密机械加工等技术制造而成的流量传感器核心器件。目前基于MEMS技术的传感器芯片已广泛的应用于工业控制、汽车电子、医疗器械、分析仪器、空气质量检测等领域。与传统机械式流量计相比，MEMS流量传感器芯片具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、易于集成和实现智能化的特点。但是由于MEMS流量传感器芯片涉及多学科领域，技术难度大，加工要求高，而且一种流量传感器往往只适用于特定的环境，导致生产成本很高。此外，多数MEMS流量传感器芯片受生产工艺的限制，均采用普通半导体材料，因而使用寿命普遍较短。因此，本专利技术提供一种成本更低、寿命更长、精度可靠性更高、并可应用于多种环境的MEMS流量传感器芯片。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提供一种MEMS流量传感器芯片，所述MEMS流量传感本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS流量传感器芯片，其特征在于，所述MEMS流量传感器芯片包括具有腔体的基底、设置在基底下方的腔体保护层、叠设于基底上方的电阻元件支承层、载置于电阻元件支承层的感温元件和测流元件，其中，所述测流元件对应设置在所述腔体的正上方；所述感温元件设置在所述基底上方的非腔体对应的位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS流量传感器芯片，其特征在于，所述MEMS流量传感器芯片包括具有腔体的基底、设置在基底下方的腔体保护层、叠设于基底上方的电阻元件支承层、载置于电阻元件支承层的感温元件和测流元件，其中，所述测流元件对应设置在所述腔体的正上方；所述感温元件设置在所述基底上方的非腔体对应的位置。


2.根据权利要求1所述的MEMS流量传感器芯片，其特征在于，还包括电阻元件保护层，所述电阻元件保护层覆盖所述感温元件和所述测流元件；所述感温元件为一个或多个，所述测流元件为一个或多个。


3.根据权利要求2所述的MEMS流量传感器芯片，其特征在于，还包括设置在所述电阻元件保护层上方的芯片保护层。


4.根据权利要求1或2所述的MEMS流量传感器芯片，其特征在于，所述感温元件和所述测流元件的材质均为镍、铂、金、铝、铜或者多晶硅。


5.根据权利要求4所述的MEMS流量传感器芯片，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋阳阳，温赛赛，马硕，胡慧珊，王新亮，
申请(专利权)人：苏州原位芯片科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32