【技术实现步骤摘要】
一种依据样品空间结构照明的白光干涉测量装置及方法
本专利技术涉及微纳测量领域，具体涉及一种依据样品空间结构照明的白光干涉测量装置及方法。
技术介绍
白光干涉能够测量表面的粗糙度、微结构轮廓，精度可达到微纳米量级，是微纳测量领域的一种关键技术。白光干涉通过对样品表面进行垂直扫描，获取表面上每一点的相干干涉信号。当样品表面与参考镜的光程相等时，相干干涉信号的对比度最大。因此，通过分析每一点的相干干涉信号就能确定样品上该点的高度信息。由于白光干涉对每一点的相干干涉信号进行分析，因此空间分辨率高、精度高。因此，采用白光干涉测量的前提之一是，相邻点之间的相干干涉信号之间无干扰。然而，当面对一些特殊样品时，白光干涉采集的相干干涉信号在相邻点之间存在干扰，如：夹角等于小于90度的微沟槽阵列结构，微三棱锥阵列，等。此类样品的由许多光滑的小平面(或小曲面)组成，广泛应用于显示屏导光板、光纤熔接机、反光膜等产品中。而对于白光干涉测量，样品微结构的小平面之间会产生光线多次反射，造成空间相邻点的相干干涉信号干扰。为了测量此类带有反射面的微型...
【技术保护点】
1.一种依据样品空间结构照明的白光干涉测量装置，其特征在于，包括相干扫描干涉系统和图案照明系统；/n所述相干扫描干涉系统由干涉物镜(1)、扫描器(2)、管镜(3)和图像传感器(4)组成；所述干涉物镜(1)安装在扫描器(2)上；所述图案照明系统由干涉物镜(1)、投影镜头(5)和微显示器(6)组成，所述相干扫描干涉系统和图案照明系统使用同一个干涉物镜(1)；/n所述微显示器(6)发出的照明光线依次经过投影镜头(5)、分光镜(7)、干涉物镜(1)成像在样品(9)上，经样品(9)反射后依次经过干涉物镜(1)、分光镜(7)、管镜(3)，在图像传感器(4)上形成干涉条纹，所述图像传感器...
【技术特征摘要】
1.一种依据样品空间结构照明的白光干涉测量装置，其特征在于，包括相干扫描干涉系统和图案照明系统；
所述相干扫描干涉系统由干涉物镜(1)、扫描器(2)、管镜(3)和图像传感器(4)组成；所述干涉物镜(1)安装在扫描器(2)上；所述图案照明系统由干涉物镜(1)、投影镜头(5)和微显示器(6)组成，所述相干扫描干涉系统和图案照明系统使用同一个干涉物镜(1)；
所述微显示器(6)发出的照明光线依次经过投影镜头(5)、分光镜(7)、干涉物镜(1)成像在样品(9)上，经样品(9)反射后依次经过干涉物镜(1)、分光镜(7)、管镜(3)，在图像传感器(4)上形成干涉条纹，所述图像传感器(4)与微显示器(6)通过上位机(8)进行数据交换，所述微显示器(6)的照明光源为白光。
2.根据权利要求1所述的一种依据样品空间结构照明的白光干涉测量装置，其特征在于，所述图像传感器(4)与微显示器(6)的整体靶面尺寸相同或相近。
3.根据权利要求1所述的一种依据样品空间结构照明的白光干涉测量装置，其特征在于，所述相干扫描干涉系统和图案照明系统通过分光镜(7)以光轴相互垂直的姿态进行组合。
4.根据权利要求3所述的一种依据样品空间结构照明的白光干涉测量装置，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘乾，李璐璐，张辉，黄小津，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51
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