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本发明公开了一种依据样品空间结构照明的白光干涉测量装置及方法，本发明在照明系统加入微显示器并能够将不同的空间图案投影在样品表面；在测量时，依据采集的样品图像并结合样品的特征，对样品的测量区域进行划分，形成不同的照明图案；将照明图案输入至微显...
该专利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院机械制造工艺研究所授权不得商用。

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