【技术实现步骤摘要】
一种提高测量精度的激光干涉仪
本技术涉及测量精度
，特别涉及一种提高测量精度的激光干涉仪。
技术介绍
激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量。根据激光干涉原理可知，经典的迈克尔逊激光干涉仪的位移测量精度为激光波长的一半。更高精度的测量精度需要对干涉仪进行原理上的改进，以便实现更高精度的位移测量同时现有激光干涉仪往往用于机床检定等工作，难以实现机床等设备的在线应用，这也对激光干涉仪的结构提出了新的要求。
技术实现思路
本技术的目的在于改善现有技术中所存在的不足，提供一种提高测量精度的激光干涉仪，为精确测量精度。为了实现上述技术目的，本技术实施例提供了以下技术方案：一种提高测量精度的激光干涉仪，包括：读数头、分别设置在读数头两侧的第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组，所述第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组镜像对称设置；所述读数头包括：激光源，用于发射激光束；分光镜，用于接收激光源发射的激光束，并将接收到的激光束反射/...
【技术保护点】
1.一种提高测量精度的激光干涉仪，其特征在于：包括：读数头、分别设置在读数头两侧的第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组，所述第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组镜像对称设置；/n所述读数头包括：/n激光源，用于发射激光束；/n分光镜，用于接收激光源发射的激光束，并将接收到的激光束反射/透射至反射镜，以及透射/反射至移动直角反射镜组；/n反射镜，用于接收分光镜反射/透射的激光束，并将接收到的激光束反射至移动直角反射镜组；/n移动直角反射镜组，设置于第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组之间，用于接收反射镜反射的激光束，以及分光镜透射的激光束，并将反射镜反射的激...
【技术特征摘要】
1.一种提高测量精度的激光干涉仪，其特征在于：包括：读数头、分别设置在读数头两侧的第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组，所述第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组镜像对称设置；
所述读数头包括：
激光源，用于发射激光束；
分光镜，用于接收激光源发射的激光束，并将接收到的激光束反射/透射至反射镜，以及透射/反射至移动直角反射镜组；
反射镜，用于接收分光镜反射/透射的激光束，并将接收到的激光束反射至移动直角反射镜组；
移动直角反射镜组，设置于第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组之间，用于接收反射镜反射的激光束，以及分光镜透射的激光束，并将反射镜反射的激光束、分光镜透射的激光束分别反射至第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组，经第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组与移动直角反射镜组之间多次反射后，最终将两束激光反射至聚光透镜；
聚光透镜，用于接收移动直角反射镜组反射的两束激光束，并将两束激光束透射至光电探测器上；
光电探测器，设置于聚光透镜的焦点位置，用于接收聚光透镜透射的激光束。
2.根据权利要求1所述的一种提高测量精度的激光干涉仪，其特征在于：所述读数头连接有移动装置，用于带动读数头向第一固定直角反射镜组或向第二固定直角反射镜组的方向平行移动。
3.根据权利要求2所述的一种提高测量精度的激光干涉仪，其特征在于：所述光电探测器连接有处理器，用于检测光电探测器上的干涉现象。
4.根据权利要求1所述的一种提高测量精度的激光干涉仪，其特征在于：所述一种提高测量精度的激光干涉仪设置于壳体内，且所述第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组固定设置于壳体内，所述读数头设置于壳体内，读数头能在壳体内向第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组的方向移动。
5.根据权利要求1所述的一种提高测量精度的激光干涉仪，其特征在于：所述分光镜与激光源发射的激光束呈45°夹角，且所述反射镜与分光镜平行设置。
6.根据权利要求1所述的一种提高测量精度的激光干涉仪，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张白，刘杰，杨来龙，王鹤，
申请(专利权)人：北方民族大学，
类型：新型
国别省市：宁夏;64
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