下载一种提高测量精度的激光干涉仪的技术资料

文档序号:24222542

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本实用新型涉及一种提高测量精度的激光干涉仪,包括读数头、以及分别设置在读数头两侧的第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组,所述第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组镜像对称设置,所述读数头包括激光源、分光镜、反射镜、移动直角反射镜组...
该专利属于北方民族大学所有,仅供学习研究参考,未经过北方民族大学授权不得商用。

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