一种硅片合片、分片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片合片、分片装置，包括安装支架、移动组件、偏移组件和吸盘组件，移动组件包括设置在安装支架下方的两平行的第一丝杆滑台，偏移组件分别设置在两个第一丝杆滑台上，第一丝杆滑台带动偏移组件沿安装支架的长轴方向移动，偏移组件包括第二丝杆滑台，吸盘组件设置在所述第二丝杆滑台上，第二丝杆滑台带动吸盘组件沿安装支架的短轴方向移动，吸盘组件包括多个彼此紧贴的硅片吸盘，偏移组件和移动组件先带动一侧的吸盘组件上的硅片偏移、插接到另一侧吸盘组件的硅片的间隙中，偏移组件再次带动吸盘组件偏移，实现硅片的合片。本实用新型专利技术能够实现多片硅片的同时偏移、插接、合片的步骤，便于硅片在不同花篮之间的快速放置。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片合片、分片装置
本技术涉及硅片生产设备领域，具体涉及一种硅片合片、分片装置。
技术介绍
太阳能电池硅片的工艺处理中，需要用承载装置将硅片稳固、有序、间隔地放置，以便于在工艺处理中将硅片的多次转移，此承载装置称之为硅片花篮，在不同的工艺处理步骤中，硅片花篮的结构和类型也不同，有的花篮中能够同时容纳两片硅片，有的花篮中只能容纳一片硅片，此时，将硅片在不同的花篮之间摆放时就需要就需要将硅片进行合片和分片处理。现有技术中，对硅片进行合片时，都是通过机械手先将一片硅片放置在花篮的一侧，然后再次通过机械手在花篮的另一侧放置另一张硅片，此种放置的方法当一片硅片放置在花篮中时，由于花篮中的间隙较大，硅片在花篮中有可能会倾斜，当准备放入第二片硅片时，第二片硅片可能会挤压第一片硅片对第一篇硅片造成损伤，并且同时放置多片硅片时，有可能会导致放置位置不准确，也会到硅片造成损伤。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种硅片合片、分片装置，能够在将硅片放入花篮前，实现多片硅片的同时偏移、插接、合片的步骤，同时也能实现多片硅片同时分片、分离的步骤，便于硅片在不同花篮之间的快速放置。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种硅片合片、分片装置，其特征在于，包括安装支架、移动组件、偏移组件和吸盘组件，所述移动组件包括设置在所述安装支架下方的两平行的第一丝杆滑台，所述偏移组件分别设置在两个第一丝杆滑台上，所述第一丝杆滑台带动所述偏移组件沿安装支架的长轴方向移动，所述偏移组件包括第二丝杆滑台，所述吸盘组件设置在所述第二丝杆滑台上，所述第二丝杆滑台带动所述吸盘组件沿安装支架的短轴方向移动，所述吸盘组件包括多个彼此紧贴的硅片吸盘，当硅片吸盘吸附硅片时，相邻两个硅片之间存在间隙，所述偏移组件和移动组件先带动一侧的吸盘组件上的硅片偏移、插接到另一侧吸盘组件的硅片的间隙中，所述偏移组件再次带动吸盘组件偏移，实现硅片的合片。本技术一个较佳实施例中，进一步包括所述第一丝杆滑台和第二丝杆滑台均包括丝杆、套设在所述丝杆上的螺母、固定在所述螺母上的安装平台以及驱动所述丝杆转动的驱动源。本技术一个较佳实施例中，进一步包括所述驱动源为伺服电机，所述伺服电机的输出端通过联轴器与所述丝杆连接。本技术一个较佳实施例中，进一步包括所述偏移组件还包括上安装板和下安装板，所述上安装板设置在所述第二丝杆滑台的上方，所述上安装板安装在所述第一丝杆滑台上，所述下安装板设置在所述第二丝杆滑台的下方，所述吸盘组件安装在所述下安装板上。本技术一个较佳实施例中，进一步包括所述硅片吸盘包括与硅片相接触的吸取部、以及与吸取部一体成型的根部，其中，吸取部与硅片相接触面上开设有吸嘴，硅片吸盘的内部开设有通往根部并连通外界的气路，气路与吸嘴相连通，所述根部的厚度大于吸取部的厚度，吸取部关于根部偏置设置从而当相邻两片硅片吸盘紧贴时两者的吸取部之间形成有用于容纳硅片的间隙。本技术一个较佳实施例中，进一步包括所述间隙的距离大于两个硅片叠加的厚度，使所述间隙中能容置两个硅片。本技术一个较佳实施例中，进一步包括所述安装支架上设置有L型的安装立板。本技术一个较佳实施例中，进一步包括所述安装支架的下方设置有滑轨，所述偏移组件上设置有与所述滑轨匹配的滑块。本技术的有益效果：本技术采用两组第一丝杆滑台带动两组偏移组件沿安装支架的长轴方向移动，采用第二丝杆滑台带动两组偏移组件上的吸盘组件沿安装支架的短轴方向移动，采用吸盘组件同时吸附有多片硅片，当吸盘组件吸附多片硅片时，相邻两个硅片之间存在间隙，首先，偏移组件上的第二丝杆滑台带动吸盘组件向一侧偏移，使两组吸盘组件吸附的多片硅片交错分布，之后，移动组件上的第一丝杆滑台带动一侧的吸盘组件上的硅片插接到另一侧吸盘组件的硅片的间隙中，最后，偏移组件上的第二丝杆滑台带动吸盘组件，使两个吸盘组件上吸附的硅片贴合，从而实现多片硅片的同时偏移、插接、合片。并且，本技术的过程是可逆的，也可以将多个贴合在一起的硅片，通过吸盘组件、偏移组件和移动组件，实现硅片的同时分片、分离，这样通过本技术就可以实现硅片在不同花篮间的快速取放。附图说明图1是本技术的硅片合片、分片装置的结构示意图；图2是本技术的移动组件的结构示意图；图3是本技术的偏移组件的结构示意图；图4是本技术的硅片吸盘的结构示意图。图中标号说明：1、安装支架；2、移动组件；21、第一丝杆滑台；211、丝杆；212、螺母；213、安装平台；214、驱动源；3、偏移组件；31、第二丝杆滑台；32、上安装板；33、下安装板；4、吸盘组件；41、吸取部；42、吸嘴；43、根部；5、硅片；6、安装立板；7、滑轨；8、滑块。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。参照图1-3所示，本技术的硅片合片、分片装置的一实施例，包括安装支架1、移动组件2、偏移组件3和吸盘组件4，所述移动组件2包括设置在所述安装支架1下方的两平行的第一丝杆滑台21，所述偏移组件3分别设置在两个第一丝杆滑台21上，所述第一丝杆滑台21带动所述偏移组件3沿安装支架1的长轴方向移动，所述偏移组件3包括第二丝杆滑台31，所述吸盘组件4设置在所述第二丝杆滑台31上，所述第二丝杆滑台31带动所述吸盘组件4沿安装支架1的短轴方向移动，所述吸盘组件4包括多个彼此紧贴的硅片吸盘，当硅片吸盘吸附硅片5时，相邻两个硅片5之间存在间隙。首先，所述3偏移组件上的第二丝杆滑台31带动所述吸盘组件4向一侧偏移，使两组所述吸盘组件4吸附的多片硅片5交错分布，之后，所述移动组件2上的第一丝杆滑台21带动一侧的吸盘组件4上的硅片5插接到另一侧吸盘组件4的硅片5的间隙中，最后，所述偏移组件3上的第二丝杆滑台31带动吸盘组件4，使两个吸盘组件4上吸附的硅片5贴合，从而实现多片硅片5的同时偏移、插接、合片，并且，本技术的过程是可逆的，也可以将多个贴合在一起的硅片5，通过吸盘组件4、偏移组件3和移动组件2，实现硅片5的同时分片、分离，这样通过本技术就可以实现硅片5在不同花篮间的快速取放。具体地，所述第一丝杆滑台21和第二丝杆滑台31均包括丝杆211、套设在所述丝杆211上的螺母212、固定在所述螺母212上的安装平台213以及驱动所述丝杆211转动的驱动源214，所述驱动源214为伺服电机，所述伺服电机的输出端通过联轴器与所述丝杆211连接，所述伺服电机转动，从而带动丝杆211转动，所述螺母212带动所述安装平台213在所述丝杆211上水平移动。具体地，所述偏移组件3还包括上安装板32和下安装板33，所述上安装板32设置在所述第二丝杆滑台31的上方，所述上安装板32通过螺栓固定安装在所述第一丝杆滑台21的安装平台213上，所述下安本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片合片、分片装置，其特征在于，包括安装支架、移动组件、偏移组件和吸盘组件，所述移动组件包括设置在所述安装支架下方的两平行的第一丝杆滑台，所述偏移组件分别设置在两个第一丝杆滑台上，所述第一丝杆滑台带动所述偏移组件沿安装支架的长轴方向移动，所述偏移组件包括第二丝杆滑台，所述吸盘组件设置在所述第二丝杆滑台上，所述第二丝杆滑台带动所述吸盘组件沿安装支架的短轴方向移动，所述吸盘组件包括多个彼此紧贴的硅片吸盘，当硅片吸盘吸附硅片时，相邻两个硅片之间存在间隙，所述偏移组件和移动组件先带动一侧的吸盘组件上的硅片偏移、插接到另一侧吸盘组件的硅片的间隙中，所述偏移组件再次带动吸盘组件偏移，实现硅片的合片。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片合片、分片装置，其特征在于，包括安装支架、移动组件、偏移组件和吸盘组件，所述移动组件包括设置在所述安装支架下方的两平行的第一丝杆滑台，所述偏移组件分别设置在两个第一丝杆滑台上，所述第一丝杆滑台带动所述偏移组件沿安装支架的长轴方向移动，所述偏移组件包括第二丝杆滑台，所述吸盘组件设置在所述第二丝杆滑台上，所述第二丝杆滑台带动所述吸盘组件沿安装支架的短轴方向移动，所述吸盘组件包括多个彼此紧贴的硅片吸盘，当硅片吸盘吸附硅片时，相邻两个硅片之间存在间隙，所述偏移组件和移动组件先带动一侧的吸盘组件上的硅片偏移、插接到另一侧吸盘组件的硅片的间隙中，所述偏移组件再次带动吸盘组件偏移，实现硅片的合片。


2.如权利要求1所述的硅片合片、分片装置，其特征在于，所述第一丝杆滑台和第二丝杆滑台均包括丝杆、套设在所述丝杆上的螺母、固定在所述螺母上的安装平台以及驱动所述丝杆转动的驱动源。


3.如权利要求2所述的硅片合片、分片装置，其特征在于，所述驱动源为伺服电机，所述伺服电机的输出端通过联轴器与所述丝杆连接。


4.如权利要求1所述的硅片合...

【专利技术属性】
技术研发人员：张学强，戴军，张建伟，罗银兵，张巍，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32