一种三向定位变节距装置制造方法及图纸

技术编号:24328826 阅读:32 留言:0更新日期:2020-05-29 18:56
本实用新型专利技术公开了一种三向定位变节距装置,包括升降组件和侧推组件,所述升降组件包括上下移动的第一滑块,所述第一滑块上固定设置有顶板,所述顶板下侧设置第一侧板、第二侧板、第一驱动源和第二驱动源,所述第一侧板与第二侧板的移动方向在同一条直线上,所述第一侧板上设置有多个第一承托槽,多个所述第一承托槽竖直排列,所述第二侧板上设置有多个第二承托槽,多个所述第二承托槽竖直排列,所述第一承托槽与第二承托槽配合以承托硅片;所述侧推组件包括抵推板和第三驱动源,所述第三驱动源驱动抵推板垂直于第一侧板的移动方向移动以抵推硅片的侧面。其可实现多个硅片排列整齐,方便后续抓取,结构紧凑,方便实用。

【技术实现步骤摘要】
一种三向定位变节距装置
本技术涉及硅片传输
,具体涉及一种三向定位变节距装置。
技术介绍
目前,在硅片的生产传输过程中,由于输送线不稳定,硅片很难保证进入预定位置的位置都是一样的,一些外界因素导致硅片偏移,多个硅片排列不整齐,这样机械手将硅片插入石墨舟中会出现碎裂崩边等问题,如此,影响后续的生产加工。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种三向定位变节距装置,其可实现多个硅片排列整齐,方便后续抓取,结构紧凑,方便实用。为了解决上述技术问题,本技术提供了一种三向定位变节距装置,包括升降组件和侧推组件,所述升降组件包括上下移动的第一滑块,所述第一滑块上固定设置有顶板,所述顶板下侧设置第一侧板、第二侧板、第一驱动源和第二驱动源,所述第一驱动第一侧板移动,所述第二驱动源驱动第二侧板移动,所述第一侧板与第二侧板的移动方向在同一条直线上,所述第一侧板上设置有多个第一承托槽,多个所述第一承托槽竖直排列,所述第二侧板上设置有多个第二承托槽,多个所述第二承托槽竖直排列,所述第一承托槽与第二承托槽配合以承托硅片;所述侧推组件包括抵推板和第三驱动源,所述第三驱动源驱动抵推板垂直于第一侧板的移动方向移动以抵推硅片的侧面。作为优选的,所述升降组件包括第一滑轨和第四驱动源,所述第一滑块与第一滑轨配合设置,所述第四驱动源驱动第一滑块沿第一滑轨上下运动。作为优选的,所述顶板底部设置有第二滑轨,所述第二滑轨上配合设置有第二滑块和第三滑块,所述第二滑块与第一侧板固定设置,所述第三滑块与第二侧板固定设置。作为优选的,所述第一侧板上设置有两列第一承托槽。作为优选的,所述第二侧板上设置有两列第二承托槽。作为优选的,所述抵推板呈H形。作为优选的,所述第三驱动源为气缸。作为优选的,所述第一驱动源和第二驱动源为气缸。本技术的有益效果:1、本技术中第一侧板上设置有多个第一承托槽,第二侧板上设置有多个第二承托槽,单个第一承托槽和单个第二承托槽可配合承托单个硅片,如此该装置可以装载多个硅片,而第一侧板和第二侧板靠近使得多个硅片两侧排列整齐,抵推板又对多个硅片的另一侧面抵推限位,如此即可实现多个硅片排列整齐,方便后续抓取。2、本技术结构紧凑,方便实用。附图说明图1为本技术的结构示意图一;图2为本技术的结构示意图二,其隐藏了第二侧板的部分以显示第一驱动源和第二驱动源;图3为图2在A区域的局部放大图。图中标号说明:10、第一滑轨;11、第一滑块;12、第四驱动源;20、顶板;21、第一侧板;22、第二侧板;23、第一承托槽;24、第二承托槽;25、第二滑轨;26、第二滑块;27、第三滑块;30、第三驱动源;31、抵推板;40、第一驱动源;41、第二驱动源。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施,但所举实施例不作为对本技术的限定。参照图1-图3所示,本技术的公开了一种三向定位变节距装置,包括升降组件和侧推组件,升降组件包括上下移动的第一滑块11。第一滑块11上固定设置有顶板20,顶板20下侧设置第一侧板21、第二侧板22、第一驱动源40和第二驱动源41,第一驱动第一侧板21移动,第二驱动源41驱动第二侧板22移动,第一侧板21与第二侧板22的移动方向在同一条直线上。即在第一驱动源40和第二驱动源41的左右下,第一侧板21与第二侧板22靠近或远离。在第一侧板21上设置有多个第一承托槽23,多个第一承托槽23竖直排列,第二侧板22上设置有多个第二承托槽24,多个第二承托槽24竖直排列,第一承托槽23与第二承托槽24配合以承托硅片。如此,硅片即可放置在第一承托槽23和第二承托槽24内。而由于第一承托槽23和第二承托槽24具有多个,即可放置多个硅片。在另一实施例中,第一侧板21上设置有两列第一承托槽23。第二侧板22上设置有两列第二承托槽24。如此,实现硅片的四角承托。通过上述设置,多个第一承托槽23和多个第二承托槽24即可配合装载多片硅片,多片硅片呈竖直排列。而第一侧板21与第二侧板22的靠近将导致第一承托槽23和第二承托槽24的靠近,如此,即实现硅片两侧的限位,使得硅片排列整齐。侧推组件包括抵推板31和第三驱动源30,第三驱动源30驱动抵推板31垂直于第一侧板21的移动方向移动以抵推硅片的侧面。抵推板31可抵推多个硅片的侧面,如此将多个硅片拍齐。方便后续夹取及运输。升降组件包括第一滑轨10和第四驱动源12,第一滑块11与第一滑轨10配合设置,第四驱动源12驱动第一滑块11沿第一滑轨10上下运动。第四驱动源12可以为电机,电机与螺杆连接,滑块与螺杆螺纹配合,如此,电机即可驱动第一滑块11做升降动作。在顶板20底部设置有第二滑轨25,第二滑轨25上配合设置有第二滑块26和第三滑块27,第二滑块26与第一侧板21固定设置,第三滑块27与第二侧板22固定设置。如此,第二滑块26可对第一侧板21的运动进行限位,第三滑块27可对第二侧板22的运动进行限位。抵推板31呈H形。H形抵推板31可对多个硅片一侧两块区域抵推以推齐,结构小巧,方便实用。第三驱动源30为气缸。第一驱动源40和第二驱动源41为气缸。本技术的工作原理如下:(1)升降组件的第一滑块11降落,之后向单个第一承托槽23和第二承托槽24塞入一片硅片,之后第一滑块上升一格;(2)继续向空的第一承载槽23和第二承载槽24中塞入一篇硅片,之后第一滑块继续上升一格,如此往复,可装载多片硅片;(3)第一驱动源40和第二驱动源41工作,使得第一侧板21与第二侧板22靠近,如此,硅片两侧即被压齐;(4)抵推板31抵推一竖排硅片的另一侧面,即第三面,使得硅片另一方面被压齐。如此,硅片即被排列整齐,且等间距排布,方便后续的取用。后续机械手取用硅片时,由于硅片的位置已经被校准后,即可实现精确抓取。本技术可以将前端生产线的硅片排列整齐,并方便用于后段工序,其也可实现多个硅片的变节距操作,以适应不同生产需求。以上所述实施例仅是为充分说明本技术而所举的较佳的实施例,本技术的保护范围不限于此。本
的技术人员在本技术基础上所作的等同替代或变换,均在本技术的保护范围之内。本技术的保护范围以权利要求书为准。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种三向定位变节距装置,其特征在于,包括升降组件和侧推组件,所述升降组件包括上下移动的第一滑块,所述第一滑块上固定设置有顶板,所述顶板下侧设置第一侧板、第二侧板、第一驱动源和第二驱动源,所述第一驱动第一侧板移动,所述第二驱动源驱动第二侧板移动,所述第一侧板与第二侧板的移动方向在同一条直线上,所述第一侧板上设置有多个第一承托槽,多个所述第一承托槽竖直排列,所述第二侧板上设置有多个第二承托槽,多个所述第二承托槽竖直排列,所述第一承托槽与第二承托槽配合以承托硅片;所述侧推组件包括抵推板和第三驱动源,所述第三驱动源驱动抵推板垂直于第一侧板的移动方向移动以抵推硅片的侧面。/n

【技术特征摘要】
1.一种三向定位变节距装置,其特征在于,包括升降组件和侧推组件,所述升降组件包括上下移动的第一滑块,所述第一滑块上固定设置有顶板,所述顶板下侧设置第一侧板、第二侧板、第一驱动源和第二驱动源,所述第一驱动第一侧板移动,所述第二驱动源驱动第二侧板移动,所述第一侧板与第二侧板的移动方向在同一条直线上,所述第一侧板上设置有多个第一承托槽,多个所述第一承托槽竖直排列,所述第二侧板上设置有多个第二承托槽,多个所述第二承托槽竖直排列,所述第一承托槽与第二承托槽配合以承托硅片;所述侧推组件包括抵推板和第三驱动源,所述第三驱动源驱动抵推板垂直于第一侧板的移动方向移动以抵推硅片的侧面。


2.如权利要求1所述的三向定位变节距装置,其特征在于,所述升降组件包括第一滑轨和第四驱动源,所述第一滑块与第一滑轨配合设置,所述第四驱动源驱动第一滑块沿第一滑轨上...

【专利技术属性】
技术研发人员:张学强戴军张建伟罗银兵李圣鹤
申请(专利权)人:罗博特科智能科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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