下载一种硅片合片、分片装置的技术资料

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本实用新型公开了一种硅片合片、分片装置,包括安装支架、移动组件、偏移组件和吸盘组件,移动组件包括设置在安装支架下方的两平行的第一丝杆滑台,偏移组件分别设置在两个第一丝杆滑台上,第一丝杆滑台带动偏移组件沿安装支架的长轴方向移动,偏移组件包括第...
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