扩散工艺篮具内成组硅片的托起机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扩散工艺篮具内成组硅片的托起机构，解决了现有托起机构存在的硅片底端定位高度不一致和同用性不强的问题。在两个梳齿状托架（3）之间放置有硅片（4），梳齿状托架（3）是由前齿架（5）和后齿架（10）组合而成的，在前齿架（5）的中上部设置有前梳齿（7），在前齿架的下部梳身上设置有长条状通孔（6），在前齿架（5）的后侧面上设置有长方形板条接插凹槽（9），在长方形板条接插凹槽中插接有长方体形板条（14）；在后齿架（10）的中上部设置有后梳齿（12），在后齿架的下部梳身上设置有螺栓连接通孔（11）；在前齿架（5）的后侧面上靠接有后齿架，组成梳齿状托架（3）。适合在石英舟装片机中使用。

The supporting mechanism of group silicon wafer in the basket of diffusion process

【技术实现步骤摘要】
扩散工艺篮具内成组硅片的托起机构
本专利技术涉及一种太阳能电池片生产设备，特别涉及一种在扩散制结工艺中对扩散工艺篮具内的成组硅片进行托起的机构。
技术介绍
太阳能电池片的生产工艺，大致可以归纳为：硅片检测、表面制绒及酸洗、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀及酸洗、镀减反射膜、丝网印刷、快速烧结；完成表面制绒及酸洗工艺的硅片需要先从扩散工艺篮具中转运到石英舟内，然后，再将装载有硅片的石英舟传送到烧结炉中，对硅片进行扩散制结；硅片从扩散工艺篮具转运到石英舟内的操作是通过石英舟装片机完成的；在石英舟装片机上分别设置有石英舟传送轨道和扩散工艺篮具传送轨道，在石英舟传送轨道上设置有石英舟，在扩散工艺篮具传送轨道上设置有扩散工艺篮具，在两轨道上方设置有抓取并转运硅片的吸盘机构，经过表面制绒及酸洗后的硅片，每100片为一组，被平放在扩散工艺篮具中，平放有硅片的扩散工艺篮具被运送到石英舟装片机的上料平台上，之后篮具被传送到吸盘机构的正下方；首先，要完成硅片的抓取动作，在吸盘机构的正下方设置有硅片托起机构，托起机构的任务是将篮具中的硅片托起，使其脱离篮具，以方便吸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散工艺篮具内成组硅片的托起机构，包括托架底座板（1），在托架底座板（1）上彼此平行地设置有两块托架立板（2），在每块托架立板（2）的顶端均设置有梳齿状托架（3），在两个梳齿状托架（3）之间放置有硅片（4），其特征在于，梳齿状托架（3）是由前齿架（5）和后齿架（10）组合而成的，前齿架（5）的形状和后齿架（10）的形状均为片状长方形梳；在前齿架（5）的中上部设置有前梳齿（7），在前梳齿（7）的上端设置有前梳齿锥形齿尖（8），在前齿架（5）的下部梳身上设置有长条状通孔（6），在前齿架（5）的后侧面上设置有长方形板条接插凹槽（9），长方形板条接插凹槽（9）设置在前梳齿（7）的底端根部上方，...

【技术特征摘要】
1.一种扩散工艺篮具内成组硅片的托起机构，包括托架底座板（1），在托架底座板（1）上彼此平行地设置有两块托架立板（2），在每块托架立板（2）的顶端均设置有梳齿状托架（3），在两个梳齿状托架（3）之间放置有硅片（4），其特征在于，梳齿状托架（3）是由前齿架（5）和后齿架（10）组合而成的，前齿架（5）的形状和后齿架（10）的形状均为片状长方形梳；在前齿架（5）的中上部设置有前梳齿（7），在前梳齿（7）的上端设置有前梳齿锥形齿尖（8），在前齿架（5）的下部梳身上设置有长条状通孔（6），在前齿架（5）的后侧面上设置有长方形板条接插凹槽（9），长方形板条接插凹槽（9）设置在前梳齿（7）的底端根部上方，在长方形板条接插凹槽（9）中插接有长方体形板条（14）；...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈嘉荣，卫晓冲，杜虎明，岳军，吕沫，戎有兰，折飞，王鹏鹏，张奇巍，姜志艳，
申请(专利权)人：西北电子装备技术研究所中国电子科技集团公司第二研究所，
类型：新型
国别省市：山西;14