自动对焦装置及应用其的光谱分析仪制造方法及图纸

技术编号:24299797 阅读:48 留言:0更新日期:2020-05-26 21:58
本实用新型专利技术公开一种自动对焦装置及应用其的光谱分析仪,自动对焦装置,包括载物台、光谱分析系统、自动对焦装置,自动对焦装置包括手动微调机构、对焦机构以及控制系统,对焦机构设于手动微调机构的驱动端,载物台设于对焦机构的驱动端,控制系统内镶嵌有样本数据,控制系统与光谱分析系统数据连接。光谱分析仪包括上述自动对焦装置。其能够对被测镜片实现自动对焦、自动分析功能。本实用新型专利技术能够根据样品的光斑成像情况实时的进行自动聚焦;聚焦过程自动完成,无需专业人员参与,提高光谱分析的操作效率,降低光谱分析的操作门槛;本实用新型专利技术结构简单,只需输入对焦样本数据,即能对多个受检测片进行自动对焦。

【技术实现步骤摘要】
自动对焦装置及应用其的光谱分析仪
本技术涉及显微球面光谱分析仪器领域,特别涉及自动对焦装置及应用其的光谱分析仪。
技术介绍
根据现代光谱仪器的工作原理,光谱仪可以分为两大类:经典光谱仪和新型光谱仪。经典光谱仪器是建立在空间色散原理上的仪器;新型光谱仪器是建立在调制原理上的仪器。经典光谱仪器都是狭缝光谱仪器。调制光谱仪是非空间分光的,它采用圆孔进光根据色散组件的分光原理,光谱仪器可分为:棱镜光谱仪,衍射光栅光谱仪和干涉光谱仪。无论是经典光谱仪还是新型光谱仪,均需要专业人员进行操作,即操作门槛高;而且,以上的光谱仪在对焦过程复杂,仅依靠肉眼判断,长时间的操作导致出现对焦效率低、对焦不准确等情况,从而导致光谱分析效率低下,导致光谱分析的结果不准确。
技术实现思路
根据本技术的一个方面,提供了自动对焦装置,包括载物台、光谱分析系统,所述自动对焦装置还包括对焦机构以及控制系统,所述载物台设于对焦机构的驱动端,所述控制系统内镶嵌有样本数据,所述控制系统与光谱分析系统数据连接。自动对焦装置配置为根据光路系统的实时数据与样本数据的相对差值对载物台的进行焦距调节,从而实现自动对焦功能本技术的自动对焦装置中,控制系统与光路系统实时数据连接方式,使得对焦机构能够根据光路系统的实时数据与样本数据的相对差值对载物台的焦距进行调节,从而实现对焦功能。本技术能够根据样品的光斑成像情况实时的进行自动聚焦,减小了光谱信号波动;聚焦过程自动完成,无需专业人员参与,提高光谱分析的操作效率,降低光谱分析的操作门槛;本技术结构简单,只需输入对焦样本数据,即能对多个受检测片进行光谱自动分析。在一些实施方式中,对焦机构包括安装板、滑板以及驱动件,滑板和驱动件均设于安装板上,驱动件与滑板驱动连接,载物台安装在滑板上。由此,滑板由驱动件进行升降驱动,从而对载物台的与光路系统的相对距离进行调节,即实现焦距调节功能。在一些实施方式中,对焦机构还包括第一滑轨、第一滑块,第一滑轨设于在安装板上,滑板通过第一滑块安装在第一滑轨上。由此,滑板通过第一滑轨、第一滑块的配合下安装在安装板上,从而实现稳定滑动功能。在一些实施方式中,所述自动对焦装置还包括手动微调机构,所述对焦机构设于手动微调机构的驱动端,手动微调机构包括旋钮、齿轮组以及连接杆,旋钮通过齿轮组与连接杆传动连接,连接杆与安装板驱动连接。由此,手动微调机构为对整个对焦机构进行升降调节。转动旋钮,旋钮通过齿轮组对连接杆进行传动,从而使得安装板升降运动。在一些实施方式中,自动对焦装置还包括固定板,安装板可升降活动地设于固定板,固定板上设有开口,连接杆透过开口与安装板连接。由此,安装板能够在固定板上进行升降滑动,连接杆透过开口与安装板连接,从而实现手动微调机构驱动对焦机构整体升降。在一些实施方式中,固定板上设有第二滑轨,安装板通过第二滑块安装在第二滑轨上。由此,安装板通过第二滑轨、第二滑块的配合作用下安装在固定板上,从而实现稳定的升降滑动功能。在一些实施方式中,控制系统包括:采集模块,采集模块配置为采集光谱分析系统的实时数据;样本储存模块,样本储存模块配置为存储一个或以上的样本数据;分析模块,分析模块配置为对采集模块采集的实时数据进行分析,并从样本储存模块中确定最接近的样本数据;输出模块,输出模块配置将分析结果对对焦机构进行控制,促使“实时数据”无限接近“最接近的样本数据”并重合。由此,采集光谱分析系统的实时光斑数据并结合样本数据对驱动件进行控制,驱动件对载物台进行焦距调整,光谱分析系统的实时光斑数据不断靠近样本数据,最终使实时光斑数据与样本数据重合,对焦完成。根据本技术的另一个方面,提供了光谱分析仪,包括自动对焦装置,其特征在于,还包括光路系统,光路系统设于载物台的上方,光路系统与光谱分析系统连接。本光谱分析仪倚靠自动对焦装置,实现自动光谱分析功能,实用性强。本技术提供一种自动对焦装置,其能够对被测镜片实现自动对焦、自动分析功能。本技术能够根据样品的光斑成像情况实时的进行自动聚焦;聚焦过程自动完成,无需专业人员参与,提高光谱分析的操作效率,降低光谱分析的操作门槛;本技术结构简单,只需输入对焦样本数据,即能对多个受检测片进行自动对焦。附图说明图1为本技术一实施方式的光谱分析仪的立体结构示意图。图2为图1所示光谱分析仪的部分结构的立体结构示意图。图3为图1所示光谱分析仪中自动对焦装置的立体结构示意图。图4为图2所示自动对焦装置的另一角度的立体结构示意图。图5为图1所示光谱分析仪中光路系统的立体结构示意图。图6为图5所示光路系统的剖视结构示意图。图7为图1所示光谱分析仪的自动对焦的逻辑流程示意图。图8为图1所示光谱分析仪的自动对焦的实况流程示意图。图9为图1所示光谱分析仪的分析结果的平面示意图。图中标号:0、机架;1、自动对焦装置;11、手动微调机构;111、旋钮;112、齿轮组;113、连接杆;12、对焦机构;121、安装板;122、滑板;123、驱动件;124、第一滑轨;125、第一滑块;13、固定板;131、开口;132、第二滑轨;133、第二滑块;14、控制系统;141、采集模块;142、分析模块;143、输出模块;144、储存模块;2、光路系统;21、入射光路;211、第一镜片组;2111、第一镜片;2112、第二镜片;212、第二镜片组;2121、第三镜片;2122、第四镜片;2123、第五镜片;213、第三镜片组;2131、第六镜片;214、第四镜片组;2141、第七镜片;2142、第八镜片;22、反射光路;221、第五镜片组;2211、第九镜片;222、第六镜片组;2221、第十镜片;2222、第十一镜片;223、第七镜片组;2231、第十二镜片;23、输出光路;24、反射镜;25、棱镜;26、目镜组件;27、物镜组件;3、光谱分析系统;31、分析器;32、数据处理装置;4、载物台。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步详细的说明。图1-2示意性地显示了根据本技术的一种实施方式的光谱分析仪,包括机架0、载物台4、光路系统2以及光谱分析系统3。载物台4、光路系统2以及光谱分析系统3均安装在机架0上,机架0包括支撑架和壳体,支撑架为实现分析仪支撑作用,壳体配置对内置零件实施保护。载物台4位于光路系统2的正下方,光路系统2与光谱分析系统3数据连接。光谱分析仪还包括自动对焦装置1,自动对焦装置1设于机架0内。自动对焦装置1包括手动微调机构11、对焦机构12以及控制系统14,对焦机构12设于手动微调机构11的驱动端,载物台4设于对焦机构12的驱动端,控制系统14内镶嵌有样本数据,控制系统14与光谱分析系统3数据连接。自动对焦装置1配置为根据光路系统2的实时数据与样本数据的相对差值本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.自动对焦装置,包括载物台(4)、光谱分析系统(3),其特征在于,所述自动对焦装置(1)还包括对焦机构(12)以及控制系统(14),所述载物台(4)设于对焦机构(12)的驱动端,所述控制系统(14)内镶嵌有样本数据,所述控制系统(14)与光谱分析系统(3)数据连接。/n

【技术特征摘要】
1.自动对焦装置,包括载物台(4)、光谱分析系统(3),其特征在于,所述自动对焦装置(1)还包括对焦机构(12)以及控制系统(14),所述载物台(4)设于对焦机构(12)的驱动端,所述控制系统(14)内镶嵌有样本数据,所述控制系统(14)与光谱分析系统(3)数据连接。


2.根据权利要求1所述的自动对焦装置,其特征在于,所述对焦机构(12)包括安装板(121)、滑板(122)以及驱动件(123),所述滑板(122)和驱动件(123)均设于安装板(121)上,所述驱动件(123)与滑板(122)驱动连接,所述载物台(4)安装在滑板(122)上。


3.根据权利要求2所述的自动对焦装置,其特征在于,所述对焦机构(12)还包括第一滑轨(124)、第一滑块(125),所述第一滑轨(124)设有在安装板(121)上,所述滑板(122)通过第一滑块(125)安装在第一滑轨(124)上。


4.根据权利要求2所述的自动对焦装置,其特征在于,所述自动对焦装置(1)还包括手动微调机构(11),所述对焦机构(12)设于手动微调机构(11)的驱动端,所述手动微调机构(11)包括旋钮(111)、齿轮组(112)以及连接杆(113),所述旋钮(111)通过齿轮组(112)与连接杆(113)传动连接,所述连接杆(113)与安装板(121)驱动连接。
...

【专利技术属性】
技术研发人员:肖顺东覃亚
申请(专利权)人:广东北创光电科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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