一种双电子枪的束流采样电路制造技术

本发明专利技术公开了一种双电子枪的束流采样电路，包括高压端

【技术实现步骤摘要】
一种双电子枪的束流采样电路


[0001]本专利技术涉及真空镀膜机
，特别涉及一种双电子枪的束流采样电路
。

技术介绍

[0002]于真空镀膜机中，需要对电子枪的电压数值进行束流采样，根据采样数据对电子枪的电压进行调节，现有多采用磁传送原理的霍尔电流传感器进行采样，而霍尔电流传感器的响应时间大多在几十毫秒到几百毫秒之间，当采样电流作为反馈信号去调节控制时，由于采样延迟，造成电子枪的束流的控制精度较低，有时还会出现束流震荡，束流难控制，特别对于双电子枪情况，霍尔电流传感器之间可能会相互影响，影响束流的精度
。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种双电子枪的束流采样电路，设有两个电子枪，分别通过两直流电流传感器以零磁通电流互感方式进行束流采样，减少励磁电流的影响，响应时间快，减小延迟与束流震荡情况，利于提高束流的控制精度，从而提高电子枪的控制精度
。
[0004]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]一种双电子枪的束流采样电路，包括高压端
HV
，高压端
HV
的第一并联端接第一直流电流传感器
DCCT
后与第一电子枪
EBS
的变压器
T2
连接；
[0006]高压端
HV
的第二并联端接第二直流电流传感器
DCCTB
后与第二电子
EBSB
枪的变压器
T2B
连接；
>[0007]第一直流电流传感器
DCCT
的输出端接电容
C111
后与高压端
HV
连接；
[0008]第二直流电流传感器
DCCTB
的输出端接电容
C111B
后与高压端
HV
连接；
[0009]第一直流电流传感器
DCCT
与第二直流电流传感器
DCCTB
的结构相同；
[0010]第一直流电流传感器
DCCT
包括高压线圈
TP、
感应线圈
NS1
与感应线圈
NS2
；
[0011]感应线圈
NS1
与感应线圈
NS2
串联，感应线圈
NS1
的输入端与辅助电源
ES
连接，感应线圈
NS2
的输出端与整流器连接，整流器的输出端与反馈端
Vo
连接，反馈端
Vo
并联有电阻
RS。
[0012]在一些实施方式中，整流器为全桥式二极管整流器
。
[0013]在一些实施方式中，变压器
T2
的输出线圈并联有电容
。
[0014]在一些实施方式中，变压器
T2
的输出线圈并联有电容
C1
与电容
C2
，电容
C1
与电容
C2
串联
。
[0015]在一些实施方式中，高压端
HV
连接于电容
C1
与电容
C2
之间，且与变压器
T2
连接
。
[0016]在一些实施方式中，第一电子枪
EBS
包括与变压器
T2
连接的灯丝
FIL。
[0017]在一些实施方式中，第一电子枪
EBS
还包括水平偏转电极
XSCAN。
[0018]在一些实施方式中，第一电子枪
EBS
还包括垂直偏转电极
YSCAN。
[0019]本专利技术的有益效果：两个电子枪分别通过两直流电流传感器以零磁通电流互感方式进行束流采样，减少励磁电流的影响，响应时间快，减小延迟与束流震荡情况，利于提高
束流的控制精度，从而提高电子枪的控制精度
。
附图说明
[0020]图1为本专利技术的一种双电子枪的束流采样电路图；
[0021]图2为本专利技术的直流电流传感器的电路图；
[0022]图3为本专利技术的直流电流传感器的组装结构图；
[0023]图4为本专利技术的直流电流传感器的电路原理图
。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本专利技术作进一步详细的说明
。
[0025]参考图1与图2，一种双电子枪的束流采样电路，包括高压端
HV
，高压端
HV
能够提供－
4kv
至－
10kv
的直流电压，为第一电子枪
EBS
与第二电子枪
EBSB
提供高压电源，高压端
HV
的第一并联端接第一直流电流传感器
DCCT
后与第一电子枪
EBS
的变压器
T2
连接；
[0026]高压端
HV
的第二并联端接第二直流电流传感器
DCCTB
后与第二电子枪
EBSB
的变压器
T2B
连接，如此，分别通过两个直流电流传感器对两个电子枪进行束流采样，两个直流电流传感器均是磁场传送方式实现高压隔离式采样，且是零磁通电流互感，有效消除励磁电流对互感器测量精度的影响，响应时间快，减小延迟与束流震荡情况，利于提高束流的控制精度，从而提高电子枪的控制精度，即可根据束流的数值及时调节电子枪的电压
。
[0027]第一直流电流传感器
DCCT
的输出端接电容
C111
后与高压端连接，即电容
C111
与第一直流电流传感器
DCCT
并联；
[0028]第二直流电流传感器
DCCTB
的输出端接电容
C111B
后与高压端
HV
连接；即电容
C111B
与第二直流电流传感器
DCCTB
并联；
[0029]电容
C111
与
C111B
具一定的滤波作用，能够吸收电路的震荡，提高电路电压输送的稳定性；
[0030]第一直流电流传感器
DCCT
与第二直流电流传感器
DCCTB
的结构相同；
[0031]第一直流电流传感器
DCCT
包括高压线圈
TP、
感应线圈
NS1
与感应线圈
NS2
；
[0032]高压线圈
TP
与高压端
HV
连接；
[0033]感应线圈
NS1
与感应线圈
NS2
串联，感应线圈
NS1...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种双电子枪的束流采样电路，其特征在于，包括高压端
HV
，所述高压端
HV
的第一并联端接第一直流电流传感器
DCCT
后与第一电子枪
EBS
的变压器
T2
连接；所述高压端
HV
的第二并联端接第二直流电流传感器
DCCTB
后与第二电子
EBSB
枪的变压器
T2B
连接；所述第一直流电流传感器
DCCT
的输出端接电容
C111
后与高压端
HV
连接；所述第二直流电流传感器
DCCTB
的输出端接电容
C111B
后与高压端
HV
连接；所述第一直流电流传感器
DCCT
与第二直流电流传感器
DCCTB
的结构相同；所述第一直流电流传感器
DCCT
包括高压线圈
TP、
感应线圈
NS1
与感应线圈
NS2
；所述感应线圈
NS1
与感应线圈
NS2
串联，所述感应线圈
NS1
的输入端与辅助电源
ES
连接，所述感应线圈
NS2
的输出端与整流器连接，所述整流器的输出端与反馈端
Vo
连...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖顺东，覃亚，
申请(专利权)人：广东北创光电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：