下载自动对焦装置及应用其的光谱分析仪的技术资料

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本实用新型公开一种自动对焦装置及应用其的光谱分析仪,自动对焦装置,包括载物台、光谱分析系统、自动对焦装置,自动对焦装置包括手动微调机构、对焦机构以及控制系统,对焦机构设于手动微调机构的驱动端,载物台设于对焦机构的驱动端,控制系统内镶嵌有样本...
该专利属于广东北创光电科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东北创光电科技股份有限公司授权不得商用。

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