熔融机双工位移动小车制造技术

本实用新型专利技术提供熔融机双工位移动小车，包括移动小车以及用于引导移动小车左右往复运动的导轨底座，移动小车包括移动框架、平移驱动机构、旋转框架以及驱动旋转框架翻转运动的翻转驱动机构，两个移动小车左右对称设置在导轨底座上；导轨底座左右对称设置，导轨底座上从左至右依次为第一翻转工位、熔融工位以及第二翻转工位这三个工位；导轨底座处于第一翻转工位以及第二翻转工位处均安装有一定位支架；移动框架上安装有一气缸，气缸的伸缩方向为前后方向，气缸的活动杆上连接有定位销轴，定位支架上开设有用于穿过定位销轴的定位孔。本专利通过将传统双工位移动小车的设计，提高了生产效率。工位处气缸定位，提高定位精度，提高翻转取坩埚安全性。

Melting machine double station mobile car

【技术实现步骤摘要】
熔融机双工位移动小车
本技术涉及半导体加工设备
，具体涉及熔融机移动小车。
技术介绍
现有的熔融机移动小车为单工位设计，移动小车带动熔融机在坩埚熔融工位和翻转工位之间往返运动。在熔融坩埚的时候，无法实现其他工作(比如翻转过程中进行脱模与筑模工作)，需等待一个坩埚完全制作完成后，才可以进行下一个坩埚的制作，生产效率低。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本技术提供熔融机双工位移动小车，以解决现有熔融机移动小车生产效率低的技术问题。本技术的技术方案是：熔融机双工位移动小车，包括移动小车以及用于引导移动小车左右往复运动的导轨底座，移动小车包括移动框架、驱动移动框架左右运动的平移驱动机构、旋转框架以及驱动旋转框架翻转运动的翻转驱动机构，所述旋转框架以左右方向为旋转中心线与所述移动框架转动连接，其特征在于，所述移动小车设有两个，两个移动小车左右对称设置在所述导轨底座上；所述导轨底座左右对称设置，所述导轨底座上从左至右依次为第一翻转工位、熔融工位以及第二翻转工位这三个工位；所述导轨底座处于第一翻转工位以及第二翻转工位处均安装有一定位支架；所述移动框架上安装有一气缸，所述气缸的伸缩方向为前后方向，所述气缸的活动杆上连接有一定位销轴，所述定位支架上开设有用于穿过所述定位销轴的定位孔。两个移动小车分别为左右设置的左侧移动小车以及右侧移动小车，所述左侧移动小车的平移驱动机构驱动左侧移动小车左右往复途径所述第一翻转工位、所述熔融工位，所述右侧移动小车的平移驱动机构驱动右侧移动小车左右往复途径所述熔融工位与所述第二翻转工位。本专利通过将传统双工位移动小车的设计，在一个移动小车进行坩埚熔融的同时，可另一个移动小车可以同步进行另一个坩埚的脱模，筑模工作，提高了生产效率。工位处气缸定位，提高定位精度，提高翻转取坩埚安全性。进一步优选的，所述翻转驱动机构包括第一伺服电机、第一减速机、第一旋转主轴、从动旋转轴，所述第一伺服电机的动力输出轴通过所述第一减速机与所述第一旋转主轴的传动连接，所述第一伺服电机以及所述第一减速机均安装在所述移动框架上；所述第一旋转主轴与所述从动旋转轴分别通过一轴承座安装在所述移动框架的前后两端，所述第一旋转主轴与所述从动旋转轴分别与所述旋转框架的前后两端固定连接。进而可以实现第一伺服电机带动旋转框架相对于移动框架进行翻转运动。或者，所述旋转框架左右两端的顶部通过螺栓连接有支撑座；所述翻转驱动机构包括第一伺服电机、第一减速机、第一旋转主轴、从动旋转轴，所述第一伺服电机的动力输出轴通过所述第一减速机与所述第一旋转主轴的传动连接，所述第一伺服电机以及所述第一减速机均安装在所述移动框架上；所述第一旋转主轴与所述从动旋转轴分别通过一轴承座安装在所述移动框架的前后两端顶部的支撑座上，所述第一旋转主轴与所述从动旋转轴分别与所述旋转框架的前后两端顶部的支撑座上。进一步优选的，所述平移驱动机构包括第二伺服电机、第二减速机、主动齿轮以及直齿条，所述第二伺服电机的动力输出轴连接所述第二减速机的动力输入端，所述第二减速机的动力输出轴连接所述主动齿轮，所述主动齿轮与所述直齿条啮合；所述直齿条的长度方向为左右方向，所述直齿条安装在所述导轨底座上；所述第二伺服电机、所述第二减速机均安装在所述移动框架上。实现采用伺服电机配合齿轮齿条传动，精确度高，小车运动平稳。进一步优选的，所述导轨底座上安装有用于引导移动小车左右运动的倒V形导轨；所述移动小车的底部安装有倒V形导轨上滚动的车轮，所述车轮的外圆周上设有与所述倒V形导轨相匹配的V形缺口，所述倒V形导轨局部嵌设在所述车轮的V形缺口处。采用倒V形导轨与嵌入式的车轮设计，保证移动小车移动平稳性的同时，防止小车翻转，提高了小车翻转运动时的安全性。进一步优选的，所述导轨底座包括一底座基体，所述底座基体上处于三个工位处均安装有一开关支架，所述开关支架上安装有一光电感应开关。底座在各个工位均安装光电感应开关，确保小车移动到各工作位置可控，精确，安全。进一步优选的，所述底座基体上设有用于移动小车进行轨迹的两端进行限位的机械限位结构；所述机械限位结构设有四个，四个机械限位结构中两个机械限位结构分别为用于限制同一个移动小车左右往复运动的左侧极限机械限位结构以及右侧极限机械限位结构。防止移动小车从导轨底座滑脱出。附图说明图1为本技术的一种结构示意图。图2为本技术的前后方向上的剖视图；图3为本技术图2中D处的局部放大图；图4为本技术第二光电开关设置处的局部结构示意图；图5为本技术左右方向上的局部剖视图；图6为本技术机械限位块设置处的局部结构示意图；图7为本技术导轨底座的俯视图。图中：1为第一减速机，2为第二伺服电机，3为第一旋转主轴，4为轴承座，5为移动框架，6为第二伺服电机，7为第二减速机，8为支撑座，9为旋转框架，10为定位支架，11为定位销轴，12为气缸，13为倒V型导轨，14为第一光电感应开关，15为开关支架，16为底座，17为车轮，18为主动齿轮，19为直齿条，20为真空管路，21为冷却水管路，22为炉内排气管路，23为炉筒，24为模具，25为主轴，26为机械限位结构，27为从动旋转轴，28为第二光电感应开关，29为机械限位块,A1为左侧移动小车，A2为右侧移动小车。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的说明。具体实施例1：参见图1至图7，熔融机双工位移动小车，包括移动小车以及用于引导移动小车左右往复运动的导轨底座，移动小车包括移动框架5、驱动移动框架5左右运动的平移驱动机构、旋转框架9以及驱动旋转框架9翻转运动的翻转驱动机构，旋转框架9以左右方向为旋转中心线与移动框架5转动连接，移动小车设有两个，两个移动小车左右对称设置在导轨底座上；导轨底座左右对称设置，导轨底座上从左至右依次为第一翻转工位、熔融工位以及第二翻转工位这三个工位；导轨底座处于第一翻转工位以及第二翻转工位处均安装有一定位支架10；移动框架5上安装有一气缸12，气缸12的伸缩方向为前后方向，气缸12的活动杆上连接有一定位销轴11，定位支架10上开设有用于穿过定位销轴11的定位孔。本专利通过将传统双工位移动小车的设计，在一个移动小车进行坩埚熔融的同时，可另一个移动小车可以同步进行另一个坩埚的脱模，筑模工作，提高了生产效率。工位处气缸12定位，提高定位精度，提高翻转取坩埚安全性。两个移动小车分别为左右设置的左侧移动小车A1以及右侧移动小车A2，左侧移动小车A1的平移驱动机构驱动左侧移动小车左右往复途径所述第一翻转工位、所述熔融工位，所述右侧移动小车A2的平移驱动机构驱动右侧移动小车左右往复途径所述熔融工位与所述第二翻转工位。定位支架设置在旋转框架旋转方向的相反侧。比如旋转框架是向前翻转，定位支架设置在导本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.熔融机双工位移动小车，包括移动小车以及用于引导移动小车左右往复运动的导轨底座，移动小车包括移动框架、驱动移动框架左右运动的平移驱动机构、旋转框架以及驱动旋转框架翻转运动的翻转驱动机构，所述旋转框架以左右方向为旋转中心线与所述移动框架转动连接，其特征在于，所述移动小车设有两个，两个移动小车左右对称设置在所述导轨底座上；/n所述导轨底座左右对称设置，所述导轨底座上从左至右依次为第一翻转工位、熔融工位以及第二翻转工位这三个工位；/n所述导轨底座处于第一翻转工位以及第二翻转工位处均安装有一定位支架；/n所述移动框架上安装有一气缸，所述气缸的伸缩方向为前后方向，所述气缸的活动杆上连接有一定位销轴，所述定位支架上开设有用于穿过所述定位销轴的定位孔。/n

【技术特征摘要】
1.熔融机双工位移动小车，包括移动小车以及用于引导移动小车左右往复运动的导轨底座，移动小车包括移动框架、驱动移动框架左右运动的平移驱动机构、旋转框架以及驱动旋转框架翻转运动的翻转驱动机构，所述旋转框架以左右方向为旋转中心线与所述移动框架转动连接，其特征在于，所述移动小车设有两个，两个移动小车左右对称设置在所述导轨底座上；
所述导轨底座左右对称设置，所述导轨底座上从左至右依次为第一翻转工位、熔融工位以及第二翻转工位这三个工位；
所述导轨底座处于第一翻转工位以及第二翻转工位处均安装有一定位支架；
所述移动框架上安装有一气缸，所述气缸的伸缩方向为前后方向，所述气缸的活动杆上连接有一定位销轴，所述定位支架上开设有用于穿过所述定位销轴的定位孔。


2.根据权利要求1所述的熔融机双工位移动小车，其特征在于：所述翻转驱动机构包括第一伺服电机、第一减速机、第一旋转主轴、从动旋转轴，所述第一伺服电机的动力输出轴通过所述第一减速机与所述第一旋转主轴的传动连接，所述第一伺服电机以及所述第一减速机均安装在所述移动框架上；
所述第一旋转主轴与所述从动旋转轴分别通过一轴承座安装在所述移动框架的前后两端，所述第一旋转主轴与所述从动旋转轴分别与所述旋转框架的前后两端固定连接。


3.根据权利要求1所述的熔融机双工位移动小车，其特征在于：所述旋转框架左右两端的顶部通过螺栓连接有支撑座；
所述翻转驱动机构包括第一伺服电机、第一减速机、第一旋转主轴、从动旋转轴，所述第一伺服电机的动力输出轴通过所述第一减速机与所述第一旋转主轴的传动连接，所述第一伺服电机以及所述第一减...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹豪杰，贺贤汉，夏孝平，徐淑文，赖章田，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31