熔融机双工位移动小车制造技术

本实用新型专利技术提供熔融机双工位移动小车，包括移动小车以及用于引导移动小车左右往复运动的导轨底座，移动小车包括移动框架、平移驱动机构、旋转框架以及驱动旋转框架翻转运动的翻转驱动机构，两个移动小车左右对称设置在导轨底座上；导轨底座左右对称设置，导轨底座上从左至右依次为第一翻转工位、熔融工位以及第二翻转工位这三个工位；导轨底座处于第一翻转工位以及第二翻转工位处均安装有一定位支架；移动框架上安装有一气缸，气缸的伸缩方向为前后方向，气缸的活动杆上连接有定位销轴，定位支架上开设有用于穿过定位销轴的定位孔。本专利通过将传统双工位移动小车的设计，提高了生产效率。工位处气缸定位，提高定位精度，提高翻转取坩埚安全性。

Melting machine double station mobile car

【技术实现步骤摘要】
熔融机双工位移动小车
本技术涉及半导体加工设备
，具体涉及熔融机移动小车。
技术介绍
现有的熔融机移动小车为单工位设计，移动小车带动熔融机在坩埚熔融工位和翻转工位之间往返运动。在熔融坩埚的时候，无法实现其他工作(比如翻转过程中进行脱模与筑模工作)，需等待一个坩埚完全制作完成后，才可以进行下一个坩埚的制作，生产效率低。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本技术提供熔融机双工位移动小车，以解决现有熔融机移动小车生产效率低的技术问题。本技术的技术方案是：熔融机双工位移动小车，包括移动小车以及用于引导移动小车左右往复运动的导轨底座，移动小车包括移动框架、驱动移动框架左右运动的平移驱动机构、旋转框架以及驱动旋转框架翻转运动的翻转驱动机构，所述旋转框架以左右方向为旋转中心线与所述移动框架转动连接，其特征在于，所述移动小车设有两个，两个移动小车左右对称设置在所述导轨底座上；所述导轨底座左右对称设置，所述导轨底座上从左至右依次为第一翻转工位、熔融工位以及第二翻转工位这三个工位；所述导轨底座处于第一翻转工位以及第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.熔融机双工位移动小车，包括移动小车以及用于引导移动小车左右往复运动的导轨底座，移动小车包括移动框架、驱动移动框架左右运动的平移驱动机构、旋转框架以及驱动旋转框架翻转运动的翻转驱动机构，所述旋转框架以左右方向为旋转中心线与所述移动框架转动连接，其特征在于，所述移动小车设有两个，两个移动小车左右对称设置在所述导轨底座上；/n所述导轨底座左右对称设置，所述导轨底座上从左至右依次为第一翻转工位、熔融工位以及第二翻转工位这三个工位；/n所述导轨底座处于第一翻转工位以及第二翻转工位处均安装有一定位支架；/n所述移动框架上安装有一气缸，所述气缸的伸缩方向为前后方向，所述气缸的活动杆上连接有一定位销轴，所...

【技术特征摘要】
1.熔融机双工位移动小车，包括移动小车以及用于引导移动小车左右往复运动的导轨底座，移动小车包括移动框架、驱动移动框架左右运动的平移驱动机构、旋转框架以及驱动旋转框架翻转运动的翻转驱动机构，所述旋转框架以左右方向为旋转中心线与所述移动框架转动连接，其特征在于，所述移动小车设有两个，两个移动小车左右对称设置在所述导轨底座上；
所述导轨底座左右对称设置，所述导轨底座上从左至右依次为第一翻转工位、熔融工位以及第二翻转工位这三个工位；
所述导轨底座处于第一翻转工位以及第二翻转工位处均安装有一定位支架；
所述移动框架上安装有一气缸，所述气缸的伸缩方向为前后方向，所述气缸的活动杆上连接有一定位销轴，所述定位支架上开设有用于穿过所述定位销轴的定位孔。


2.根据权利要求1所述的熔融机双工位移动小车，其特征在于：所述翻转驱动机构包括第一伺服电机、第一减速机、第一旋转主轴、从动旋转轴，所述第一伺服电机的动力输出轴通过所述第一减速机与所述第一旋转主轴的传动连接，所述第一伺服电机以及所述第一减速机均安装在所述移动框架上；
所述第一旋转主轴与所述从动旋转轴分别通过一轴承座安装在所述移动框架的前后两端，所述第一旋转主轴与所述从动旋转轴分别与所述旋转框架的前后两端固定连接。


3.根据权利要求1所述的熔融机双工位移动小车，其特征在于：所述旋转框架左右两端的顶部通过螺栓连接有支撑座；
所述翻转驱动机构包括第一伺服电机、第一减速机、第一旋转主轴、从动旋转轴，所述第一伺服电机的动力输出轴通过所述第一减速机与所述第一旋转主轴的传动连接，所述第一伺服电机以及所述第一减...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹豪杰，贺贤汉，夏孝平，徐淑文，赖章田，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31