【技术实现步骤摘要】
一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置
本技术涉及气体检测领域，具体涉及一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置。
技术介绍
随着科学研究的发展和生产技术的进步，水分的定量分析已被列为各类物质理化分析的基本项目之一，作为各类物质的一项重要的质量指标。根据不同形式试样中的不同水分含量提出了测定水分的不同要求。水分测定可以是工业生产的控制分析，也可是工农业产品的质量鉴定；可以从成吨计的产品中测定水分也可在实验室中仅用数微升试液进行水分分析；可以是含水量达百分之几至几十的常量水分分析，也可是含水量仅为百万分之一以下的痕量水分分析等等。这些仪器测定方法操作简便、灵敏度高、再现性好,并能连续测定，自动显示数据。国外的水分测定仪器价格昂贵，是国内的一些实验室、企业无法承受的。目前的水分测试方法，均是针对痕量、微量水分测试，不能满足对三氯化硼中较高浓度水分测试。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置，可以测试三氯化硼中较高浓度水分值。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种稀释法...
【技术保护点】
1.一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置，包括三氯化硼气源和水分分析仪，其特征在于，还包括稀释气源和采样系统，所述三氯化硼气源和所述稀释气源通过所述采样系统连接所述水分分析仪，所述采样系统包括第一管段、第二管段以及第三管段，所述第一管段的入口连接至所述三氯化硼气源，所述第二管段的入口连接至所述稀释气源，所述第一管段的出口和所述第二管段出口连接至所述第三管段的入口，所述第三管段的出口连接至所述水分分析仪的入口。/n
【技术特征摘要】
1.一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置，包括三氯化硼气源和水分分析仪，其特征在于，还包括稀释气源和采样系统，所述三氯化硼气源和所述稀释气源通过所述采样系统连接所述水分分析仪，所述采样系统包括第一管段、第二管段以及第三管段，所述第一管段的入口连接至所述三氯化硼气源，所述第二管段的入口连接至所述稀释气源，所述第一管段的出口和所述第二管段出口连接至所述第三管段的入口，所述第三管段的出口连接至所述水分分析仪的入口。
2.如权利要求1所述的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，其特征在于，所述稀释气源为超纯氮气气源。
3.如权利要求1所述的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，其特征在于，所述水分分析仪为微量水分分析仪。
4.如权利要求3所述的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，其特征在于，所述微量水分分析仪为TigerOpticsHALO3微量水分析仪。
5.如权利要求1所述的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，其特征在于，所述采样系统还包括缓冲加热管和过滤器，所述第三管段的出口连接至所述缓冲加热管的入口，所述缓冲加热管的出口连接至所述过滤器的入口，所述过滤器的出...
【专利技术属性】
技术研发人员：金向华，魏入铎，王新喜，孙猛，许军州，
申请(专利权)人：苏州金宏气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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