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本实用新型公开了一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置，包括三氯化硼气源和水分分析仪，还包括稀释气源和采样系统，所述三氯化硼气源和所述稀释气源通过所述采样系统连接所述水分分析仪，所述采样系统包括第一管段、第二管段以及第三管段，所述第一管段的入口...
该专利属于苏州金宏气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州金宏气体股份有限公司授权不得商用。

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