一种高真空动密封复合运动馈入装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于真空动密封技术领域，具体为一种高真空动密封复合运动馈入装置。本装置主要包括磁流体、波纹管组件、导轨滑块组件及支撑部分。导轨组件设于磁流体与波纹管组件外侧，磁流体密封设于波纹管组件顶部，真空法兰接口设于波纹管组件底部一侧。磁流体输入轴与外部旋转电机连接，旋转电机工作驱动磁流体密封实现旋转运动馈入真空；通过外部驱动电机驱动滑块在导轨上实现直线往复运动，滑块与波纹管组件固定连接实现直线运动的馈入。波纹管组件顶部连接法兰与磁流体密封法兰密封连接，底部法兰与真空接口法兰密封连接，密封均采用无氧铜密封圈进行密封，确保了装置工作时真空度的条件下，可将直线+旋转的复合运动馈入真空系统内部。

A high vacuum dynamic seal compound motion feed device

【技术实现步骤摘要】
一种高真空动密封复合运动馈入装置
本技术涉及真空动密封装置
，具体为一种高真空动密封复合运动馈入装置。
技术介绍
真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态，是一种物理现象，根据气体压力的高低，可分为低真空、中真空、高真空、超高真空、极高真空等不同的等级。随着科技发展，真空技术及应用也越来越广泛，覆盖了工业、民用、科研和军工等各个领域。有些是利用真空环境来实现某些工艺环节的制作，如镀膜、干燥、等离子体清洗、3D打印等。有些是直接利用真空制造产品，如真空器件、高能粒子加速器等。真空技术中关键的就是真空获得及维持。一般来说，真空获得及维持主要由两个方面决定，一方面是真空系统的抽气能力，主要由各种不同类型的真空泵来完成，将系统气体排出；另一方面就是系统的真空密封，保证外部大气进入真空系统的气体量足够小，即真空漏率达到一定的要求。根据连接件之间是否存在运动，可将真空密封分为静密封和动密封两种。真空动密封除保证一定真空漏率的要求外，还要求有足够的强度、寿命、密封的可靠性和合理的外形尺寸等。目前，国内较常采用的真空动密封主本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高真空动密封复合运动馈入装置，其特征在于，包括：磁流体(100)、导轨组件(200)、波纹管组件(300)、密封件(400)和真空系统接口(500)，所述导轨组件(200)设于所述磁流体(100)与所述波纹管组件(300)外侧，所述真空系统接口(500)设于所述波纹管组件(300)底部，且所述真空系统接口(500)与所述波纹管组件(300)密封连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种高真空动密封复合运动馈入装置，其特征在于，包括：磁流体(100)、导轨组件(200)、波纹管组件(300)、密封件(400)和真空系统接口(500)，所述导轨组件(200)设于所述磁流体(100)与所述波纹管组件(300)外侧，所述真空系统接口(500)设于所述波纹管组件(300)底部，且所述真空系统接口(500)与所述波纹管组件(300)密封连接。


2.根据权利要求1所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置，其特征在于，所述磁流体(100)包括输入轴(110)和输出轴(120)，所述磁流体(100)端部设有标准真空CF法兰。


3.根据权利要求1所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置，其特征在于，所述波纹管组件(300)包括顶部连接法兰(310)和底部连接法兰(320)，所述波纹管组件(300)外侧壁顶部设置所述顶部连接法兰(310)，所述底部连接法兰(320)固接于所述波纹管组件(300)底部。


4.根据权利要求3所述的一种高真空动密封复合运动馈...

【专利技术属性】
技术研发人员：李赟，
申请(专利权)人：西安中科英威特光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61