一种高真空动密封复合运动馈入装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于真空动密封技术领域，具体为一种高真空动密封复合运动馈入装置。本装置主要包括磁流体、波纹管组件、导轨滑块组件及支撑部分。导轨组件设于磁流体与波纹管组件外侧，磁流体密封设于波纹管组件顶部，真空法兰接口设于波纹管组件底部一侧。磁流体输入轴与外部旋转电机连接，旋转电机工作驱动磁流体密封实现旋转运动馈入真空；通过外部驱动电机驱动滑块在导轨上实现直线往复运动，滑块与波纹管组件固定连接实现直线运动的馈入。波纹管组件顶部连接法兰与磁流体密封法兰密封连接，底部法兰与真空接口法兰密封连接，密封均采用无氧铜密封圈进行密封，确保了装置工作时真空度的条件下，可将直线+旋转的复合运动馈入真空系统内部。

A high vacuum dynamic seal compound motion feed device

【技术实现步骤摘要】
一种高真空动密封复合运动馈入装置
本技术涉及真空动密封装置
，具体为一种高真空动密封复合运动馈入装置。
技术介绍
真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态，是一种物理现象，根据气体压力的高低，可分为低真空、中真空、高真空、超高真空、极高真空等不同的等级。随着科技发展，真空技术及应用也越来越广泛，覆盖了工业、民用、科研和军工等各个领域。有些是利用真空环境来实现某些工艺环节的制作，如镀膜、干燥、等离子体清洗、3D打印等。有些是直接利用真空制造产品，如真空器件、高能粒子加速器等。真空技术中关键的就是真空获得及维持。一般来说，真空获得及维持主要由两个方面决定，一方面是真空系统的抽气能力，主要由各种不同类型的真空泵来完成，将系统气体排出；另一方面就是系统的真空密封，保证外部大气进入真空系统的气体量足够小，即真空漏率达到一定的要求。根据连接件之间是否存在运动，可将真空密封分为静密封和动密封两种。真空动密封除保证一定真空漏率的要求外，还要求有足够的强度、寿命、密封的可靠性和合理的外形尺寸等。目前，国内较常采用的真空动密封主要是橡胶圈动密封、波纹管动密封结构、磁力传动动密封以及磁流体真空动密封等构件。由于橡胶本身的物理机械性能和气体渗透性的原因，温度收到一定的限制，且一般只适用于10-5Pa以下的真空动密封中；波纹管密封传动机构由于密封可靠、耐烘烤等特性，被广泛地用于超高真空中，一般主要进行高精度轴线方向直线运动的传动密封；利用磁力进行力矩传动的磁力驱动动密封装置，不适合重载传动，且在高温等特殊条件下传动精度也难以保证；磁流体密封技术具有无固体摩擦、无机械磨损,可实现高转速传动,可以采用刚性轴传动,具有高精度、大力矩传动特点。本技术结合各种不同真空动密封的优点，提出了一种用于真空系统复合运动馈入的装置。
技术实现思路
本部分的目的在于概述本技术的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和技术名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本技术的范围。鉴于上述和/或现有的真空设备复合运动馈入装置中存在的问题，提出了本技术。因此，本技术的目的是提供一种高真空动密封复合运动馈入装置，能够解决现有的真空设备复合运动馈入时动密封存在传动精度、载荷、可靠性等存在问题。一种高真空动密封复合运动馈入装置，其包括：磁流体、导轨组件、波纹管组件、密封件和真空系统接口，所述导轨组件设于所述磁流体与所述波纹管组件外侧，所述真空系统接口设于所述波纹管组件底部，且所述真空系统接口与所述波纹管组件密封连接。作为本技术所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置的一种优选方案，其中：所述磁流体包括输入轴和输出轴，所述磁流体端部设有标准真空CF法兰。作为本技术所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置的一种优选方案，其中：所述波纹管组件包括顶部连接法兰和底部连接法兰，所述波纹管组件外侧壁顶部设置所述顶部连接法兰，所述底部连接法兰固接于所述波纹管组件底部。作为本技术所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置的一种优选方案，其中：所述导轨组件包括连接板和导轨滑块，所述连接板设于所述顶部连接法兰外侧壁，所述连接板另一侧固接所述导轨滑块，所述导轨组件还包括导轨固定板和导轨，所述导轨固定板固接于所述底部连接法兰外侧壁，所述导轨固定板内侧设所述导轨，所述导轨与所述导轨滑块滑动连接，且所述导轨两端部设置有限位块。作为本技术所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置的一种优选方案，其中：所述密封件包括无氧铜密封圈一和无氧铜密封圈二，所述顶部连接法兰与所述磁流体端部密封连接，且所述顶部连接法兰与所述磁流体端部密封面采用所述无氧铜密封圈一进行密封，所述底部连接法兰与所述真空系统接口采用标准真空CF法兰连接，同时采用所述无氧铜密封圈二进行真空密封。与现有技术相比：通过磁流体输入轴与外部旋转电机连接，旋转电机工作驱动磁流体密封实现旋转运动馈入真空；通过外部驱动电机驱动滑块在导轨上实现直线往复运动，滑块与波纹管组件固定连接实现直线运动的馈入。所述波纹管组件顶部连接法兰与磁流体密封法兰密封连接，底部法兰与真空接口法兰密封连接，所述密封均采用无氧铜密封圈进行密封，确保了装置工作时真空度的条件下，可将直线+旋转的复合运动馈入真空系统内部。金属焊接波纹管组件具有很高的拉伸压缩寿命，磁流体密封具有非常好的旋转密封性能和寿命，无氧铜密封圈具有耐高温的特点，加上外部精密导轨的使用，使整个复合运动馈入装置具有高转速、大行程、耐温、真空漏率小、长寿命的特点，整个装置工作可靠、稳定，可满足高真空甚至超高真空环境的使用。附图说明为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将结合附图和详细实施方式对本技术进行详细说明，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：图1为本技术整体结构示意图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是本技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似推广，因此本技术不受下面公开的具体实施方式的限制。其次，本技术结合示意图进行详细描述，在详述本技术实施方式时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本技术保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的实施方式作进一步地详细描述。本技术提供一种高真空动密封复合运动馈入装置，通过波纹管组件可实现直线运动传动，同时，顶部连接法兰与磁流体端部密封连接，且顶部连接法兰与磁流体端部密封面采用无氧铜密封圈一进行密封，确保了装置工作时真空，请参阅图1，包括，磁流体100、导轨组件200、波纹管组件300、密封件400和真空系统接口500。请继续参阅图1，磁流体100具有输入轴110和输出轴120，具体的，磁流体密封技术是在磁性流体的基础上发展而来的，当磁流体注入磁场的间隙时，它可以充满整个间隙，形成一种液体的O型密封圈，磁流体100用于把旋转运动传递到密封容器内，磁流体密封具有无固体摩擦、无机械磨损,可实现高转速传动,可以采用刚性轴传动,具有高精度、大力矩传动特点，常用于真空密封，磁流体100端部设有标准CF真空法兰，磁流体100外侧壁顶部一体成型有输入轴110，输入轴110用于与外部动力机构连接，输出轴120一体成型于磁流体100输出端，输出轴120作为旋转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高真空动密封复合运动馈入装置，其特征在于，包括：磁流体(100)、导轨组件(200)、波纹管组件(300)、密封件(400)和真空系统接口(500)，所述导轨组件(200)设于所述磁流体(100)与所述波纹管组件(300)外侧，所述真空系统接口(500)设于所述波纹管组件(300)底部，且所述真空系统接口(500)与所述波纹管组件(300)密封连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种高真空动密封复合运动馈入装置，其特征在于，包括：磁流体(100)、导轨组件(200)、波纹管组件(300)、密封件(400)和真空系统接口(500)，所述导轨组件(200)设于所述磁流体(100)与所述波纹管组件(300)外侧，所述真空系统接口(500)设于所述波纹管组件(300)底部，且所述真空系统接口(500)与所述波纹管组件(300)密封连接。


2.根据权利要求1所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置，其特征在于，所述磁流体(100)包括输入轴(110)和输出轴(120)，所述磁流体(100)端部设有标准真空CF法兰。


3.根据权利要求1所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置，其特征在于，所述波纹管组件(300)包括顶部连接法兰(310)和底部连接法兰(320)，所述波纹管组件(300)外侧壁顶部设置所述顶部连接法兰(310)，所述底部连接法兰(320)固接于所述波纹管组件(300)底部。


4.根据权利要求3所述的一种高真空动密封复合运动馈...

【专利技术属性】
技术研发人员：李赟，
申请(专利权)人：西安中科英威特光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61