温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于真空动密封技术领域，具体为一种高真空动密封复合运动馈入装置。本装置主要包括磁流体、波纹管组件、导轨滑块组件及支撑部分。导轨组件设于磁流体与波纹管组件外侧，磁流体密封设于波纹管组件顶部，真空法兰接口设于波纹管组件底部一侧。磁流体...
该专利属于西安中科英威特光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安中科英威特光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。