【技术实现步骤摘要】
本技术涉及补充空气单元，具体涉及向净化房间提供净化空气 的具有热回收装置的补充空气单元。
技术介绍
在半导体制造行业中，对净化房间的环境要求极其严格。净化间这 种硅片制造设备与外部环境隔离，免受诸如颗粒、金属、有机分子和静 电释放的污染。通常要求净化室内 一年四季的环境温度和湿度要求保持在一定水平，这就空气处理系统-补充空气单元(make-up air unit, MUA)来维持。参照图1,图1是现有技术的蒸汽加湿补充空气单元的结构示意图， 其结构包括第一风阀1,用于控制补充空气单元的开启关闭，所述风阀1开启 时允许空气进入补充空气单元，关闭时隔绝补充空气单元与外界空气。 初效过滤器2，用于对空气中的尘埃进行初步过滤。 中效过滤器3，用于对空气中的尘埃进行进一步过滤。 第一热盘管4，所述第一热盘管4只有在空气温度较低时才启用， 用于对空气进行预加热，以使空气能够在补充空气单元中流转。 电磁阀13，用于控制所述第一热盘管4的开启关闭。 第一冷盘管5,用于初步降低空气的温度，以初步去除空气中的湿气电^f兹阀14,用于控制所述第一冷盘管5的开启关闭。 第二冷盘管6,用...
【技术保护点】
一种具有热回收装置的补充空气单元，其特征在于，其包括：第一热盘管，包括一个或多个盘管；第二热盘管，包括一个或多个盘管， 所述第一和第二热盘管位于所述补充空气单元中，从所述补充空气单元的一端通入较高温度的空气，其中所述第一热盘管离所述一端较 近， 其中，所述第一热盘管的入水口与所述第二热盘管的进水口相连，所述第一热盘管的出水口与所述第二热盘管的进水口相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴协祥，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。