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一种具有热回收装置的补充空气单元，涉及补充空气单元领域，其结构包括第一和第二热盘管，内管和外管。第一热所述内管分别与第二热盘管的出水管和第一热盘管的进水管相连，所述管分别与第一热盘管的出水管和第二热盘管的进水管相连。其中，第一热盘管中的水通...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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