用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法技术

本发明专利技术涉及的一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，它包括以下内容：使用耐高温磨砂胶带粘贴覆盖TCP挡板与顶部金属遮罩，然后连续生产，在下次维护时撕去胶带并重新粘贴新胶带，然后合腔重新抽真空。本发明专利技术提升了量产设备的使用寿命，从而提升产能；减少了金属遮罩清洗喷砂处理，节约了维护成本；本发明专利技术制备的TCO可提高HJT太阳能电池的外观良率，还可减少掉粉污染对HJT太阳能电池开路电压和短路电流的影响，从而提升电池的光电转换效率。

RPD equipment maintenance method for TCO coating of heterojunction solar cells

【技术实现步骤摘要】
用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法
本专利技术涉及光伏高效电池
，尤其涉及一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法。
技术介绍
由于HJT电池发射极是用非晶硅制备的，该层的横向导电性比较差，所以必须在发射极的上面制备一层TCO导电膜，其主要作用是将载流子输运到电池电极，同时保护P型非晶硅掺杂层和N型非晶硅掺杂层。TCO薄膜性能的好坏关乎HJT电池转换效率的高低，因此，制备性能优异的TCO薄膜对于进一步提高HJT电池转换效率意义重大。目前采用RPD(反应等离子蒸镀)设备制备TCO膜相对于传统的PVD（磁控溅射）设备镀膜具有光学性能好、电学性能好、低损伤等特性，即高透过所以高电流、高迁移率低载流子浓度、较低的衬底表面轰击，更符合工艺的要求；然而当前的RPD镀膜设备普遍存在掉粉现象，设备工作时游离于设备腔体内的TCO粉尘经工艺气体吹扫吸附到硅片表面，这种洁净度降低、外观不良造成了效率与良率的重大损失，常因此需要经常开腔清洁维护，不符合批量生产要求，生产效率低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述不足，提供一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，提高HJT太阳能电池的外观良率，同时短时间的维护可提高量产设备的使用寿命，降低维护成本。本专利技术的目的是这样实现的：一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，它包括以下内容：使用耐高温磨砂胶带粘贴覆盖TCP挡板与顶部金属遮罩，然后连续生产，在下次维护时撕去胶带并重新粘贴新胶带，然后合腔重新抽真空。一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，在设备保持余温且未充分吸附空气中的水汽时重新抽真空。一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，所述耐高温磨砂胶采用粗糙面、耐高温型。一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，所述耐高温磨砂胶粘合剂采用无残留无挥发污染型。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术使用耐高温磨砂胶带粘贴覆盖TCP挡板与顶部金属遮罩，可增强粉尘颗粒吸附能力，延长维护周期，提升了量产设备的使用寿命，从而提升产能；减少了金属遮罩清洗喷砂处理，节约了维护成本；本专利技术制备的TCO可提高HJT太阳能电池的外观良率，还可减少掉粉污染对HJT太阳能电池开路电压和短路电流的影响，从而提升电池的光电转换效率。具体实施方式实施例1：本专利技术涉及的一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，它包括以下内容：（1）维护时TCP挡板与顶部金属遮罩使用耐高温磨砂胶带粘贴覆盖，维护后连续生产；（2）硅片表面有明显粉尘附着时开始开腔维护（此时为第10天）；（3）破真空、开腔盖，开始计时；（4）撕掉TCP挡板与顶部金属遮罩胶带，吸尘器清洁工艺腔室，粘贴新的胶带，计时共38min；（5）红外测温枪量测工艺腔体温度为68℃，开始计时；（6）合腔，抽真空至5.0x10-6Torr，计时共154min；（7）一个月内共计维护3次，共计耗时约9.5小时。对比例1：现有技术采用的拆卸清洗维护方法，包括以下内容：（1）正常开腔维护后连续生产；（2）硅片表面有明显粉尘附着时开始开腔维护（此时为第8天）；（3）破真空、开腔盖，开始计时；（4）拆卸TCP挡板与顶部金属遮罩，吸尘器清洁工艺腔室，更换新的TCP挡板与顶部金属遮罩计时共87min；（5）红外测温枪量测工艺腔体温度为36℃，开始计时；（6）合腔，抽真空至5.0x10-6Torr，计时共215min；（7）拆卸下来的TCP挡板与顶部金属遮罩进行清洗，喷砂处理；（8）一个月内共计维护4次，共计耗时约20小时。对实施例1和对比例1的数据进行统计，如下表1所示，表1从表1可知，实施例1比对比例1的维护次数减少了次，总维护时间降低一半多，产能增加36225片，因掉粉导致的外观降级减少479片，维护成本减少10200元，电性能上也有明显提升。以上仅是本专利技术的具体应用范例，对本专利技术的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本专利技术权利保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，其特征在于，它包括以下内容：使用耐高温磨砂胶带粘贴覆盖TCP挡板与顶部金属遮罩，然后连续生产，在下次维护时撕去胶带并重新粘贴新胶带，然后合腔重新抽真空。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，其特征在于，它包括以下内容：使用耐高温磨砂胶带粘贴覆盖TCP挡板与顶部金属遮罩，然后连续生产，在下次维护时撕去胶带并重新粘贴新胶带，然后合腔重新抽真空。


2.根据权利要求1所述的一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，其特征在于：在设备保持余温且未充...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭小勇，易治凯，汪涛，凌俊，
申请(专利权)人：江苏爱康能源研究院有限公司，浙江爱康光电科技有限公司，江苏爱康科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32