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本发明涉及的一种用于异质结太阳能电池TCO镀膜的RPD设备维护方法，它包括以下内容：使用耐高温磨砂胶带粘贴覆盖TCP挡板与顶部金属遮罩，然后连续生产，在下次维护时撕去胶带并重新粘贴新胶带，然后合腔重新抽真空。本发明提升了量产设备的使用寿命，...该专利属于江苏爱康能源研究院有限公司;浙江爱康光电科技有限公司;江苏爱康科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏爱康能源研究院有限公司;浙江爱康光电科技有限公司;江苏爱康科技股份有限公司授权不得商用。