电子倍增器装置及其制作方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种电子倍增器装置，包括：电极(1)；所述电极(1)为六对；所述电极(1)两两平行设置；所述电极(1)均为凸透镜形状；所述电极(1)由玻璃绝缘体构成；所述电极(1)为陶瓷片绝缘体构成。本发明专利技术中的通道电子倍增器结构简单，只有六对平行电极，保证性能的同时，节约了成本，可有效提升产品的利润空间；且本发明专利技术弥补了已有产品加工工艺难的缺陷，对于技术的迭代具有重要意义。

Electronic multiplier device and its manufacturing method

【技术实现步骤摘要】
电子倍增器装置及其制作方法
本专利技术涉及电子技术及质谱分析领域，具体地，涉及一种电子倍增器装置及其制作方法，尤其是一种高性能电子倍增器的制作方法及结构。
技术介绍
通道电子倍增器(channeltronelectronmultiplier,CEM)是一种以二次电子发射为原理，作为微弱信号放大检测的真空器件。它不但具有结构简单、增益大、功耗低、体积小和供电方式简单等优势。更重要的是，它还是一个高灵敏度、多功能的探测型器件。它可直接探测到电子、离子、真空紫外光子、中性粒子及α、β、γ射线等，无需任何转换，效率高。目前，在国内外，它应用的范围很广泛，除了用在质谱仪器中作为独立的探测器，更可用于人造卫星或导弹,以及对宇宙空间或者超高空高能带粒子的探测分析。还可以用在中性粒子能谱、真空紫外灯光谱仪及光子计数管等。通道电子倍增器是一种用适当电阻率和二次发射系数材料制成的器件。这种材料可以是有机玻璃、陶瓷或者塑料。为了适应不同应用需求，在这种材料上镀膜，使其具备一定阻值以及二次发射特性。形状可制成平面螺旋、波浪形和直螺旋等。使用时将该器件置于真空中，两端加本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子倍增器装置，其特征在于，包括：电极(1)；/n所述电极(1)为六对；/n所述电极(1)两两平行设置；/n所述电极(1)均为凸透镜形状。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子倍增器装置，其特征在于，包括：电极(1)；
所述电极(1)为六对；
所述电极(1)两两平行设置；
所述电极(1)均为凸透镜形状。


2.根据权利要求1所述的电子倍增器装置，其特征在于，所述电极(1)由玻璃绝缘体构成。


3.根据权利要求1所述的电子倍增器装置，其特征在于，所述电极(1)为陶瓷片绝缘体构成。


4.根据权利要求2所述的电子倍增器装置，其特征在于，所述玻璃绝缘体上镀金属层。


5.根据权利要求3所述的电子倍增器装置，其特征在于，所述陶瓷片绝缘体上镀金属层。


6.根据权利要求1所述的电子倍增器装置，其特征在于，所述电极(1)上的金属层厚度小于100nm。

【专利技术属性】
技术研发人员：胡波，于佳佳，景加荣，孙露露，唐朝阳，胡继闯，周旭，沈辉，罗勇，
申请(专利权)人：上海裕达实业有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31