【技术实现步骤摘要】
一种磁感应器件及其制造方法
本专利技术涉及一种磁感应器件及其制造方法。
技术介绍
磁感应器件在射频电路、电源管理等领域具有广泛应用，降低磁感应器件的交流电阻对于提高磁感应器件的性能具有重要作用。增加金属绕组的金属线条截面积是降低电阻的常用方法，金属绕组的直流电阻反比于金属线条截面积。但是，当工作频率很高时，受趋肤效应(skineffect)影响，与交流电阻相关的金属线条的有效截面积仅为金属表面深度不超过趋肤深度的部分。当金属线条宽度和厚度均显著大于趋肤深度时，增加金属线条截面积将不再显著降低交流电阻。因此，合理的设计会将金属线条的宽度和厚度其中一个尺寸设置在两倍趋肤深度左右，以保证金属线条截面积为有效截面积，而通过增加宽度和厚度其中另一个尺寸来降低交流电阻。趋肤深度δ由δ＝[ρ/(πfμ)]1/2给出，其中ρ是金属线条的电阻率，f是工作频率，μ是金属线条的磁导率。若金属线条为铜，100MHz下趋肤深度为6.6微米左右，1GHz下趋肤深度为2.1微米左右。如图1所示，为现有的一种磁感应器件的截面图，包括衬底和金属绕组，...
【技术保护点】
1.一种磁感应器件，其特征在于，包括衬底、第一金属层、第一绝缘层和第二金属层；所述衬底的第一表面开设有至少一个第一凹槽，所述第二金属层、第一绝缘层、第一金属层依次设置于所述至少一个第一凹槽内。/n
【技术特征摘要】
1.一种磁感应器件，其特征在于，包括衬底、第一金属层、第一绝缘层和第二金属层；所述衬底的第一表面开设有至少一个第一凹槽，所述第二金属层、第一绝缘层、第一金属层依次设置于所述至少一个第一凹槽内。
2.根据权利要求1所述的磁感应器件，其特征在于，所述第一凹槽为螺旋形的凹槽，所述第一金属层和第二金属层形成与所述螺旋形的凹槽匹配的螺旋形金属绕组。
3.根据权利要求1所述的磁感应器件，其特征在于，所述第一金属层和第二金属层通过外部连接形成并联关系。
4.根据权利要求1所述的磁感应器件，其特征在于，所述第一凹槽的截面为矩形或者梯形；所述第二金属层的截面为近“凹”字形；所述第一金属层的截面为矩形或者梯形。
5.根据权利要求1所述的磁感应器件，其特征在于，所述磁感应器件还包括第一填充区，所述第一凹槽的截面为矩形或者梯形；所述第二金属层的截面为近“凹”字形；所述第一金属层的截面为近“凹”字形；所述...
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