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一种磁感应器件及其制造方法技术
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文档序号:24253286
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一种磁感应器件及其制造方法,包括衬底、第一金属层、第一绝缘层和第二金属层;所述衬底的第一表面开设有至少一个第一凹槽,所述第二金属层、第一绝缘层、第一金属层依次设置于所述至少一个第一凹槽内;所述第一绝缘层设置于所述第一金属层和第二金属层之间。...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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