自动化处理设备制造技术

该实用新型专利技术涉及一种自动化处理设备，包括：晶圆放置位，用于放置晶圆；第一导轨，晶圆放置位安装至第一导轨，并能够沿第一导轨的长度方向运动；药液槽，设置于第一导轨的第一端的下方，用于放置药液，且当晶圆放置位运动至第一端时，晶圆放置位浸入药液槽内放置的药液中；药液泵，连通至药液槽，用于泵出药液槽内放置的药液；药液箱，放置有药液，连通至药液槽，用于给药液槽提供处理晶圆的药液。本实用新型专利技术中的自动化处理设备可以控制晶圆的浸泡时间，且具有连通至药液槽的药液泵，可以将药液槽内的药液抽出，以实现替换，还具有连通至药液槽的药液箱，可以通过药液箱往药液槽内填充药液，简单方便，在替换药液时无需人工，安全系数高。

Automatic processing equipment

【技术实现步骤摘要】
自动化处理设备
本技术涉及晶圆生产加工设备领域，具体涉及一种自动化处理设备。
技术介绍
在进行单晶硅外延后通常都需要测定外延的电阻率。在测定外延电阻率时，需要将外延后的单晶硅进行一系列处理，包括泡氢氟酸、冲洗、泡双氧水和甩干。现有技术中，在对外延的单晶硅进行测定外延电阻前的处理时，通常是手动更换氢氟酸的，并且手动往氢氟酸中放入、取出晶圆。由于氢氟酸具有一定的腐蚀性，因此手动更换氢氟酸、取出、放入晶圆时，安全系数低，并且晶圆的浸泡时间也不可控。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种自动化处理设备，安全系数高，晶圆的浸泡时间可控。为解决上述技术问题，本技术提供了一种自动化处理设备，包括：晶圆放置位，用于放置晶圆；第一导轨，所述晶圆放置位安装至所述第一导轨，并能够沿所述第一导轨的长度方向运动；药液槽，设置于所述第一导轨的第一端的下方，用于放置药液，且当所述晶圆放置位运动至第一端时，所述晶圆放置位浸入所述药液槽内放置的药液中；药液泵，连通至所述药液槽，用于泵出所述药液槽内放置的药液；药液箱，放置有药液，连通至所述药液槽，用于给所述药液槽提供处理晶圆的药液。可选的，还包括：控制器，连接至所述晶圆放置位以及所述药液泵，用于控制所述晶圆放置位在所述第一导轨的长度方向上的运动，将晶圆浸入药液槽，以及用于控制所述药液泵泵出药液；触摸屏，连接至所述控制器，用于给用户提供一控制界面，便于用户对所述晶圆放置位以及药液泵进行控制。可选的，还包括：电动阀门，设置于所述药液槽与所述药液箱之间，与所述控制器相连接，用于控制所述药液槽与药液箱之间的连通与否，以控制所述药液箱内的药液流入至药液槽。可选的，还包括一集液箱，连通至所述药液泵，用于收集被所述药液泵泵出的药液。可选的，所述药液槽盛放的药液包括氢氟酸。可选的，还包括水槽和双氧水槽，均设置于所述第一导轨的第一端的下方，分别用于盛放水和双氧水，且所述水槽、双氧水槽与药液槽放置在同一直线上。可选的，所述水槽为恒温水槽，水槽壁内设置有加热丝，所述加热丝也连接至所述控制器。可选的，所述药液槽由耐氢氟酸腐蚀的材料制成。可选的，所述水槽、双氧水槽和药液槽的槽口尺寸均大于所述晶圆放置位的尺寸。可选的，还包括第二导轨，长度方向与所述水槽、双氧水槽和药液槽所在的直线平行，所述第一导轨安装于所述第二导轨，并能够沿所述第二导轨的长度方向运动。本技术中的自动化处理设备包括第一导轨和安装至所述第一导轨的晶圆放置位，且所述晶圆放置位能够沿所述第一导轨运动至设置于所述第一导轨的第一端的下方的药液槽，以将晶圆浸泡入药液中，并能够沿所述第一导轨运动至从药液中脱出，因此晶圆的浸泡时间可控。更优的，具有连通至所述药液槽的药液泵，可以将药液槽内的药液抽出，以实现替换，还具有连通至所述药液槽的药液箱，可以通过所述药液箱往所述药液槽内填充药液，简单方便，在替换药液时无需人工，安全系数高。附图说明图1为本技术的一种具体实施方式中的自动化处理设备的结构示意图。图2为本技术的一种具体实施方式中的自动化处理设备的连接关系示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施方式对本技术提出的一种自动化处理设备作进一步详细说明。请参阅图1至图2，其中图1为本技术的一种具体实施方式中的自动化处理设备的结构示意图，图2为本技术的一种具体实施方式中的自动化处理设备的连接关系示意图。在该具体实施方式中，所述自动化处理设备包括：晶圆放置位102，用于放置晶圆100；第一导轨101，所述晶圆放置位102安装至所述第一导轨101，并能够沿所述第一导轨101的长度方向运动；药液槽103，设置于所述第一导轨101的第一端的下方，用于放置药液，且当所述晶圆放置位102运动至第一端时，所述晶圆放置位102浸入所述药液槽103内放置的药液中；药液泵104，连通至所述药液槽103，用于泵出所述药液槽103内放置的药液；药液箱106，放置有药液，连通至所述药液槽103，用于给所述药液槽103提供处理晶圆100的药液。在一种具体实施方式中，由于所述药液槽103连通有所述药液泵104和所述药液箱106，因此可以随时进行药液的流入和泵出。在需要替换药液槽103内放置的药液时，只需先使用所述药液泵104将所述药液槽103内的药液泵出、再往药液槽103内流入药液即可，简单方便，在替换药液时无需人工，安全系数高。在一种具体实施方式中，所述药液箱106和所述药液槽103之间设置有阀门111，用于控制所述药液箱106与药液槽103的连通与否，以控制所述药液箱103内的药液流入至药液槽103。在一种更优的具体实施方式中，所述药液箱106和所述药液槽103之间设置有一泵，以防所述药液箱106放置的位置低于所述药液槽103，药液箱106中的液体无法直接流入所述药液槽103。在一种具体实施方式中，所述晶圆放置位102用于放置8寸晶圆，因此所述晶圆放置位102的尺寸大于等于8寸。在其他的具体实施方式中，当所述晶圆放置位102用于放置其他尺寸的晶圆100时，所述晶圆放置位102应当根据实际需求适当增大，以始终大于或等于放置到所述晶圆放置位102上的晶圆100的尺寸为宜。在一种具体实施方式中，所述晶圆放置位102由耐腐蚀的材质制成。这是因为，在一些具体实施方式中，药液槽103内存放的药液是具有腐蚀性的，当将晶圆100浸入药液中时，药液也会与晶圆放置位102相接触，腐蚀晶圆放置位102。所以，优选为选用耐腐蚀的材料制备所述晶圆放置位102。在图1、2所述的具体实施方式中，所述晶圆放置位102包括一叉臂，叉臂平行于水平面，晶圆100放置到所述晶圆放置位102时，实际上是放置到所述叉臂的。在一种具体实施方式中，所述叉臂表面设置有晶圆固定装置，如负压吸附装置或静电吸盘，用于固定放置于所述叉臂表面的晶圆100，防止晶圆100从叉臂表面滑落。在一种具体实施方式中，所述第一导轨101的长度方向为竖直方向，所述药液槽103设置于所述第一导轨101的近地端的下方。在该具体实施方式中，所述近地端即为所述第一导轨101的第一端。实际上，也可设置所述第一导轨101的长度方向为其他方向，如与水平地面呈45°夹角的方向等。所述晶圆放置位102安装至所述第一导轨101，并能够沿所述第一导轨101的长度方向运动，而所述药液槽103设置于第一导轨101的第一端的下方，因此，可通过晶圆放置位102在第一导轨101上的运动，将放置在所述晶圆放置位102上的晶圆100浸入药液或者从药液中取出，解决了人力取拿晶圆100时浸泡时间不确定的技术问题。在一种具体实施方式中，所述晶圆放置位102连接至一第一驱动电机110的输出轴，并由所述第一驱动电机110驱动所述晶圆放置位102沿所述第一导轨101运动。在晶圆放置位102包括叉臂时，所述叉臂连接至所述输出轴。所述输出轴的输出量决定了放置在所述晶圆放置位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动化处理设备，其特征在于，包括：/n晶圆放置位，用于放置晶圆；/n第一导轨，所述晶圆放置位安装至所述第一导轨，并能够沿所述第一导轨的长度方向运动；/n药液槽，设置于所述第一导轨的第一端的下方，用于放置药液，且当所述晶圆放置位运动至第一端时，所述晶圆放置位浸入所述药液槽内放置的药液中；/n药液泵，连通至所述药液槽，用于泵出所述药液槽内放置的药液；/n药液箱，放置有药液，连通至所述药液槽，用于给所述药液槽提供处理晶圆的药液。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动化处理设备，其特征在于，包括：
晶圆放置位，用于放置晶圆；
第一导轨，所述晶圆放置位安装至所述第一导轨，并能够沿所述第一导轨的长度方向运动；
药液槽，设置于所述第一导轨的第一端的下方，用于放置药液，且当所述晶圆放置位运动至第一端时，所述晶圆放置位浸入所述药液槽内放置的药液中；
药液泵，连通至所述药液槽，用于泵出所述药液槽内放置的药液；
药液箱，放置有药液，连通至所述药液槽，用于给所述药液槽提供处理晶圆的药液。


2.根据权利要求1所述的自动化处理设备，其特征在于，还包括：
控制器，连接至所述晶圆放置位以及所述药液泵，用于控制所述晶圆放置位在所述第一导轨的长度方向上的运动，将晶圆浸入药液槽，以及用于控制所述药液泵泵出药液；
触摸屏，连接至所述控制器，用于给用户提供一控制界面，便于用户对所述晶圆放置位以及药液泵进行控制。


3.根据权利要求2所述的自动化处理设备，其特征在于，还包括：
电动阀门，设置于所述药液槽与所述药液箱之间，与所述控制器相连接，用于控制所述药液槽与药液箱之间的连通与否，以控制所述药液箱内的药液流入至药液槽。

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【专利技术属性】
技术研发人员：蒋杰，
申请(专利权)人：上海新傲科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31