自动化处理设备制造技术

该实用新型专利技术涉及一种自动化处理设备，包括：晶圆放置位，用于放置晶圆；第一导轨，晶圆放置位安装至第一导轨，并能够沿第一导轨的长度方向运动；药液槽，设置于第一导轨的第一端的下方，用于放置药液，且当晶圆放置位运动至第一端时，晶圆放置位浸入药液槽内放置的药液中；药液泵，连通至药液槽，用于泵出药液槽内放置的药液；药液箱，放置有药液，连通至药液槽，用于给药液槽提供处理晶圆的药液。本实用新型专利技术中的自动化处理设备可以控制晶圆的浸泡时间，且具有连通至药液槽的药液泵，可以将药液槽内的药液抽出，以实现替换，还具有连通至药液槽的药液箱，可以通过药液箱往药液槽内填充药液，简单方便，在替换药液时无需人工，安全系数高。

Automatic processing equipment

【技术实现步骤摘要】
自动化处理设备
本技术涉及晶圆生产加工设备领域，具体涉及一种自动化处理设备。
技术介绍
在进行单晶硅外延后通常都需要测定外延的电阻率。在测定外延电阻率时，需要将外延后的单晶硅进行一系列处理，包括泡氢氟酸、冲洗、泡双氧水和甩干。现有技术中，在对外延的单晶硅进行测定外延电阻前的处理时，通常是手动更换氢氟酸的，并且手动往氢氟酸中放入、取出晶圆。由于氢氟酸具有一定的腐蚀性，因此手动更换氢氟酸、取出、放入晶圆时，安全系数低，并且晶圆的浸泡时间也不可控。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种自动化处理设备，安全系数高，晶圆的浸泡时间可控。为解决上述技术问题，本技术提供了一种自动化处理设备，包括：晶圆放置位，用于放置晶圆；第一导轨，所述晶圆放置位安装至所述第一导轨，并能够沿所述第一导轨的长度方向运动；药液槽，设置于所述第一导轨的第一端的下方，用于放置药液，且当所述晶圆放置位运动至第一端时，所述晶圆放置位浸入所述药液槽内放置的药液中；药液泵，连通至所述药液槽，用于泵出所述药液槽内放置的药液；药液箱，放置有药液，连通至所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动化处理设备，其特征在于，包括：/n晶圆放置位，用于放置晶圆；/n第一导轨，所述晶圆放置位安装至所述第一导轨，并能够沿所述第一导轨的长度方向运动；/n药液槽，设置于所述第一导轨的第一端的下方，用于放置药液，且当所述晶圆放置位运动至第一端时，所述晶圆放置位浸入所述药液槽内放置的药液中；/n药液泵，连通至所述药液槽，用于泵出所述药液槽内放置的药液；/n药液箱，放置有药液，连通至所述药液槽，用于给所述药液槽提供处理晶圆的药液。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动化处理设备，其特征在于，包括：
晶圆放置位，用于放置晶圆；
第一导轨，所述晶圆放置位安装至所述第一导轨，并能够沿所述第一导轨的长度方向运动；
药液槽，设置于所述第一导轨的第一端的下方，用于放置药液，且当所述晶圆放置位运动至第一端时，所述晶圆放置位浸入所述药液槽内放置的药液中；
药液泵，连通至所述药液槽，用于泵出所述药液槽内放置的药液；
药液箱，放置有药液，连通至所述药液槽，用于给所述药液槽提供处理晶圆的药液。


2.根据权利要求1所述的自动化处理设备，其特征在于，还包括：
控制器，连接至所述晶圆放置位以及所述药液泵，用于控制所述晶圆放置位在所述第一导轨的长度方向上的运动，将晶圆浸入药液槽，以及用于控制所述药液泵泵出药液；
触摸屏，连接至所述控制器，用于给用户提供一控制界面，便于用户对所述晶圆放置位以及药液泵进行控制。


3.根据权利要求2所述的自动化处理设备，其特征在于，还包括：
电动阀门，设置于所述药液槽与所述药液箱之间，与所述控制器相连接，用于控制所述药液槽与药液箱之间的连通与否，以控制所述药液箱内的药液流入至药液槽。

...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋杰，
申请(专利权)人：上海新傲科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31