温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

该实用新型涉及一种自动化处理设备，包括：晶圆放置位，用于放置晶圆；第一导轨，晶圆放置位安装至第一导轨，并能够沿第一导轨的长度方向运动；药液槽，设置于第一导轨的第一端的下方，用于放置药液，且当晶圆放置位运动至第一端时，晶圆放置位浸入药液槽内放...
该专利属于上海新傲科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新傲科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。