一种全自动立式石英管清洗机制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种全自动立式石英管清洗机，包括机壳，机壳中形成有容纳石英管的腔室，腔室中设有转盘以及位于转盘下方的底座，机壳上还固定设有电机。本实用新型专利技术的转盘和电机通过齿轮组传动，运行顺畅、平稳，通过定位块定位石英管底部，可以防止石英管在随转盘转动过程中大幅晃动，甚至倾倒，通过限位块与转盘底部凸缘配合，转盘转动过程中不易晃动，通过推力球轴承承托、抬高转盘，转盘转动摩擦力小，喷淋管在喷射酸液或水或气体时，在喷射推力下与石英管反向旋转，能够均匀喷洒在石英管表面上，喷淋座的混合腔、第一孔路、第二孔路设计，使得酸液、水能够与高压气体混合为二流体，高压雾化喷洗，喷射距离长、范围大，清洗效果好。

A fully automatic vertical quartz tube cleaning machine

【技术实现步骤摘要】
一种全自动立式石英管清洗机
本技术涉及石英管清洗
，具体涉及一种全自动立式石英管清洗机。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。石英炉管(又叫石英舟，以下简称石英管)是扩散炉中的重要部件，在使用扩散炉进行半导体生产的过程中，工艺气体会在石英管表面逐渐沉积，需要专门的清洗机定期对石英管进行清洗。如图1所示，现有的全自动立式石英管清洗机包括机壳1，机壳1中形成有容纳石英管2的腔室，腔室中设有转盘3，转盘3设置在底座4上并通过塑料链条13与电机5传动连接，腔室顶部和底部分别设有固定喷淋管14和喷头15，使用时，将石英管2立起放置在转盘3上，电机5带动转盘3缓慢转动，一边旋转一边喷洗。现有的全自动立式石英管清洗机具有以下缺点：1、通过塑料链条13传动，容易出现爬齿和断裂现象，运行卡顿、不平稳；2、石英管2直接放置在转盘3上，没有定位结构，石英管2随转盘3转动过程中容易晃动，可靠性差；3、转盘3压在底座4上且仅仅通过一根同轴设置的转轴16与底座4连接，转盘3转动摩擦力大且容易晃动；4、清洗用的酸液、水、高压气体通过顶部固定喷淋管14喷出，固定喷淋管14使用过程中位置相对石英管2固定不动，酸液、水、高压气体的喷洒范围小、范围固定，影响清洗效果；5、喷头15中只设有一条供液体或气体流动的孔路，清洗用的酸液、水仅仅通过泵浦加压从底部喷头15喷出，酸液、水的喷洒距离和喷洒范围都较小，影响清洗效果。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种全自动立式石英管清洗机。为实现上述技术目的，本技术采用如下技术方案：一种全自动立式石英管清洗机，包括机壳，所述机壳中形成有容纳石英管的腔室，所述腔室中设有转盘以及位于所述转盘下方的底座，所述机壳上还固定设有电机，所述转盘通过齿轮组与所述电机传动连接；所述转盘上沿周向间隔均匀开设有若干定位孔组，每组定位孔组包括若干定位孔，同组的所述定位孔沿转盘径向间隔均匀分布，所述转盘顶部设有与所述定位孔组一一对应的定位块，所述定位块通过定位销与所述定位孔连接，以抵压或靠近石英管的底部外壁设置，防止石英管大幅晃动；所述底座上固定设有限位块，所述限位块内周设有限位卡槽，所述转盘底部设有凸缘，以与所述限位卡槽配合限定所述转盘位置，防止转盘晃动；所述限位块上固定设有推力球轴承，以承托所述转盘转动，并将所述转盘抬高至底面不与底座接触；所述腔室顶部设有顶部喷淋机构，所述顶部喷淋机构包括转动座和沿所述转动座周向间隔设置的若干喷淋管，所述转动座与机壳连接，所述喷淋管上沿着长度方向间隔均匀开设有小孔，所述小孔斜向下开设，以使所述喷淋管在喷射酸液或水或气体时，与石英管反向旋转；所述腔室底部设有喷淋座，所述喷淋座贯穿转盘、底座设置，所述喷淋座上设有若干喷嘴，所述喷淋座内设有混合腔、第一孔路、第二孔路，所述喷嘴、第一孔路、第二孔路均与混合腔联通，以使酸液或水，与高压气体混合为二流体后喷出。作为本技术进一步改进的技术方案，所述齿轮组包括一级齿轮、二级齿轮、三级齿轮、四级齿轮，所述一级齿轮与电机同轴固定设置，所述二级齿轮与所述一级齿轮啮合设置，所述三级齿轮与所述二级齿轮啮合设置，所述四级齿轮与所述三级齿轮啮合设置，所述转盘与所述四级齿轮同轴设置且旋转限位连接，所述四级齿轮压在所述推力球轴承上。作为本技术进一步改进的技术方案，所述喷淋管的悬空端顺着喷淋管的旋转方向弯折。作为本技术进一步改进的技术方案，所述限位块为环形结构。作为本技术进一步改进的技术方案，所述喷嘴在所述喷淋座顶面上呈辐射状分布。相对于现有技术，本技术的技术效果在于：1、本技术的转盘和电机通过齿轮组传动，运行顺畅、平稳；2、通过定位块定位石英管底部，可以防止石英管在随转盘转动过程中大幅晃动，甚至倾倒；3、通过限位块与转盘底部凸缘配合，转盘转动过程中不易晃动，通过推力球轴承承托、抬高转盘，转盘转动摩擦力小；4、喷淋管在喷射酸液或水或气体时，在喷射推力下与石英管反向旋转，能够均匀喷洒在石英管表面上；5、喷淋座的混合腔、第一孔路、第二孔路设计，使得酸液、水能够与高压气体混合为二流体，高压雾化喷洗，喷射距离长、范围大，清洗效果好。附图说明图1是现有技术中全自动立式石英管清洗机的结构示意图；图2是本技术实施方式中全自动立式石英管清洗机的结构示意图；图3是本技术实施方式中全自动立式石英管清洗机的局部放大结构示意图；图4是顶部喷淋机构的俯视结构示意图。具体实施方式以下将结合附图所示的具体实施方式对本技术进行详细描述。但这些实施方式并不限制本技术，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本技术的保护范围内。以下提供本技术的一种实施方式：请参见图2至4，一种全自动立式石英管清洗机，包括机壳1，所述机壳1中形成有容纳石英管2的腔室，所述腔室中设有转盘3以及位于所述转盘3下方的底座4，所述机壳1上还固定设有电机5，所述转盘3通过齿轮组6与所述电机5传动连接；所述转盘3上沿周向间隔均匀开设有若干定位孔组，每组定位孔组包括若干定位孔，同组的所述定位孔沿转盘3径向间隔均匀分布，所述转盘3顶部设有与所述定位孔组一一对应的定位块8，所述定位块8通过定位销7与所述定位孔连接，以抵压或靠近石英管2的底部外壁设置，防止石英管2大幅晃动；所述底座4上固定设有限位块9，所述限位块9内周设有限位卡槽，所述转盘3底部设有凸缘31，以与所述限位卡槽配合限定所述转盘3位置，防止转盘3晃动；所述限位块9上固定设有推力球轴承10，以承托所述转盘3转动，并将所述转盘3抬高至底面不与底座4接触；所述腔室顶部设有顶部喷淋机构11，所述顶部喷淋机构11包括转动座111和沿所述转动座111周向间隔设置的若干喷淋管112，所述转动座111与机壳1连接，所述喷淋管112上沿着长度方向间隔均匀开设有小孔，所述小孔斜向下开设，以使所述喷淋管112在喷射酸液或水或气体时，与石英管2反向旋转；所述腔室底部设有喷淋座12，所述喷淋座12贯穿转盘3、底座4设置，所述喷淋座12上设有若干喷嘴，所述喷淋座12内设有混合腔121、第一孔路122、第二孔路123，所述喷嘴、第一孔路122、第二孔路123均与混合腔121联通，以使酸液或水，与高压气体混合为二流体后喷出。需要说明的是，本技术还包括现有设计中的管路系统。管路系统中包括储酸箱、储水箱、第一高压气源、第二高压气源。储酸箱、储水箱、第一高压气源通过管路与顶部喷淋机构11连接，储酸箱与顶部喷淋机构11的连接管路上设有酸液泵浦，储水箱与顶部喷淋机构11的连接管路上设有水泵，采用单本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种全自动立式石英管清洗机，包括机壳，所述机壳中形成有容纳石英管的腔室，所述腔室中设有转盘以及位于所述转盘下方的底座，所述机壳上还固定设有电机，其特征在于，所述转盘通过齿轮组与所述电机传动连接；/n所述转盘上沿周向间隔均匀开设有若干定位孔组，每组定位孔组包括若干定位孔，同组的所述定位孔沿转盘径向间隔均匀分布，所述转盘顶部设有与所述定位孔组一一对应的定位块，所述定位块通过定位销与所述定位孔连接，以抵压或靠近石英管的底部外壁设置，防止石英管大幅晃动；/n所述底座上固定设有限位块，所述限位块内周设有限位卡槽，所述转盘底部设有凸缘，以与所述限位卡槽配合限定所述转盘位置，防止转盘晃动；/n所述限位块上固定设有推力球轴承，以承托所述转盘转动，并将所述转盘抬高至底面不与底座接触；/n所述腔室顶部设有顶部喷淋机构，所述顶部喷淋机构包括转动座和沿所述转动座周向间隔设置的若干喷淋管，所述转动座与机壳连接，所述喷淋管上沿着长度方向间隔均匀开设有小孔，所述小孔斜向下开设，以使所述喷淋管在喷射酸液或水或气体时，与石英管反向旋转；/n所述腔室底部设有喷淋座，所述喷淋座贯穿转盘、底座设置，所述喷淋座上设有若干喷嘴，所述喷淋座内设有混合腔、第一孔路、第二孔路，所述喷嘴、第一孔路、第二孔路均与混合腔联通，以使酸液或水，与高压气体混合为二流体后喷出。/n...

【技术特征摘要】
1.一种全自动立式石英管清洗机，包括机壳，所述机壳中形成有容纳石英管的腔室，所述腔室中设有转盘以及位于所述转盘下方的底座，所述机壳上还固定设有电机，其特征在于，所述转盘通过齿轮组与所述电机传动连接；
所述转盘上沿周向间隔均匀开设有若干定位孔组，每组定位孔组包括若干定位孔，同组的所述定位孔沿转盘径向间隔均匀分布，所述转盘顶部设有与所述定位孔组一一对应的定位块，所述定位块通过定位销与所述定位孔连接，以抵压或靠近石英管的底部外壁设置，防止石英管大幅晃动；
所述底座上固定设有限位块，所述限位块内周设有限位卡槽，所述转盘底部设有凸缘，以与所述限位卡槽配合限定所述转盘位置，防止转盘晃动；
所述限位块上固定设有推力球轴承，以承托所述转盘转动，并将所述转盘抬高至底面不与底座接触；
所述腔室顶部设有顶部喷淋机构，所述顶部喷淋机构包括转动座和沿所述转动座周向间隔设置的若干喷淋管，所述转动座与机壳连接，所述喷淋管上沿着长度方向间隔均匀开设有小孔，所述小孔斜向下开设，以使所述喷淋管在喷射酸液或水或气体时，与石英管反向旋转；
...

【专利技术属性】
技术研发人员：王福亮，何虎，赵芹，陈利锋，陈素荣，何婷婷，
申请(专利权)人：江苏芯梦半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32