一种双子嵌段聚醚的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种双子嵌段聚醚的制备方法，可用于电子行业清洗或显影阶段，以P‑N类化合物或磷腈类化合物作为催化剂，分别以合成的松香基二元醇或双酚A作为引发剂，通过分段加入环氧乙烷和环氧丙烷，制备了两个系列的聚氧乙烯‑聚氧丙烯(PEO‑PPO)嵌段聚醚。通过控制两种单体的量，可以调控PEO和PPO的长度和含量，操作简答，转化率高，达95％以上。

A preparation method of Gemini block polyether

【技术实现步骤摘要】
一种双子嵌段聚醚的制备方法
本专利技术属于非离子表面活性剂制备
，具体涉及一种可用于电子行业清洗或显影的嵌段聚醚的可控的制备方法。
技术介绍
聚醚类物质在电子行业中有着广泛的应用，如在微电子和集成电路的制造过程中，光刻是最关键的核心技术之一，占据了成本中的大部分。光刻工艺的主要步骤包括：1)晶片清洗，表面增粘处理；2)通过旋涂等工艺在晶片表面形成光刻胶层；3)烘烤，去除光刻胶中的溶剂；4)通过掩膜版进行曝光；5)烘烤，消除曝光时的驻波效应；6)利用显影液显影；7)清洗；8)烘烤hardbake，得到光刻胶图案。一个典型的硅工艺包括15-20光刻，而显影是光刻工艺中不可或缺的重要步骤。显影是利用显影液溶解掉曝光区域(正性胶)或未曝光区域(负性胶)的光刻胶，从而形成特定图案的过程，在显影过程中，常常因为溶解不充分而产生各类缺陷，如sunflower缺陷或残留互连现象，影响后续刻蚀或离子注入工艺，影响半导体器件的稳定性等。因而显影液是影响显影效果和最终产品性能的重要因素之一。显影液分为正胶显影液和负胶显影液，而光刻胶一般为疏水性聚合物，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双子嵌段聚醚的制备方法，其特征在于包括如下步骤：/n(1)将催化剂溶于无水甲醇中，加入引发剂，在60～70℃下真空蒸馏除去甲醇；/n(2)在步骤(1)得到的溶液中加入第一单体进行反应，再加入第二单体继续反应；反应结束后，冷却至室温，除去残余的第一单体和第二单体，再加入过量的甲醇和阳离子交换树脂搅拌1～2h，除去阳离子交换树脂和甲醇后即得嵌段聚醚；其中，当第一单体为环氧乙烷时，第二单体为环氧丙烷；当第一单体为环氧丙烷时，第二单体为环氧乙烷。/n

【技术特征摘要】
1.一种双子嵌段聚醚的制备方法，其特征在于包括如下步骤：
(1)将催化剂溶于无水甲醇中，加入引发剂，在60～70℃下真空蒸馏除去甲醇；
(2)在步骤(1)得到的溶液中加入第一单体进行反应，再加入第二单体继续反应；反应结束后，冷却至室温，除去残余的第一单体和第二单体，再加入过量的甲醇和阳离子交换树脂搅拌1～2h，除去阳离子交换树脂和甲醇后即得嵌段聚醚；其中，当第一单体为环氧乙烷时，第二单体为环氧丙烷；当第一单体为环氧丙烷时，第二单体为环氧乙烷。


2.根据权利要求1所述的一种双子嵌段聚醚的制备方法，其特征在于：步骤(1)中的引发剂为松香基二元醇或双酚A。


3.根据权利要求2所述的一种双子嵌段聚醚的制备方法，其特征在于：松香基二元醇是由环氧氯丙烷/环氧丙烷与脱氢松香胺混合后，以无水乙醇为溶剂，在室温下反应10～12h制得。


4.根据权利要求3所述的一种双子嵌段聚醚的制备方法，其特征在于：环氧氯丙烷/环氧丙烷与脱氢松香胺的质量比为2:1～3:1。


5.根据权利要求1所述的一种双子嵌段聚醚的制备方法，其特征在于：步骤(1)中的催化剂为P-N离子化合物(式I)或磷腈类化...

【专利技术属性】
技术研发人员：候琳熙，凌坤华，赵玉来，肖龙强，
申请(专利权)人：江苏斯德瑞克化工有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32