The invention relates to a waste liquid recovery system of photoresist stripping liquid, which comprises a reactor, a preheater, a first reboiler, a atmospheric pressure and negative pressure distillation tower, a first condenser, a second condenser, a second pump body, a pressurized distillation tower, a second reboiler and a first pump body. The first condenser and the second condenser are both provided with a heat recovery cover which is connected with an overheat transfer pipe Connect with heat recovery unit. The waste liquid recovery system of photoresist stripping liquid is equipped with a heat recovery device outside the condenser, which can not only speed up the heat dissipation of the condenser, but also recycle the heat emitted from the condenser, greatly reducing the energy loss of the whole system. At the same time, the reactor is set into two layers. When the primary regeneration liquid is formed by agitation and filtration, two impurity removal processes and shrinkage can be carried out at the same time The processing time is shortened and the processing efficiency of the system is increased.
【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶剥离液废液回收系统
本专利技术属于精馏塔回收领域,具体涉及一种高效、低耗的光刻胶剥离液废液回收系统。
技术介绍
随着国内电子制造产业的迅速发展,光刻胶剥离液等电子化学品的使用量也大为増加。光刻胶剥离液大量使用的同时也产生大量光刻胶剥离液废液。光刻胶剥离液废液中除了含有少量高分子树脂和光敏剂外,大部分是有再利用价值的光刻胶剥离液,因此对光刻胶剥离液的回收再利用的要求刻不容缓。对精馏塔是进行精馏的一种塔式汽液接触装置。利用混合物中各组分具有不同的挥发度,即在同一温度下各组分的蒸气压不同这一性质,使液相中的轻组分(低沸物)转移到气相中,而气相中的重组分(高沸物)转移到液相中,从而实现分离的目的。精馏塔也是石油化工生产中应用极为广泛的一种传质传热装置。一般的精馏装置由精馏塔塔身、冷凝器、回流罐,以及再沸器等设备组成。进料从精馏塔中某段塔板上进人塔内,这块塔板称为进料板。进料板将精馏塔分为上下两段,进料板以上部分称为精馏段,进料板以下部分称为提馏段。目前对光刻胶剥离液的回收再利用多是利用精馏塔对光刻胶剥离液的初级再生液进行精馏后回收,而精馏过程中气相冷凝回流是精馏过程中较为重要的一个步骤,但是现在的冷凝器多是直接设置在裸露的位置,通过外界空气进行风冷,造成了大量的热能散失,且散热效果所受到的外界因素过多,很容易导致整个系统的运行过程受到影响。
技术实现思路
本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种结构简单,设计合理的一种光刻胶剥离液废液回收系统。本专利技术通 ...
【技术保护点】
1.一种光刻胶剥离液废液回收系统,包括反应釜(1)、预热器(2)、第一再沸器(3)、常压、负压精馏塔(4)、第一冷凝器(5)、第二冷凝器(7)、第二泵体(9)、加压精馏塔(10)、第二再沸器(11)和第一泵体(12),其特征在于:所述第一冷凝器(5)和第二冷凝器(7)上均设置有热量回收罩(8),所述热量回收罩(8)通过热传递管与热量回收装置(6)连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶剥离液废液回收系统,包括反应釜(1)、预热器(2)、第一再沸器(3)、常压、负压精馏塔(4)、第一冷凝器(5)、第二冷凝器(7)、第二泵体(9)、加压精馏塔(10)、第二再沸器(11)和第一泵体(12),其特征在于:所述第一冷凝器(5)和第二冷凝器(7)上均设置有热量回收罩(8),所述热量回收罩(8)通过热传递管与热量回收装置(6)连接。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液废液回收系统,其特征在于:所述热量回收罩(8)包括外壳、铺设在外壳内壁上的隔热层以及铺设在隔热层上的若干个集热板,外壳设在第一冷凝器(5)和第二冷凝器(7)的外部...
【专利技术属性】
技术研发人员:李向峰,高豹,黄安宁,李星星,桂园芬,余何建,张晟煜,
申请(专利权)人:安庆市鑫祥瑞环保科技有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽;34
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