一种光刻胶剥离液废液回收系统技术方案

技术编号:24193123 阅读:33 留言:0更新日期:2020-05-20 10:02
本发明专利技术涉及一种光刻胶剥离液废液回收系统,包括反应釜、预热器、第一再沸器、常压、负压精馏塔、第一冷凝器、第二冷凝器、第二泵体、加压精馏塔、第二再沸器和第一泵体,所述第一冷凝器和第二冷凝器上均设置有热量回收罩,所述热量回收罩通过热传递管与热量回收装置连接。该光刻胶剥离液废液回收系统,在冷凝器的外部增设有热量回收装置,在加快冷凝器散热速度的同时将冷凝器散发出的热量进行回收利用,大大降低了整个系统的能量散失,同时将反应釜设置成两层,在搅拌过滤形成初级再生液时,可以同时进行两个除杂工序,缩短了加工时间,增加了系统的加工效率。

A waste liquid recovery system of photoresist stripping solution

The invention relates to a waste liquid recovery system of photoresist stripping liquid, which comprises a reactor, a preheater, a first reboiler, a atmospheric pressure and negative pressure distillation tower, a first condenser, a second condenser, a second pump body, a pressurized distillation tower, a second reboiler and a first pump body. The first condenser and the second condenser are both provided with a heat recovery cover which is connected with an overheat transfer pipe Connect with heat recovery unit. The waste liquid recovery system of photoresist stripping liquid is equipped with a heat recovery device outside the condenser, which can not only speed up the heat dissipation of the condenser, but also recycle the heat emitted from the condenser, greatly reducing the energy loss of the whole system. At the same time, the reactor is set into two layers. When the primary regeneration liquid is formed by agitation and filtration, two impurity removal processes and shrinkage can be carried out at the same time The processing time is shortened and the processing efficiency of the system is increased.

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶剥离液废液回收系统
本专利技术属于精馏塔回收领域,具体涉及一种高效、低耗的光刻胶剥离液废液回收系统。
技术介绍
随着国内电子制造产业的迅速发展,光刻胶剥离液等电子化学品的使用量也大为増加。光刻胶剥离液大量使用的同时也产生大量光刻胶剥离液废液。光刻胶剥离液废液中除了含有少量高分子树脂和光敏剂外,大部分是有再利用价值的光刻胶剥离液,因此对光刻胶剥离液的回收再利用的要求刻不容缓。对精馏塔是进行精馏的一种塔式汽液接触装置。利用混合物中各组分具有不同的挥发度,即在同一温度下各组分的蒸气压不同这一性质,使液相中的轻组分(低沸物)转移到气相中,而气相中的重组分(高沸物)转移到液相中,从而实现分离的目的。精馏塔也是石油化工生产中应用极为广泛的一种传质传热装置。一般的精馏装置由精馏塔塔身、冷凝器、回流罐,以及再沸器等设备组成。进料从精馏塔中某段塔板上进人塔内,这块塔板称为进料板。进料板将精馏塔分为上下两段,进料板以上部分称为精馏段,进料板以下部分称为提馏段。目前对光刻胶剥离液的回收再利用多是利用精馏塔对光刻胶剥离液的初级再生液进行精馏后回收,而精馏过程中气相冷凝回流是精馏过程中较为重要的一个步骤,但是现在的冷凝器多是直接设置在裸露的位置,通过外界空气进行风冷,造成了大量的热能散失,且散热效果所受到的外界因素过多,很容易导致整个系统的运行过程受到影响。
技术实现思路
本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种结构简单,设计合理的一种光刻胶剥离液废液回收系统。本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的:一种光刻胶剥离液废液回收系统,包括反应釜、预热器、第一再沸器、常压、负压精馏塔、第一冷凝器、第二冷凝器、第二泵体、加压精馏塔、第二再沸器和第一泵体,所述第一冷凝器和第二冷凝器上均设置有热量回收罩,所述热量回收罩通过热传递管与热量回收装置连接。作为本专利技术的进一步优化方案,所述热量回收罩包括外壳、铺设在外壳内壁上的隔热层以及铺设在隔热层上的若干个集热板,外壳设在第一冷凝器和第二冷凝器的外部。作为本专利技术的进一步优化方案,所述集热板与第一冷凝器和第二冷凝器之间均设有间隙,所述热传递管外表面包裹有隔热层,热传递管与集热板接触。作为本专利技术的进一步优化方案,所述热传递管为若干个独立的中空管道或若干个密封回流管道或两者结合使用。作为本专利技术的进一步优化方案,所述反应釜内设有两个搅拌腔室,搅拌轴贯穿两个搅拌腔室,两个搅拌腔室之间互不连通,两个搅拌腔室上均设有进料孔和出料孔。本专利技术的有益效果在于:1)本专利技术在冷凝器的外部增设有热量回收装置,在加快冷凝器散热速度的同时将冷凝器散发出的热量进行回收利用,大大降低了整个系统的能量散失;2)本专利技术同时将反应釜设置成两层,在搅拌过滤形成初级再生液时,可以同时进行两个除杂工序,缩短了加工时间,增加了系统的加工效率;3)本专利技术结构简单,稳定性高,设计合理,便于实现。附图说明图1是本专利技术的整体结构示意图。图中:1、反应釜;2、预热器;3、第一再沸器;4、常压、负压精馏塔;5、第一冷凝器;6、热量回收装置;7、第二冷凝器;8、热量回收罩;9、第二泵体;10、加压精馏塔;11、第二再沸器;12、第一泵体。具体实施方式下面结合附图对本申请作进一步详细描述,有必要在此指出的是,以下具体实施方式只用于对本申请进行进一步的说明,不能理解为对本申请保护范围的限制,该领域的技术人员可以根据上述申请内容对本申请作出一些非本质的改进和调整。实施例1如图1所示,一种光刻胶剥离液废液回收系统,包括反应釜1、预热器2、第一再沸器3、常压、负压精馏塔4、第一冷凝器5、第二冷凝器7、第二泵体9、加压精馏塔10、第二再沸器11和第一泵体12,本专利技术中整体的精馏过程如专利号为CN105523598B的专利技术,在此不做赘述,第一冷凝器5和第二冷凝器7上均设置有热量回收罩8,热量回收罩8通过热传递管与热量回收装置6连接,热量回收罩8用于收集冷凝器所散发出的热量,同时将热量通过热传递管传递至热量回收装置6中进行保存、使用;热量回收罩8包括外壳、铺设在外壳内壁上的隔热层以及铺设在隔热层上的若干个集热板,外壳设在第一冷凝器5和第二冷凝器7的外部,集热板可以收集冷凝器散发出来的热量,同时集热板可以对接触的管道进行加热;集热板与第一冷凝器5和第二冷凝器7之间均设有间隙,热传递管外表面包裹有隔热层,热传递管与集热板接触;热传递管为若干个独立的中空管道,中空管道中可以增设风机,对热量进行快速的输送;反应釜1内设有两个搅拌腔室,搅拌轴贯穿两个搅拌腔室,两个搅拌腔室之间互不连通,两个搅拌腔室上均设有进料孔和出料孔,反应釜1工作时,其中一个搅拌腔室内进行杂质去除,另一个搅拌腔室内进行金属离子吸附去除,随后将得到的初级原生液输送至预热器2中。在进行精馏过程中,精馏塔中的气相通过冷凝器冷凝回流时,通过热量回收罩8内的集热板将冷凝器散发出的热量收集回收,然后通过热传递管将热量传递至热量回收装置6,热量回收装置6可以收集热量并利用该热量进行发电等,大大降低了热量的散失,降低了系统的能源损失。实施例2如图1所示,一种光刻胶剥离液废液回收系统,包括反应釜1、预热器2、第一再沸器3、常压、负压精馏塔4、第一冷凝器5、第二冷凝器7、第二泵体9、加压精馏塔10、第二再沸器11和第一泵体12,第一冷凝器5和第二冷凝器7上均设置有热量回收罩8,热量回收罩8通过热传递管与热量回收装置6连接;热量回收罩8包括外壳、铺设在外壳内壁上的隔热层以及铺设在隔热层上的若干个集热板,外壳设在第一冷凝器5和第二冷凝器7的外部,集热板可以收集冷凝器散发出来的热量,同时集热板可以对接触的管道进行加热;集热板与第一冷凝器5和第二冷凝器7之间均设有间隙,热传递管外表面包裹有隔热层,热传递管与集热板接触;热传递管为若干个密封回流管道,密封回流管道中可以通入冷水,通过冷水快速吸收集热板上的热量,并通过加热后的水将热量传递至热量回收装置6内;反应釜1内设有两个搅拌腔室,搅拌轴贯穿两个搅拌腔室,两个搅拌腔室之间互不连通,两个搅拌腔室上均设有进料孔和出料孔,反应釜1工作时,其中一个搅拌腔室内进行杂质去除,另一个搅拌腔室内进行金属离子吸附去除,随后将得到的初级原生液输送至预热器2中。在进行精馏过程中,精馏塔中的气相通过冷凝器冷凝回流时,通过热量回收罩8内的集热板将冷凝器散发出的热量收集回收,然后通过热传递管将热量传递至热量回收装置6,热量回收装置6可以收集热量并利用该热量进行发电等,大大降低了热量的散失,降低了系统的能源损失。实施例3如图1所示,一种光刻胶剥离液废液回收系统,包括反应釜1、预热器2、第一再沸器3、常压、负压精馏塔4、第一冷凝器5、第二冷凝器7、第二泵体9、加压精馏塔10、第二再沸器11和第一泵体12,第一冷凝器5和第二冷凝器7上均设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻胶剥离液废液回收系统,包括反应釜(1)、预热器(2)、第一再沸器(3)、常压、负压精馏塔(4)、第一冷凝器(5)、第二冷凝器(7)、第二泵体(9)、加压精馏塔(10)、第二再沸器(11)和第一泵体(12),其特征在于:所述第一冷凝器(5)和第二冷凝器(7)上均设置有热量回收罩(8),所述热量回收罩(8)通过热传递管与热量回收装置(6)连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶剥离液废液回收系统,包括反应釜(1)、预热器(2)、第一再沸器(3)、常压、负压精馏塔(4)、第一冷凝器(5)、第二冷凝器(7)、第二泵体(9)、加压精馏塔(10)、第二再沸器(11)和第一泵体(12),其特征在于:所述第一冷凝器(5)和第二冷凝器(7)上均设置有热量回收罩(8),所述热量回收罩(8)通过热传递管与热量回收装置(6)连接。


2.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液废液回收系统,其特征在于:所述热量回收罩(8)包括外壳、铺设在外壳内壁上的隔热层以及铺设在隔热层上的若干个集热板,外壳设在第一冷凝器(5)和第二冷凝器(7)的外部...

【专利技术属性】
技术研发人员:李向峰高豹黄安宁李星星桂园芬余何建张晟煜
申请(专利权)人:安庆市鑫祥瑞环保科技有限公司
类型:发明
国别省市:安徽;34

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