一种外延炉上料斗的防堵机构制造技术

技术编号:24165801 阅读:52 留言:0更新日期:2020-05-16 01:25
本实用新型专利技术公开了一种外延炉上料斗的防堵机构,包括外延炉本体,外延炉本体顶部的右侧连通有进料斗,外延炉本体的顶部且位于进料斗的两侧均固定连接有传动箱。本实用新型专利技术通过转盘旋转带动连接柱旋转,连接柱旋转带动翘杆旋转的同时配合连接柱的位置完成上下运动,翘杆上下移动带动定位柱和固定柱上下移动,定位柱和固定柱上下移动带动连接块和活动杆上下移动,活动杆上下移动带动拨板上下移动,拨板上下移动对进料斗内部的原材料进行疏通,解决了现有的防堵机构大多通过人工进行疏通,导致加工效率慢,而且容易损坏半导体的问题,减少了使用者加工的劳动力,也减少了使用者的工作时间,提高了防堵机构的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种外延炉上料斗的防堵机构
本技术涉及外延炉上料机械
,具体为一种外延炉上料斗的防堵机构。
技术介绍
LED外延片是一块加热至适当温度的衬底基片,材料是半导体照明产业技术发展的基石。不同的衬底材料,需要不同的LED外延片生长技术、芯片加工技术和器件封装技术,衬底材料决定了半导体照明技术的发展路线。在加工半导体时,需要用到外延炉上料斗的防堵机构,但现有的防堵机构大多通过人工进行疏通,导致加工效率慢,而且容易损坏半导体,增加了使用者加工的劳动力,也增加了使用者的工作时间,降低了防堵机构的实用性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种外延炉上料斗的防堵机构,具备防堵效果好的优点,解决了现有的防堵机构大多通过人工进行疏通,导致加工效率慢,而且容易损坏半导体的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种外延炉上料斗的防堵机构,包括外延炉本体,所述外延炉本体顶部的右侧连通有进料斗,所述外延炉本体的顶部且位于进料斗的两侧均固定连接有传动箱,所述传动箱内壁的顶部固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有传动杆,所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种外延炉上料斗的防堵机构,包括外延炉本体(1),其特征在于:所述外延炉本体(1)顶部的右侧连通有进料斗(2),所述外延炉本体(1)的顶部且位于进料斗(2)的两侧均固定连接有传动箱(3),所述传动箱(3)内壁的顶部固定连接有电机(4),所述电机(4)的输出端固定连接有传动杆(5),所述传动杆(5)的底部固定连接有转盘(6),所述转盘(6)底部的右侧固定连接有连接柱(7),所述传动箱(3)内壁的背侧固定连接有连接杆(8),所述连接杆(8)的前侧与传动箱(3)内壁的前侧固定连接,所述连接杆(8)的表面套接有活动套(9),所述活动套(9)的表面套接有活动杆(10),所述活动杆(10)顶部的左侧固...

【技术特征摘要】
1.一种外延炉上料斗的防堵机构,包括外延炉本体(1),其特征在于:所述外延炉本体(1)顶部的右侧连通有进料斗(2),所述外延炉本体(1)的顶部且位于进料斗(2)的两侧均固定连接有传动箱(3),所述传动箱(3)内壁的顶部固定连接有电机(4),所述电机(4)的输出端固定连接有传动杆(5),所述传动杆(5)的底部固定连接有转盘(6),所述转盘(6)底部的右侧固定连接有连接柱(7),所述传动箱(3)内壁的背侧固定连接有连接杆(8),所述连接杆(8)的前侧与传动箱(3)内壁的前侧固定连接,所述连接杆(8)的表面套接有活动套(9),所述活动套(9)的表面套接有活动杆(10),所述活动杆(10)顶部的左侧固定连接有连接块(11),所述连接块(11)的右侧固定连接有固定柱(12),所述固定柱(12)的前侧和背侧均固定连接有定位柱(13),所述定位柱(13)的表面套接有翘杆(14),所述翘杆(14)远离定位柱(13)的一端套接在连接柱(7)的表面,所述活动杆(10)的右侧远离连接杆(8)的一端贯穿至进料斗(2)的内部并固定连接有拨板(15)。


2.根据权利要求1所述的一种外延炉上料斗的防堵机构,其特征在于:所述传动箱(3)的右侧和进料斗(2)的左侧且对应活动杆...

【专利技术属性】
技术研发人员:沈恒文林旭斌金修领吉双平郝小峰刘彤辉
申请(专利权)人:江苏艾匹克半导体设备有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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