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本实用新型公开了一种外延炉上料斗的防堵机构，包括外延炉本体，外延炉本体顶部的右侧连通有进料斗，外延炉本体的顶部且位于进料斗的两侧均固定连接有传动箱。本实用新型通过转盘旋转带动连接柱旋转，连接柱旋转带动翘杆旋转的同时配合连接柱的位置完成上下运...
该专利属于江苏艾匹克半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏艾匹克半导体设备有限公司授权不得商用。

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