一种高精度平面度检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高精度平面度检测装置及检测方法，包括检测箱体、平面度计算模块、匀光模块和取像模块，检测箱体顶壁开有卡口，卡口处卡设有平面平晶，所述匀光模块和取像模块设于检测箱体内，匀光模块包括光源罩和设于光源罩中的三色干涉光源，光源罩顶壁为匀光板；取像模块包括若干个CCD网络相机，CCD网络相机朝向平面平晶底部，对平面平晶底部取像；CCD网络相机与平面度计算模块连接。本发明专利技术检测时平面平晶底部、匀光模块和取像模块均处于封闭的检测箱体内，同时通过多个CCD网络相机取像，能够有效避免外界光环境对匀光和取像的干扰，使干涉条纹的呈现和取像更准确，增加平面度的检测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度平面度检测装置及方法
本专利技术涉及平面度检测领域，具体是一种高精度平面度检测装置及方法。
技术介绍
平晶干涉法是一种平面度检测方法，用于测量高光洁表面的平面误差。测量时，把被测表面放在平面平晶上，以光源照射平面平晶，光在平面平晶表面反射和被测表面反射回来的光线形成干涉现象，由于被测表面平面度的影响，干涉光线的光程差不同，因此形成干涉条纹。干涉条纹反映被测表面的平面度，通过干涉条纹能够计算被测样品的平面度。中国专利文件201811427991.6公开了一种航空件超高精度端面平面度检测成像装置及检测方法，包括实木主体盒、平晶托盘、平晶、干涉光源、CCD传感器、万向调节支架和计算机。实木主体盒的底座上设有平面镜，后侧板上设有毛玻璃，左侧板、右侧板和上板的内表面上设有黑色遮光层，上板上设有安装平晶托盘的槽孔；平晶放置在平晶托盘上，干涉光源安装在实木主体盒内，CCD传感器连接万向调节支架、拍摄并发送干涉条纹图像至计算机。该专利技术通过CCD传感器和万向调节支架，使干涉条纹清晰的呈现在计算机上，弥补了平晶检测平面度时测量结果难以高效准确本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度平面度检测装置，包括检测箱体（1）、平面度计算模块、匀光模块和取像模块，检测箱体（1）顶壁开有卡口，卡口处卡设有平面平晶（2），其特征在于：所述匀光模块和取像模块均设于检测箱体（1）内，匀光模块包括光源罩（3）和设于光源罩（3）中的三色干涉光源（4），光源罩（3）顶壁为匀光板（5）；取像模块包括若干个CCD网络相机（6），CCD网络相机（6）朝向平面平晶（2）底面，对平面平晶（2）取像；CCD网络相机（2）与平面度计算模块连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种高精度平面度检测装置，包括检测箱体（1）、平面度计算模块、匀光模块和取像模块，检测箱体（1）顶壁开有卡口，卡口处卡设有平面平晶（2），其特征在于：所述匀光模块和取像模块均设于检测箱体（1）内，匀光模块包括光源罩（3）和设于光源罩（3）中的三色干涉光源（4），光源罩（3）顶壁为匀光板（5）；取像模块包括若干个CCD网络相机（6），CCD网络相机（6）朝向平面平晶（2）底面，对平面平晶（2）取像；CCD网络相机（2）与平面度计算模块连接。


2.根据权利要求1所述的一种高精度平面度检测装置，其特征在于：所述检测箱体（1）右侧壁作为光源罩（3）右侧壁，检测箱体（1）右侧壁可下旋朝外打开，三色干涉光源（4）设于检测箱体（1）右侧壁朝内一面上。


3.根据权利要求1或2所述的一种高精度平面度检测装置，其特征在于：所述平面度计算模块为触屏电脑（7），触屏电脑（7）安装于检测箱体（1）前壁上。


4.根据权利要求3所述的一种高精度平面度检测装置，其特征在于：所述检测箱体（1）前壁包括从内到外依次设置的隔板（8）和卡框（9），触屏电脑（7）安装于卡框（9）中。


5.一种基于权利要求1至4任一项所述的一种高精度平面度检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：伍玮，罗利娟，钟海，张云飞，
申请(专利权)人：成都威博恩科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51