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本发明公开了一种高精度平面度检测装置及检测方法，包括检测箱体、平面度计算模块、匀光模块和取像模块，检测箱体顶壁开有卡口，卡口处卡设有平面平晶，所述匀光模块和取像模块设于检测箱体内，匀光模块包括光源罩和设于光源罩中的三色干涉光源，光源罩顶壁为...
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