【技术实现步骤摘要】
超薄光学元件弱变形点胶上盘装置及其方法
本专利技术属于光学加工领域，尤其是涉及一种实现超薄光学元件弱变形的点胶上盘装置及其方法。
技术介绍
超薄光学元件在强激光、精密检测、光刻物镜、航空航天等各类精密光学系统中具有非常广泛的应用。为了保证光学系统的光传输精度，需要对超薄光学元件的面形精度进行严格控制。超薄光学元件在结构上具有大径厚比的特点，结构刚性较差，这类元件在光学加工过程中通常存在较大的结构变形，这对元件的超精密加工带来了极大的加工困难。在现有的抛光工艺中，对于有较高面形精度要求的元件，通常需要采用蜡或沥青等光学胶将超薄光学元件粘贴固定到一块厚的背板上进行加工，待抛光完成后再将元件与背板分离。为了使元件与背板粘贴牢固，现有工艺通常是在普通的加热炉或加热板上进行元件粘贴上盘操作，由于元件上盘过程缺乏对温度场的有效控制，容易对“背板-胶-元件”系统引入不均匀的热应力，导致元件加工完成并下盘后产生较大的不规则变形，元件很难获得理想的面形精度。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种超薄光学元件...
【技术保护点】
1.超薄光学元件弱变形点胶上盘装置，其特征在于：包括箱体(1)、旋转台(2)、支撑杆(3)、背板(4)、挡块(6)、驱动电机(8)、制冷机(10)、散热器(11)、加热器(12)和风机(13)，所述旋转台(2)设置在箱体(1)内部，在旋转台(2)上设置有支撑杆(3)，在支撑杆(3)上设置有背板(4)，在背板(4)上表面设置粘结胶点(5)；在旋转台(2)上设置有多个挡块(6)，挡块(6)的一端与背板(4)侧面贴靠在一起，挡块(6)的另一端与旋转台(2)连接；所述驱动电机(8)驱动旋转台(2)匀速旋转；在箱体(1)内部设置有散热器(11)、加热器(12)和风机(13)，所述散热...
【技术特征摘要】
1.超薄光学元件弱变形点胶上盘装置，其特征在于：包括箱体(1)、旋转台(2)、支撑杆(3)、背板(4)、挡块(6)、驱动电机(8)、制冷机(10)、散热器(11)、加热器(12)和风机(13)，所述旋转台(2)设置在箱体(1)内部，在旋转台(2)上设置有支撑杆(3)，在支撑杆(3)上设置有背板(4)，在背板(4)上表面设置粘结胶点(5)；在旋转台(2)上设置有多个挡块(6)，挡块(6)的一端与背板(4)侧面贴靠在一起，挡块(6)的另一端与旋转台(2)连接；所述驱动电机(8)驱动旋转台(2)匀速旋转；在箱体(1)内部设置有散热器(11)、加热器(12)和风机(13)，所述散热器(11)与制冷机(10)相连。
2.如权利要求1所述的超薄光学元件弱变形点胶上盘装置，其特征在于：在所述背板(4)上方还设置有呈矩阵分布的温度传感器(9)。
3.如权利要求1所述的超薄光学元件弱变形点胶上盘装置，其特征在于：在所述箱体(1)上还设置有箱体(1)内部工作温度的设定、驱动电机(8)的启停、监测光学元件(15)上方的温度传感器(9)的控制面板(14)。
4.如权利要求1所述的超薄光学元件弱变形点胶上盘装置，其特征在于：所述挡块(6)的另一端通过锁紧螺钉(7)与旋转台(2)连接。
5.如权利要求1所述的超薄光学元件弱变形点胶上盘装置，其特征在于：所述制冷机(10)设置在箱体(1)外部。
6.如权利要求1所述的超薄光学元件弱变形点胶上盘装置，其特征在于：所述背板(4)上的粘结胶点(5)呈矩阵式分布...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢瑞清，张清华，刘民才，赵世杰，廖德锋，陈贤华，王健，许乔，田亮，王诗原，王宇，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：四川;51
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