一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，包括连接板，所述连接板的顶部固定连接有水箱，所述连接板的顶部固定连接有位于水箱右侧的水泵，所述水泵的输入端与水箱的左侧连通，所述连接板的顶部固定连接有与水泵输出端连通的分流箱，所述分流箱的顶部通过销轴活动连接有喷头本体，所述喷头本体与分流箱的顶部连通。该薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，通过水泵将清洁剂抽出并注入分流箱的内部，清洁剂通过喷头本体向外喷洒进行清理，解决了现有的喷洒方式多是使用人工来进行喷洒，降低了外延炉的翻新效率且清洁剂喷洒不均匀的问题，该薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，具备自动化喷洒等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备
本技术涉及外延炉维护
，具体为一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备。
技术介绍
外延炉是用来将金属源气分解并将金属源气渡在半导体外延片表面的装置，使用方式是将半导体外延片衬底置于外延炉中，将硅源源气及碳源源气通入外延炉中，在1600℃左右的高温下源气分解后反应生成半导体并沉积于衬底上，从而将半导体外延片制作为高温、高频、大功率和强辐射电力电子器件的理想半导体材料。在外延炉的翻新维护过程中，需要将清洁剂喷洒到外延炉的表面，然后进行清理，但是现有的喷洒方式多是使用人工来进行喷洒，降低了外延炉的翻新效率且清洁剂喷洒不均匀。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，具备自动化喷洒等优点，解决了现有的喷洒方式多是使用人工来进行喷洒，降低了外延炉的翻新效率且清洁剂喷洒不均匀的问题。(二)技术方案为实现上述的目的，本技术提供如下技术方案：一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，包括连接板，所述连接板的顶部固定连接有水箱，所述连接板的顶部固定连接有位于水箱右侧的水泵，所述水泵的输入端与水箱的左侧连通，所述连接板的顶部固定连接有与水泵输出端连通的分流箱，所述分流箱的顶部通过销轴活动连接有喷头本体，所述喷头本体与分流箱的顶部连通，所述连接板的左侧固定连接有位于水箱左侧的把手。优选的，所述连接板的底部通过轴承活动连接有支撑板，所述支撑板底部的四角均固定连接有万向轮。>优选的，所述把手的内侧活动连接有收纳杆，所述收纳杆的前端贯穿至把手的正面并固定连接有转轮，所述喷头本体的顶部固定连接有受力块，所述受力块的表面缠绕有牵引绳，所述牵引绳远离受力块的一端缠绕在收纳杆的表面。优选的，所述分流箱的右侧与喷头本体的底部均固定连接有连接块，所述连接块的表面套设有拉簧，所述拉簧与连接块活动连接。优选的，所述分流箱的背面连通有回流管，所述回流管远离分流箱的一端延伸至水箱的左侧并与水箱的左侧连通。优选的，所述水箱内部的左侧与右侧均固定连接有挡板，所述挡板的表面开设有旋流孔。(三)有益效果与现有技术相比，本技术提供了一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，具备以下有益效果：1、该薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，通过水泵将清洁剂抽出并注入分流箱的内部，清洁剂通过喷头本体向外喷洒进行清理，解决了现有的喷洒方式多是使用人工来进行喷洒，降低了外延炉的翻新效率且清洁剂喷洒不均匀的问题，该薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，具备自动化喷洒等优点。2、该薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，通过设置支撑板与万向轮，能够提高喷洒装置的灵活性，便于使用者进行移动，通过设置收纳杆、转轮、牵引绳与连接块，能够便于使用者对喷头本体的喷洒角度进行调节，提高喷头本体的实用性，使清洁剂喷洒的更加均匀，通过设置连接块与拉簧，能够使喷头本体具备复位的效果，避免使用者需要拨动喷头本体复位的操作步骤，提高喷洒装置的使用便捷性，通过设置回流管，能够对部分清洁剂进行循环，以防止清洁剂出现沉淀的情况，通过设置挡板与旋流孔，能够在清洁剂通过旋流孔时产生旋转水流，可以对清洁剂起到混合的作用。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术主视结构剖面示意图；图3为图2中A处放大图。图中：1连接板、2水箱、3水泵、4分流箱、5喷头本体、6把手、7支撑板、8万向轮、9收纳杆、10转轮、11受力块、12牵引绳、13连接块、14拉簧、15回流管、16挡板、17旋流孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，包括连接板1，连接板1的底部通过轴承活动连接有支撑板7，支撑板7底部的四角均固定连接有万向轮8，通过设置支撑板7与万向轮8，能够提高喷洒装置的灵活性，便于使用者进行移动，连接板1的顶部固定连接有水箱2，水箱2内部的左侧与右侧均固定连接有挡板16，挡板16的表面开设有旋流孔17，通过设置挡板16与旋流孔17，能够在清洁剂通过旋流孔17时产生旋转水流，可以对清洁剂起到混合的作用，连接板1的顶部固定连接有位于水箱2右侧的水泵3，水泵3的输入端与水箱2的左侧连通，连接板1的顶部固定连接有与水泵3输出端连通的分流箱4，分流箱4的背面连通有回流管15，回流管15远离分流箱4的一端延伸至水箱2的左侧并与水箱2的左侧连通，通过设置回流管15，能够对部分清洁剂进行循环，以防止清洁剂出现沉淀的情况，分流箱4的顶部通过销轴活动连接有喷头本体5，分流箱4的右侧与喷头本体5的底部均固定连接有连接块13，连接块13的表面套设有拉簧14，拉簧14与连接块13活动连接，通过设置连接块13与拉簧14，能够使喷头本体5具备复位的效果，避免使用者需要拨动喷头本体5复位的操作步骤，提高喷洒装置的使用便捷性，喷头本体5与分流箱4的顶部连通，连接板1的左侧固定连接有位于水箱2左侧的把手6，把手6的内侧活动连接有收纳杆9，收纳杆9的前端贯穿至把手6的正面并固定连接有转轮10，喷头本体5的顶部固定连接有受力块11，受力块11的表面缠绕有牵引绳12，牵引绳12远离受力块11的一端缠绕在收纳杆9的表面，通过设置收纳杆9、转轮10、牵引绳12与连接块13，能够便于使用者对喷头本体5的喷洒角度进行调节，提高喷头本体5的实用性，使清洁剂喷洒的更加均匀。在使用时，通过水泵3将清洁剂抽出并注入分流箱4的内部，清洁剂在移动的过程中通过旋流管形成旋转回流，达到对清洁剂进行混合的效果，清洁剂通过喷头本体5向外喷洒进行清理，同时部分清洁剂通过回流管15再次注入水箱2内部，以防止清洁剂出现沉淀的情况，当需要对喷洒角度进行调节时，旋转转轮10，转轮10带动收纳杆9旋转并将牵引绳12缠绕至收纳杆9的表面，牵引绳12通过受力块11拉动喷头本体5旋转，使喷头本体5的喷洒角度上扬，需要将喷头本体5的喷洒角度向下调整时，反向旋转转轮10，拉簧14通过连接块13拉动喷头本体5复位，使喷头本体5的喷洒角度下降。综上所述，该薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，通过水泵3将清洁剂抽出并注入分流箱4的内部，清洁剂通过喷头本体5向外喷洒进行清理，解决了现有的喷洒方式多是使用人工来进行喷洒，降低了外延炉的翻新效率且清洁剂喷洒不均匀的问题，该薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，具备自动化喷洒等优点。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，包括连接板(1)，其特征在于：所述连接板(1)的顶部固定连接有水箱(2)，所述连接板(1)的顶部固定连接有位于水箱(2)右侧的水泵(3)，所述水泵(3)的输入端与水箱(2)的左侧连通，所述连接板(1)的顶部固定连接有与水泵(3)输出端连通的分流箱(4)，所述分流箱(4)的顶部通过销轴活动连接有喷头本体(5)，所述喷头本体(5)与分流箱(4)的顶部连通，所述连接板(1)的左侧固定连接有位于水箱(2)左侧的把手(6)。/n

【技术特征摘要】
1.一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，包括连接板(1)，其特征在于：所述连接板(1)的顶部固定连接有水箱(2)，所述连接板(1)的顶部固定连接有位于水箱(2)右侧的水泵(3)，所述水泵(3)的输入端与水箱(2)的左侧连通，所述连接板(1)的顶部固定连接有与水泵(3)输出端连通的分流箱(4)，所述分流箱(4)的顶部通过销轴活动连接有喷头本体(5)，所述喷头本体(5)与分流箱(4)的顶部连通，所述连接板(1)的左侧固定连接有位于水箱(2)左侧的把手(6)。


2.根据权利要求1所述的一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，其特征在于：所述连接板(1)的底部通过轴承活动连接有支撑板(7)，所述支撑板(7)底部的四角均固定连接有万向轮(8)。


3.根据权利要求1所述的一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，其特征在于：所述把手(6)的内侧活动连接有收纳杆(9)，所述收纳杆(9)的前端贯穿至把手(6)的正面并固定连接有...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈恒文，林旭斌，金修领，吉双平，郝小峰，刘彤辉，
申请(专利权)人：江苏艾匹克半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32