一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，包括连接板，所述连接板的顶部固定连接有水箱，所述连接板的顶部固定连接有位于水箱右侧的水泵，所述水泵的输入端与水箱的左侧连通，所述连接板的顶部固定连接有与水泵输出端连通的分流箱，所述分流箱的顶部通过销轴活动连接有喷头本体，所述喷头本体与分流箱的顶部连通。该薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，通过水泵将清洁剂抽出并注入分流箱的内部，清洁剂通过喷头本体向外喷洒进行清理，解决了现有的喷洒方式多是使用人工来进行喷洒，降低了外延炉的翻新效率且清洁剂喷洒不均匀的问题，该薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，具备自动化喷洒等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备
本技术涉及外延炉维护
，具体为一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备。
技术介绍
外延炉是用来将金属源气分解并将金属源气渡在半导体外延片表面的装置，使用方式是将半导体外延片衬底置于外延炉中，将硅源源气及碳源源气通入外延炉中，在1600℃左右的高温下源气分解后反应生成半导体并沉积于衬底上，从而将半导体外延片制作为高温、高频、大功率和强辐射电力电子器件的理想半导体材料。在外延炉的翻新维护过程中，需要将清洁剂喷洒到外延炉的表面，然后进行清理，但是现有的喷洒方式多是使用人工来进行喷洒，降低了外延炉的翻新效率且清洁剂喷洒不均匀。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，具备自动化喷洒等优点，解决了现有的喷洒方式多是使用人工来进行喷洒，降低了外延炉的翻新效率且清洁剂喷洒不均匀的问题。(二)技术方案为实现上述的目的，本技术提供如下技术方案：一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，包括连接板，所述连接板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，包括连接板(1)，其特征在于：所述连接板(1)的顶部固定连接有水箱(2)，所述连接板(1)的顶部固定连接有位于水箱(2)右侧的水泵(3)，所述水泵(3)的输入端与水箱(2)的左侧连通，所述连接板(1)的顶部固定连接有与水泵(3)输出端连通的分流箱(4)，所述分流箱(4)的顶部通过销轴活动连接有喷头本体(5)，所述喷头本体(5)与分流箱(4)的顶部连通，所述连接板(1)的左侧固定连接有位于水箱(2)左侧的把手(6)。/n

【技术特征摘要】
1.一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，包括连接板(1)，其特征在于：所述连接板(1)的顶部固定连接有水箱(2)，所述连接板(1)的顶部固定连接有位于水箱(2)右侧的水泵(3)，所述水泵(3)的输入端与水箱(2)的左侧连通，所述连接板(1)的顶部固定连接有与水泵(3)输出端连通的分流箱(4)，所述分流箱(4)的顶部通过销轴活动连接有喷头本体(5)，所述喷头本体(5)与分流箱(4)的顶部连通，所述连接板(1)的左侧固定连接有位于水箱(2)左侧的把手(6)。


2.根据权利要求1所述的一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，其特征在于：所述连接板(1)的底部通过轴承活动连接有支撑板(7)，所述支撑板(7)底部的四角均固定连接有万向轮(8)。


3.根据权利要求1所述的一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，其特征在于：所述把手(6)的内侧活动连接有收纳杆(9)，所述收纳杆(9)的前端贯穿至把手(6)的正面并固定连接有...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈恒文，林旭斌，金修领，吉双平，郝小峰，刘彤辉，
申请(专利权)人：江苏艾匹克半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32