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本实用新型公开了一种薄膜沉积外延炉翻新用清洁剂喷涂设备，包括连接板，所述连接板的顶部固定连接有水箱，所述连接板的顶部固定连接有位于水箱右侧的水泵，所述水泵的输入端与水箱的左侧连通，所述连接板的顶部固定连接有与水泵输出端连通的分流箱，所述分流...
该专利属于江苏艾匹克半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏艾匹克半导体设备有限公司授权不得商用。

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