【技术实现步骤摘要】
一种硅片烘干装置及硅片刻蚀机
本技术涉及太阳能电池加工设备
，尤其涉及一种硅片烘干装置及硅片刻蚀机。
技术介绍
现有的硅片烘干装置包括氢氟酸槽、水洗槽和烘干槽，氢氟酸槽去除硅片表面磷硅玻璃后，经过水洗槽，纯水清洗表面氢氟酸溶液，继续水平传动至烘干槽，进行热风烘干。现有的硅片烘干装置的烘干效果不好，容易在硅片上出现烘干水痕。
技术实现思路
本技术的一个目的在于提出一种硅片烘干装置，该烘干装置能够较好地烘干硅片，降低硅片上出现烘干水痕的几率，从而保证硅片的良品率。本技术的另一个目的在于提出一种硅片刻蚀机，该硅片刻蚀机的良品率较高。为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：一种硅片烘干装置，包括：氢氟酸槽，所述氢氟酸槽的上方设有氢氟酸喷头；水洗槽，所述水洗槽的上方设有水洗喷头，所述水洗喷头通过连接管与所述水洗槽相连；烘干槽，所述烘干槽的上方设有冷风喷头和热风喷头；运输机构，所述运输机构用于运输硅片；其中：所述氢氟酸槽、所述水洗槽及所述烘干槽沿所述硅片的运输方向依次排布，所述冷风喷头位于...
【技术保护点】
1.一种硅片烘干装置，其特征在于，包括：/n氢氟酸槽(1)，所述氢氟酸槽(1)的上方设有氢氟酸喷头(5)；/n水洗槽(2)，所述水洗槽(2)的上方设有水洗喷头(6)，所述水洗喷头(6)通过连接管与所述水洗槽(2)相连；/n烘干槽(3)，所述烘干槽(3)的上方设有冷风喷头(7)和热风喷头(8)；/n运输机构，所述运输机构用于运输硅片；其中：/n所述氢氟酸槽(1)、所述水洗槽(2)及所述烘干槽(3)沿所述硅片的运输方向依次排布，所述冷风喷头(7)位于所述热风喷头(8)的上游；/n所述运输机构包括多个运输辊，所述运输辊包括依次与所述氢氟酸槽(1)、所述水洗槽(2)及所述烘干槽(3...
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种硅片烘干装置，其特征在于，包括：
氢氟酸槽(1)，所述氢氟酸槽(1)的上方设有氢氟酸喷头(5)；
水洗槽(2)，所述水洗槽(2)的上方设有水洗喷头(6)，所述水洗喷头(6)通过连接管与所述水洗槽(2)相连；
烘干槽(3)，所述烘干槽(3)的上方设有冷风喷头(7)和热风喷头(8)；
运输机构，所述运输机构用于运输硅片；其中：
所述氢氟酸槽(1)、所述水洗槽(2)及所述烘干槽(3)沿所述硅片的运输方向依次排布，所述冷风喷头(7)位于所述热风喷头(8)的上游；
所述运输机构包括多个运输辊，所述运输辊包括依次与所述氢氟酸槽(1)、所述水洗槽(2)及所述烘干槽(3)对应设置的第一辊组(41)、第二辊组(42)及第三辊组(43)，所述第一辊组(41)的所述运输辊的上边缘与所述第二辊组(42)的所述运输辊的上边缘齐平设置，所述第三辊组(43)的所述运输辊的上边缘高于所述第一辊组(41)及所述第二辊组(42)的所述运输辊的上边缘。
2.根据权利要求1所述的硅片烘干装置，其特征在于，所述水洗槽(2)内设有PH值检测件(21)，所述PH值检测件(21)用于检测所述水洗槽(2)内的液体的PH值。
3.根据权利要求1所述的硅片烘干装置，其特征在于，所述第二辊组(42)中靠近所述第三辊组(43)的所述运输辊的轴心和所述第三辊组(43)中临近所述第二辊组(42)的所述运输辊的轴心的连线为a，a满足关系式：1°≤a≤5°。
4.根据权利要求1所述的硅片烘干装置，其特征在于，所述水洗喷头(6)为两个，两个所述水洗喷头(6)分别位于所述第二辊组(42)的上下两侧。
技术研发人员：杨金鑫，谢凤兰，唐正海，刘燕，
申请(专利权)人：盐城阿特斯阳光能源科技有限公司，阿特斯阳光电力集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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