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本实用新型公开了一种硅片烘干装置及硅片刻蚀机，该硅片烘干装置包括氢氟酸槽、水洗槽、烘干槽和运输机构。氢氟酸槽的上方设有氢氟酸喷头，水洗槽的上方设有水洗喷头，水洗喷头通过连接管与水洗槽相连，烘干槽的上方设有冷风喷头和热风喷头，运输机构用于运输...该专利属于盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司授权不得商用。