【技术实现步骤摘要】
一种带有翻转装置的硅片烘干机
本技术涉及硅片生产
,具体为一种带有翻转装置的硅片烘干机。
技术介绍
多晶硅,是单质硅的一种形态,熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。硅片在生产过程中需要经过清洗步骤,清洗完进入分选步骤之前需要进行烘干,现在的硅片烘干机结构简单不带有翻转装置,达不到好的烘干效果,同时不便捷进行上下料,故而提出了一种带有翻转装置的硅片烘干机解决这一问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本技术提供了一种带有翻转装置的硅片烘干机,具备带有翻转装置等优点,解决了现在的硅片烘干机结构简单不带有翻转装置,达不到好的烘干效果,同时不便捷进行上下料的问题。(二)技术方案为实现上述带有翻转装置的目的,本技术提供如下技术方案:一种带有翻转装置的硅片烘干机,包括机体,所述机体内腔的左右侧壁均固定安装有固定架,两个所述固定架之间活动安装有转轴,所述转轴上固 ...
【技术保护点】
1.一种带有翻转装置的硅片烘干机,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)内腔的左右侧壁均固定安装有固定架(2),两个所述固定架(2)之间活动安装有转轴(3),所述转轴(3)上固定安装有储物盒(4),所述储物盒(4)的内部固定安装有储物板(5),所述储物板(5)上开设有气孔(6),所述储物盒(4)的外部开设有进气孔(7),所述机体(1)内腔的顶壁固定安装有风罩(8),所述风罩(8)的顶部连通有贯穿并延伸至机体(1)顶部的加热筒(9),所述机体(1)的顶部固定安装有风机(10),所述风机(10)的出风口处连通有与加热筒(9)连通的连接管(11),所述机体(1)的内部固定安装 ...
【技术特征摘要】
1.一种带有翻转装置的硅片烘干机,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)内腔的左右侧壁均固定安装有固定架(2),两个所述固定架(2)之间活动安装有转轴(3),所述转轴(3)上固定安装有储物盒(4),所述储物盒(4)的内部固定安装有储物板(5),所述储物板(5)上开设有气孔(6),所述储物盒(4)的外部开设有进气孔(7),所述机体(1)内腔的顶壁固定安装有风罩(8),所述风罩(8)的顶部连通有贯穿并延伸至机体(1)顶部的加热筒(9),所述机体(1)的顶部固定安装有风机(10),所述风机(10)的出风口处连通有与加热筒(9)连通的连接管(11),所述机体(1)的内部固定安装有电机(12),所述电机(12)的输出轴处与转轴(3)的外部均固定安装有传动盘(14),两个所述传动盘(14)的外部均与贯穿机体(1)的传动带(15)套接,所述储物盒(4)的外部活动安装有开关板(13)。
2.根据权利要求1所述的一种带有翻转装置...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨定勇,
申请(专利权)人:扬州晶樱光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。