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本实用新型涉及硅片生产技术领域，且公开了一种带有翻转装置的硅片烘干机，包括机体，所述机体内腔的左右侧壁均固定安装有固定架，两个所述固定架之间活动安装有转轴，所述转轴上固定安装有储物盒，所述储物盒的内部固定安装有储物板，所述储物板上开设有气孔...
该专利属于扬州晶樱光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州晶樱光电科技有限公司授权不得商用。

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