等离子蚀刻的自动除粉装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种等离子蚀刻的自动除粉装置，包括：蚀刻腔室，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板的传动辊；除粉腔室，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板的传动辊；活动闸板，设置于蚀刻腔室和除粉腔室之间，可隔离或连通蚀刻腔室和除粉腔室；毛刷组件，安装于除粉腔室内，与基板的表面接触，可相对基板沿第一水平方向往复移动；吹气口，设置于除粉腔室内，朝向基板的表面吹气；吸尘器，与除粉腔室相连通。本发明专利技术还公开了一种等离子蚀刻的自动除粉方法。在正常蚀刻作业时，打开活动闸板可连通蚀刻腔室和除粉腔室，将基板通过传动辊从蚀刻腔室输送到除粉腔室内，清理掉基板表面的残留粉尘，然后再将基板转移回蚀刻腔室，提高蚀刻效率。

Automatic powder removing device and method of plasma etching

【技术实现步骤摘要】
等离子蚀刻的自动除粉装置及方法
本专利技术涉及等离子蚀刻
，特别涉及等离子蚀刻的自动除粉装置及方法。
技术介绍
传统的等离子蚀刻在蚀刻有机物树脂材料的时候，当蚀刻到一定程度的时候，基板的表面会产生等离子气体和树脂材料化学反应后的残留粉尘，粉尘的产生会残留在基板的表面，受粉尘阻挡的影响，蚀刻速度严重下降，通常需要人工将基板拿出来，将其表面的残留粉尘清理掉，才能进一步进行蚀刻，如此反复操作严重影响了蚀刻效率。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种等离子蚀刻的自动除粉装置，能够有效地清理掉基板表面的残留粉尘，提高蚀刻效率。本专利技术还提出一种等离子蚀刻的自动除粉方法。根据本专利技术第一方面实施例的等离子蚀刻的自动除粉装置，包括：蚀刻腔室，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板的传动辊；除粉腔室，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板的传动辊；活动闸板，设置于所述蚀刻腔室和所述除粉腔室之间，可隔离或连通所述蚀刻腔室和所述除粉腔室；毛刷组件，安装于所述除粉腔室内，与所述基板的表面接触，可相对所述基板沿第一水平方向往复移动；吹气口，设置于所述除粉腔室内，朝向所述基板的表面吹气；吸尘器，与所述除粉腔室相连通。至少具有如下有益效果：本除粉装置在正常蚀刻作业时，活动闸板隔离蚀刻腔室和除粉腔室，两者相互不受影响，当基板蚀刻到一定程度且表面被残留粉尘覆盖时，打开活动闸板以连通蚀刻腔室和除粉腔室，可将基板通过传动辊从蚀刻腔室输送到除粉腔室内，通过毛刷组件与基板的表面接触，并相对往复移动以将基板表面的粉尘清扫，结合吹气口朝向基板的表面吹气，从而将粉尘扬起，使脱离基板表面的粉尘能够被吸尘器吸走，从而有效地清理掉基板表面的残留粉尘，然后再将基板转移回蚀刻腔室以继续进行蚀刻，提高蚀刻效率。根据本专利技术的一些实施例，多根所述传动辊可同步正转及同步反转，所述基板放置于所述传动辊上。根据本专利技术的一些实施例，所述毛刷组件包括轮轴和毛刷轮，所述毛刷轮与轮轴旋转连接，所述轮轴固定安装于所述除粉腔室内。根据本专利技术的一些实施例，所述毛刷组件包括轮轴和毛刷轮，所述毛刷轮与轮轴旋转连接，所述轮轴可在所述除粉腔室内沿第一水平方向往复移动。根据本专利技术的一些实施例，所述吹气口连通压缩空气源。根据本专利技术的一些实施例，所述毛刷组件和所述吹气口均分布于所述除粉腔室的顶部，所述吸尘器与所述除粉腔室的底部相连通。根据本专利技术第二方面实施例的等离子蚀刻的自动除粉方法，包括以下步骤：步骤一、提供蚀刻腔室和除粉腔室，将待蚀刻的基板放置于所述蚀刻腔室内，隔离所述蚀刻腔室和所述除粉腔室；步骤二、蚀刻腔室对基板的表面进行蚀刻，当粉尘达到一定厚度时，停止蚀刻；步骤三、连通所述蚀刻腔室和所述除粉腔室，将基板从所述蚀刻腔室转移至所述除粉腔室内，然后隔离所述蚀刻腔室和所述除粉腔室；步骤四、提供毛刷组件和吹气口，通过毛刷组件与基板的表面接触并相对基板往复移动，以清扫基板表面的粉尘，同时吹气口朝向基板的表面吹气，将粉尘扬起；步骤五、提供吸尘器，将脱离基板表面的粉尘吸走；步骤六、将基板从所述除粉腔室转移至所述蚀刻腔室内；步骤七、重复步骤一至六，直至基板蚀刻完毕。至少具有如下有益效果：本除粉方法将基板从蚀刻腔室转移到除粉腔室内，能够有效地清理掉基板表面的残留粉尘，然后再将基板转移回蚀刻腔室以继续进行蚀刻，提高蚀刻效率。根据本专利技术的一些实施例，所述蚀刻腔室和所述除粉腔室沿第一水平方向均排列有多根用于输送基板的传动辊，多根所述传动辊可同步正转及同步反转，所述基板放置于所述传动辊上。根据本专利技术的一些实施例，所述蚀刻腔室和所述除粉腔室之间设置有活动闸板，所述活动闸板可隔离或连通所述蚀刻腔室和所述除粉腔室。根据本专利技术的一些实施例，所述毛刷组件包括轮轴和毛刷轮，所述毛刷轮与轮轴旋转连接，所述轮轴可在所述除粉腔室内沿第一水平方向往复移动。附图说明本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1为本专利技术实施例中除粉腔室的结构示意图；图2为本专利技术实施例的结构示意图。附图标记：除粉腔室1、基板2、毛刷组件3、吹气口4、吸尘器5、传动辊6、压缩空气源7、蚀刻腔室8、活动闸板9、粉尘10。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个及两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。本专利技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本专利技术中的具体含义。参照图1和图2，本专利技术公开一种等离子蚀刻的自动除粉装置，包括蚀刻腔室8、除粉腔室1、活动闸板9、毛刷组件3、吹气口4和吸尘器5，其中，蚀刻腔室8用于对基板2的表面进行蚀刻，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板2的传动辊6，除粉腔室1沿第一水平方向排列有多根用于输送基板2的传动辊6，活动闸板9设置于蚀刻腔室8和除粉腔室1之间，可隔离或连通蚀刻腔室8和除粉腔室1，毛刷组件3安装于除粉腔室1内，与基板2的表面接触，可相对基板2沿第一水平方向往复移动，吹气口4设置于除粉腔室1内，朝向基板2的表面吹气，吸尘器5，与除粉腔室1相连通。在正常蚀刻作业时，活动闸板9隔离蚀刻腔室8和除粉腔室1，两者相互不受影响，当基板2蚀刻到一定程度且表面被残留粉尘10覆盖时，打开活动闸板9以连通蚀刻腔室8和除粉腔室1，可将基板2通过传动辊6从蚀刻腔室8输送到除粉腔室1内，通过毛刷组件3与基板2的表面接触，并相对往复移动以将基板2表面的粉尘10清扫，结合吹气口4朝向基板2的表面吹气，从而将粉尘10扬起，使脱离基板2表面的粉尘10能够被吸尘器5吸走，从而有效地清理掉基板2表面的残留粉尘10，然后再将基板2转移回蚀刻腔室8以继续进行蚀刻，提高蚀刻效率。在本专利技术的一些实施例中，多根传动辊6可同步正转及同步反转，基板2放置于传动辊6上，使得基板2在传动辊6的传动下沿第一水平方向往复移动。至于毛刷组件3的具体结构，毛刷组件3可以包括轮轴和毛刷轮，毛刷轮与轮本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.等离子蚀刻的自动除粉装置，其特征在于，包括：/n蚀刻腔室，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板的传动辊；/n除粉腔室，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板的传动辊；/n活动闸板，设置于所述蚀刻腔室和所述除粉腔室之间，可隔离或连通所述蚀刻腔室和所述除粉腔室；/n毛刷组件，安装于所述除粉腔室内，与所述基板的表面接触，可相对所述基板沿第一水平方向往复移动；/n吹气口，设置于所述除粉腔室内，朝向所述基板的表面吹气；/n吸尘器，与所述除粉腔室相连通。/n

【技术特征摘要】
1.等离子蚀刻的自动除粉装置，其特征在于，包括：
蚀刻腔室，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板的传动辊；
除粉腔室，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板的传动辊；
活动闸板，设置于所述蚀刻腔室和所述除粉腔室之间，可隔离或连通所述蚀刻腔室和所述除粉腔室；
毛刷组件，安装于所述除粉腔室内，与所述基板的表面接触，可相对所述基板沿第一水平方向往复移动；
吹气口，设置于所述除粉腔室内，朝向所述基板的表面吹气；
吸尘器，与所述除粉腔室相连通。


2.根据权利要求1所述的等离子蚀刻的自动除粉装置，其特征在于，多根所述传动辊可同步正转及同步反转，所述基板放置于所述传动辊上。


3.根据权利要求1或2所述的等离子蚀刻的自动除粉装置，其特征在于，所述毛刷组件包括轮轴和毛刷轮，所述毛刷轮与轮轴旋转连接，所述轮轴固定安装于所述除粉腔室内。


4.根据权利要求1或2所述的等离子蚀刻的自动除粉装置，其特征在于，所述毛刷组件包括轮轴和毛刷轮，所述毛刷轮与轮轴旋转连接，所述轮轴可在所述除粉腔室内沿第一水平方向往复移动。


5.根据权利要求1所述的等离子蚀刻的自动除粉装置，其特征在于，所述吹气口连通压缩空气源。


6.根据权利要求1所述的等离子蚀刻的自动除粉装置，其特征在于，所述毛刷组件和所述吹气口均分布于所述除粉腔室的顶部，所述吸尘器与所述除粉腔室的底部相连通。
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【专利技术属性】
技术研发人员：丁雪苗，赵公魄，
申请(专利权)人：珠海宝丰堂电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44