一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统及方法技术方案

本发明专利技术涉及一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统及方法，旨在解决现有技术中存在的阻抗匹配系统尺寸大以及适用性差的问题，本发明专利技术的一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统，包括固定匹配器和宽频射频源；固定匹配器包括固定电容C1和固定电容C2；固定电容C1一端与放电腔内的射频天线连接，另一端通过射频传输线与宽频射频源的输出端连接固定电容C2一端通过射频传输线与宽频射频源的输出端连接，另一端接地；宽频射频源用于调节射频频率。基于一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统，本发明专利技术还提供了一种用于射频等离子体的阻抗匹配方法，该方法操作简单效率高。

An impedance matching system and method for RF plasma

【技术实现步骤摘要】
一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统及方法
本专利技术涉及一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统及方法。
技术介绍
现有技术中用于射频等离子体的阻抗匹配系统，如图1所示，射频等离子体包括放电腔01，放电腔01内设有射频天线02，阻抗匹配系统包括可调匹配器03和点频射频源04；可调匹配器03的输出端与放电腔01内的射频天线02(即负载)连接，可调匹配器03的输入端通过射频传输线05与点频射频源04的输出端连接；可调匹配器03包括两个可调电容器，每个可调电容器分别通过一个电机06进行调节；点频射频源04用于输出固定频率，然后经过可调匹配器03时，通过电机06调节可调电容器实现与负载之间的阻抗匹配。其不足是，因电机体积、重量均较大，导致现有的阻抗匹配系统整体尺寸及重量均较大，占用空间大，不好搬运；并且很多环境为防止发生危险而禁止使用电机，因此现有的阻抗匹配系统难以满足使用要求。
技术实现思路
本专利技术旨在解决现有技术中存在的阻抗匹配系统尺寸、重量较大以及适用性差的问题，而提供了一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统及方法。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统，其特征在于：包括固定匹配器(1)和宽频射频源(2)；/n所述固定匹配器(1)包括固定电容C1和固定电容C2；/n所述固定电容C1一端与放电腔(3)内的射频天线(31)连接，另一端通过射频传输线(21)与宽频射频源(2)的输出端连接；/n所述固定电容C2一端通过射频传输线(21)与宽频射频源(2)的输出端连接，另一端接地；/n所述宽频射频源(2)用于调节射频频率。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统，其特征在于：包括固定匹配器(1)和宽频射频源(2)；
所述固定匹配器(1)包括固定电容C1和固定电容C2；
所述固定电容C1一端与放电腔(3)内的射频天线(31)连接，另一端通过射频传输线(21)与宽频射频源(2)的输出端连接；
所述固定电容C2一端通过射频传输线(21)与宽频射频源(2)的输出端连接，另一端接地；
所述宽频射频源(2)用于调节射频频率。


2.根据权利要求1所述的一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统，其特征在于：所述宽频射频源(2)的调节范围为1MHz～5MHz。


3.根据权利要求1或2所述的一种用于射频等...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵杨，魏建国，方吉汉，李光熙，杨振宇，谭畅，韩先伟，
申请(专利权)人：西安航天动力研究所，
类型：发明
国别省市：陕西;61