一种真空压力控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空设备技术领域，尤其为一种真空压力控制装置，包括真空室和气瓶，所述真空室的右端面固定连接有规管，所述规管的另一端固定连接有控压表，所述控压表的另一端固定连接有软管，所述软管的另一端固定连接有变频器，所述真空室的底端右侧通过软管固定连接有第二截止阀，所述第二截止阀的底端通过软管固定连接有质量流量控制器，所述质量流量控制器的底端通过软管固定连接有气瓶，所述真空室的底端中央位置处通过软管固定连接有第一截止阀，通过设置的定位框，通过调节板和调节轴带动定位板进行转动，便可以让左右两端的固定环进行靠拢，便可以对气瓶的位置进行固定，能够避免在对气瓶使用的过程中，气瓶出现晃动的情况。

A vacuum pressure control device

【技术实现步骤摘要】
一种真空压力控制装置
本技术涉及真空设备
，具体为一种真空压力控制装置。
技术介绍
在真空冶金或真空镀膜设备中，常需要将真空反应腔内压力控制在一定范围内，才能进行工艺流程，工作压力的稳定性决定着最终产品的质量，因此要获得稳定的工作压力，就需要有一个稳定可靠的控制系统来时刻监测、反馈、控制反应腔的压力，因此，对一种真空压力控制装置的需求日益增长。常用的控制装置，在进行使用的过程中，控制精度低，使用范围较小，不能够适用于多种真空设备，并且在对气瓶进行连接时，无法对气瓶的位置进行良好的固定，易出现气瓶晃动的情况，不利于对其进行使用，因此，针对上述问题提出一种真空压力控制装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空压力控制装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空压力控制装置，包括真空室和气瓶，所述真空室的右端面固定连接有规管，所述规管的另一端固定连接有控压表，所述控压表的另一端固定连接有软管，所述软管的另一端固定连接有变频器，所述真空室的底端右侧通过软管固定连接有第二截止阀，所述第二截止阀的底端通过软管固定连接有质量流量控制器，所述质量流量控制器的底端通过软管固定连接有气瓶，所述真空室的底端中央位置处通过软管固定连接有第一截止阀，所述第一截止阀的另一端通过软管固定连接有蝶阀，所述蝶阀的底端通过软管固定连接有电磁压差阀，所述电磁压差阀的另一端通过软管固定连接有可变频机械泵，所述真空室的底端左侧通过软管固定连接有闸板阀，所述闸板阀的另一端通过软管固定连接有分子泵，所述分子泵的另一端通过软管固定连接有电磁阀。优选的，所述气瓶的外侧设有定位框，所述定位框的内侧固定连接有弹簧，所述弹簧的顶端固定连接有底板，所述底板的顶端固定连接有调节板，所述调节板的内侧固定连接有调节轴，所述调节轴的外侧设有定位板，所述定位板的内侧设有转轴，所述定位板的一端固定连接有固定环，所述定位框的内侧固定连接有橡胶环。优选的，所述调节板的个数共有2个，两个所述调节板分别位于定位框内侧的左右两端对称位置处，所述调节板和底板通过弹簧与定位框滑动连接。优选的，所述转轴位于定位框的前后两端的内侧，所述定位板通过转轴与定位框转动连接，所述底板的中心点位于定位框的中垂线上。优选的，所述固定环的个数共有2个，两个所述固定环分别位于定位框的左右两端对称位置处，所述调节轴与定位板滑动连接。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术中，通过设置可变频机械泵、变频器和蝶阀，通过规管采集真空室内压力，传给控压表，然后根据PLC程序设置数值，按需求改变变频器的频率，间接改变机械泵的抽速。同时用质量流量控制器控制进气量，保证压力平衡，达到控压目的，或者通过规管与蝶阀的自学习功能，在设定的压力范围内，改变蝶阀角度，达到控制抽速的目的。同时用质量流量控制器控制进气量，保证压力平衡，达到控压目的；2、本技术中，通过设置的固定环、定位板和定位框，在需要对气瓶进行使用时，需要对气瓶的位置进行固定，可以把气瓶放置在底板的顶端，然后通过气瓶自身重力下降，可以推动底板向下进行移动，便可以通过调节板和调节轴带动定位板进行转动，便可以让左右两端的固定环进行靠拢，便可以对气瓶的位置进行固定，能够避免在对气瓶使用的过程中，气瓶出现晃动的情况。附图说明图1为本技术整体结构示意图；图2为本技术定位框的安装结构示意图。图中：1-真空室、2-第一截止阀、3-第二截止阀、4-规管、5-质量流量控制器、6-控压表、7-变频器、8-气瓶、9-定位框、10-蝶阀、11-可变频机械泵、12-电磁压差阀、13-电磁阀、14-分子泵、15-软管、16-闸板阀、17-弹簧、18-底板、19-橡胶环、20-调节板、21-定位板、22-固定环、23-转轴、24-调节轴。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种真空压力控制装置，包括真空室1和气瓶8，所述真空室1的右端面固定连接有规管4，通过规管4的设计能够对真空室1内侧的压力进行检测，所述规管4的另一端固定连接有控压表6，通过控压表6的设计能够对真空室1内侧的压力进行控制，所述控压表6的另一端固定连接有软管15，通过软管15的设计能够有利于各个电器进行连接，所述软管15的另一端固定连接有变频器7，所述真空室1的底端右侧通过软管15固定连接有第二截止阀3，所述第二截止阀3的底端通过软管15固定连接有质量流量控制器5，所述质量流量控制器5的底端通过软管15固定连接有气瓶8，所述真空室1的底端中央位置处通过软管15固定连接有第一截止阀2，所述第一截止阀2的另一端通过软管15固定连接有蝶阀10，所述蝶阀10的底端通过软管固定连接有电磁压差阀12，所述电磁压差阀12的另一端通过软管15固定连接有可变频机械泵11，所述真空室1的底端左侧通过软管15固定连接有闸板阀16，所述闸板阀16的另一端通过软管15固定连接有分子泵14，所述分子泵14的另一端通过软管15固定连接有电磁阀13。所述气瓶8的外侧设有定位框9，所述定位框9的内侧固定连接有弹簧17，所述弹簧17的顶端固定连接有底板18，所述底板18的顶端固定连接有调节板20，所述调节板20的内侧固定连接有调节轴24，所述调节轴24的外侧设有定位板21，所述定位板21的内侧设有转轴23，所述定位板21的一端固定连接有固定环22，所述定位框9的内侧固定连接有橡胶环19，这种设置有利于对气瓶8的位置进行固定，便于对气瓶8进行使用，避免在进行使用的过程中气瓶8出现晃动的情况，所述调节板20的个数共有2个，两个所述调节板20分别位于定位框9内侧的左右两端对称位置处，所述调节板20和底板18通过弹簧17与定位框9滑动连接，这种设置有利于对左右两端的定位板21的位置进行调节，可以方便的让左右两端的定位板21进行连接和分离，所述转轴23位于定位框9的前后两端的内侧，所述定位板21通过转轴23与定位框9转动连接，所述底板18的中心点位于定位框9的中垂线上，这种设置有利于保证底板18的稳定性，避免气瓶8在进行固定的过程中出现晃动的情况，所述固定环22的个数共有2个，两个所述固定环22分别位于定位框9的左右两端对称位置处，所述调节轴24与定位板21滑动连接，这种设置有利于对气瓶8进行防护，避免在对气瓶8储存的过程中，出现碰撞的情况。工作流程：在对控制装置进行使用时，首先需要对气瓶8的位置进行固定，可以把气瓶8放置在位于定位框9内侧的底板18的顶端，则可以通过气瓶8的重力推动底板18向下进行移动，则可以带动左右两端的调节板20向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空压力控制装置，包括真空室(1)和气瓶(8)，其特征在于：所述真空室(1)的右端面固定连接有规管(4)，所述规管(4)的另一端固定连接有控压表(6)，所述控压表(6)的另一端固定连接有软管(15)，所述软管(15)的另一端固定连接有变频器(7)，所述真空室(1)的底端右侧通过软管(15)固定连接有第二截止阀(3)，所述第二截止阀(3)的底端通过软管(15)固定连接有质量流量控制器(5)，所述质量流量控制器(5)的底端通过软管(15)固定连接有气瓶(8)，所述真空室(1)的底端中央位置处通过软管(15)固定连接有第一截止阀(2)，所述第一截止阀(2)的另一端通过软管(15)固定连接有蝶阀(10)，所述蝶阀(10)的底端通过软管固定连接有电磁压差阀(12)，所述电磁压差阀(12)的另一端通过软管(15)固定连接有可变频机械泵(11)，所述真空室(1)的底端左侧通过软管(15)固定连接有闸板阀(16)，所述闸板阀(16)的另一端通过软管(15)固定连接有分子泵(14)，所述分子泵(14)的另一端通过软管(15)固定连接有电磁阀(13)。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空压力控制装置，包括真空室(1)和气瓶(8)，其特征在于：所述真空室(1)的右端面固定连接有规管(4)，所述规管(4)的另一端固定连接有控压表(6)，所述控压表(6)的另一端固定连接有软管(15)，所述软管(15)的另一端固定连接有变频器(7)，所述真空室(1)的底端右侧通过软管(15)固定连接有第二截止阀(3)，所述第二截止阀(3)的底端通过软管(15)固定连接有质量流量控制器(5)，所述质量流量控制器(5)的底端通过软管(15)固定连接有气瓶(8)，所述真空室(1)的底端中央位置处通过软管(15)固定连接有第一截止阀(2)，所述第一截止阀(2)的另一端通过软管(15)固定连接有蝶阀(10)，所述蝶阀(10)的底端通过软管固定连接有电磁压差阀(12)，所述电磁压差阀(12)的另一端通过软管(15)固定连接有可变频机械泵(11)，所述真空室(1)的底端左侧通过软管(15)固定连接有闸板阀(16)，所述闸板阀(16)的另一端通过软管(15)固定连接有分子泵(14)，所述分子泵(14)的另一端通过软管(15)固定连接有电磁阀(13)。


2.根据权利要求1所述的一种真空压力控制装置，其特征在于：所述气瓶(8)的外侧设有定位框(9)，所述定位框...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜寰，
申请(专利权)人：沈阳中科汉达科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21