一种可实现快速拆装的观察窗结构制造技术

技术编号:43992023 阅读:19 留言:0更新日期:2025-01-10 20:12
本技术涉及一种可实现快速拆装的观察窗结构,包括真空室接管和石英玻璃,石英玻璃置于真空室接管的上法兰上端面且两者之间设有密封胶圈,石英玻璃上表面边缘设有挡圈,其技术要点是:挡圈由位于石英玻璃边缘上的水平压圈、包绕于石英玻璃和上法兰外周的立筒段组成,水平压圈和立筒段的过渡段外侧面为上窄下宽的第一环形锥面,上法兰的下端面为上宽下窄的第二环形锥面,挡圈与上法兰外侧包绕有快卸卡箍,快卸卡箍由一端利用连接件铰接在一起而另一端利用螺栓副连接的两个箍瓣组成,箍瓣的内侧设有与第一环形锥面贴合的第三半环形锥面,与第二环形锥面贴合的第四半环形锥面。本结构显著提高了拆装效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空炉用观察窗,具体涉及一种可实现快速拆装的观察窗结构


技术介绍

1、在真空环境中会不可避免的使用观察窗,通过观察窗来监视真空容器内部的生产情况或传输光源,如观测温度、物料的状态等等。观察窗极易受到污染,例如在真空冶炼炉中,物料和杂质往往经历三相物态变化,当热蒸汽遇到冷的石英玻璃时就会凝结。在pvd设备中也极易在玻璃上形成膜层,当设备处于工作状态时可使用吹扫、擦拭的方法简单处理,当设备停机时需要拆下更换,再彻底清洗。

2、但现有的观察窗存在如下问题:拆卸时需将挡板、密封圈和玻璃全部拆下,清洗完成后再装配,且当观察窗作为测温窗口时,还需将观察窗高度方向上的外置机构即红外测温机构一并拆卸,方可对观察窗进行清洗。红外测温机构需重新调试,对焦,加大了清洗的附加工作,导致拆装效率低下。


技术实现思路

1、本技术的目的是为了提供一种解决上述问题的结构合理、使用可靠的可实现快速拆装的观察窗结构,显著提高拆装效率。

2、本技术的技术方案是:

3、一种可实现快速拆装的观察窗结构,包括真空室接管和石英玻璃,所述石英玻璃置于真空室接管的上法兰上端面且两者之间设有密封胶圈,所述石英玻璃上表面边缘设有挡圈,其技术要点是:所述挡圈由位于石英玻璃边缘上的水平压圈、包绕于石英玻璃和上法兰外周的立筒段组成,所述水平压圈和立筒段的过渡段外侧面为上窄下宽的第一环形锥面,所述上法兰的下端面为上宽下窄的第二环形锥面,所述挡圈与上法兰外侧包绕有快卸卡箍,所述快卸卡箍由一端利用连接件铰接在一起而另一端利用螺栓副连接的两个箍瓣组成,所述箍瓣的内侧设有与第一环形锥面贴合的第三半环形锥面,与第二环形锥面贴合的第四半环形锥面。

4、上述的可实现快速拆装的观察窗结构,所述真空室接管的上法兰上端面设有对应石英玻璃的减低槽,所述减低槽的中心线与真空室接管的中心线重合,所述减低槽的底面设有对应密封胶圈的环形密封槽,所述环形密封槽的中心线与真空室接管的中心线重合。

5、上述的可实现快速拆装的观察窗结构,所述箍瓣的端部设有对应螺栓副的螺栓的通孔,所述螺栓的尖端穿过两个箍瓣的通孔后连接牛角状锁紧螺母。

6、上述的可实现快速拆装的观察窗结构,所述箍瓣的端部设有对应螺栓副的螺栓的u形侧缺口,以便于将螺栓副的螺栓从u形侧缺口中移出。

7、本技术的有益效果是:

8、1、需要拆卸时,旋松并取下螺栓副,使快卸卡箍两个箍瓣的第三半环形锥面与第四半环形锥面脱离开挡圈和上法兰,解除对挡圈和石英玻璃的限位,依次取下挡圈和石英玻璃即可对石英玻璃进行清洗,拆卸方便快捷,显著提高拆装效率。

9、2、装配时,快卸卡箍的第三半环形锥面与挡圈的第一环形锥面配合,快卸卡箍的第四半环形锥面与上法兰的第二环形锥面配合,实现自动对心,无需精确定位,组装方便快捷,显著提高拆装效率。

10、3、拆卸和组装时,不需留扳手空间,占用空间小,在不拆卸观察窗高度方向上的红外测温机构的情况下,即可对观察窗进行更换清洗,无附加工作,进一步提高拆装效率。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种可实现快速拆装的观察窗结构,包括真空室接管和石英玻璃,所述石英玻璃置于真空室接管的上法兰上端面且两者之间设有密封胶圈,所述石英玻璃上表面边缘设有挡圈,其特征在于:所述挡圈由位于石英玻璃边缘上的水平压圈、包绕于石英玻璃和上法兰外周的立筒段组成,所述水平压圈和立筒段的过渡段外侧面为上窄下宽的第一环形锥面,所述上法兰的下端面为上宽下窄的第二环形锥面,所述挡圈与上法兰外侧包绕有快卸卡箍,所述快卸卡箍由一端利用连接件铰接在一起而另一端利用螺栓副连接的两个箍瓣组成,所述箍瓣的内侧设有与第一环形锥面贴合的第三半环形锥面,与第二环形锥面贴合的第四半环形锥面。

2.根据权利要求1所述的可实现快速拆装的观察窗结构,其特征在于:所述真空室接管的上法兰上端面设有对应石英玻璃的减低槽,所述减低槽的中心线与真空室接管的中心线重合,所述减低槽的底面设有对应密封胶圈的环形密封槽,所述环形密封槽的中心线与真空室接管的中心线重合。

3.根据权利要求1所述的可实现快速拆装的观察窗结构,其特征在于:所述箍瓣的端部设有对应螺栓副的螺栓的通孔,所述螺栓的尖端穿过两个箍瓣的通孔后连接牛角状锁紧螺母。

4.根据权利要求1所述的可实现快速拆装的观察窗结构,其特征在于:所述箍瓣的端部设有对应螺栓副的螺栓的U形侧缺口。

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【技术特征摘要】

1.一种可实现快速拆装的观察窗结构,包括真空室接管和石英玻璃,所述石英玻璃置于真空室接管的上法兰上端面且两者之间设有密封胶圈,所述石英玻璃上表面边缘设有挡圈,其特征在于:所述挡圈由位于石英玻璃边缘上的水平压圈、包绕于石英玻璃和上法兰外周的立筒段组成,所述水平压圈和立筒段的过渡段外侧面为上窄下宽的第一环形锥面,所述上法兰的下端面为上宽下窄的第二环形锥面,所述挡圈与上法兰外侧包绕有快卸卡箍,所述快卸卡箍由一端利用连接件铰接在一起而另一端利用螺栓副连接的两个箍瓣组成,所述箍瓣的内侧设有与第一环形锥面贴合的第三半环形锥面,与第二环形锥面贴合的第四半环形锥面。

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【专利技术属性】
技术研发人员:佟辉
申请(专利权)人:沈阳中科汉达科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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